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飛納臺(tái)式掃描電鏡,、標(biāo)準(zhǔn)版智能,、、經(jīng)濟(jì)
分辨率:優(yōu)于30nm
電子槍:1500小時(shí)CeB6燈絲
抽真空時(shí)間:10秒
樣品移動(dòng)方式:自動(dòng)馬達(dá)樣品臺(tái)
樣品定位方式:光學(xué)和低倍電子雙重導(dǎo)航
樣品導(dǎo)電性要求:無需噴金,,直接觀測(cè)絕緣體
環(huán)境掃描選件(ESEM):溫控樣品臺(tái),,可直接觀測(cè)液體
可升級(jí)為Phenom Pro 專業(yè)版
Phenom(飛納) Pure(飛納臺(tái)式掃描電鏡 標(biāo)準(zhǔn)版) 一款性能和價(jià)格介于光學(xué)顯微鏡和傳統(tǒng)大電鏡之間的經(jīng)濟(jì)型臺(tái)式掃描電鏡,可用于測(cè)量亞微米尺寸的樣品,。Phenom Pure 適用于傳統(tǒng)大電鏡待測(cè)樣品的快速篩選,,也適合于光學(xué)顯微鏡的分辨率無法滿足需求的客戶。
表面細(xì)節(jié)豐富的高分辨率照片Phenom(飛納) Pure 為您提供高信噪比,、表面細(xì)節(jié)豐富的圖像:30000x連續(xù)放大,,分辨率優(yōu)于30nm,大景深,;傳統(tǒng)電鏡往往通過提高加速電壓來產(chǎn)生更高的信號(hào),,同時(shí)由于穿透深度較深,導(dǎo)致表面細(xì)節(jié)缺失,。低加速電壓,、電子穿透深度淺,避免樣品被破壞,,展現(xiàn)更多表面細(xì)節(jié),;探測(cè)背散射電子,,展現(xiàn)清晰形貌結(jié)構(gòu)的同時(shí),提供豐富的成份信息,;5kV低加速電壓下,,電子反應(yīng)區(qū)位于樣品表面,,配合高亮CeB6燈絲,,既保證了分辨率,又得到樣品表面的信息 CeB6燈絲在樣品表面單位面積內(nèi)激發(fā)的信號(hào)約是鎢燈絲的10倍,,適合于低加速電壓觀測(cè)
表面形貌和成分信息同時(shí)展現(xiàn)
背散射電子的產(chǎn)率,、出射角度與樣品成份及表面形貌相關(guān)。Phenom(飛納)采用4分割半導(dǎo)體背散射電子探測(cè)器,,為您提供兩種成像模式,,
模式之間可迅速切換:
成份模式:同時(shí)給出樣品表面形貌與成份信息,不同元素可由其灰度對(duì)比度的不同加以分辨,。
形貌模式:去除成份信息,,樣品表面凹凸起伏等微觀結(jié)構(gòu)更加明晰,適用于表面粗糙度和缺陷分析成份模式 4分割背散射電子探測(cè)器扇區(qū)所得的信號(hào)相疊加形貌模式 4分割背散射電子探測(cè)器扇區(qū)所得的信號(hào)相抵消成份模式圖像包含樣品成份與形貌信息形貌模式圖像僅突出樣品表面形貌特征,。
樣品杯,,30秒快速成像
Phenom(飛納)樣品杯、低真空設(shè)計(jì),、的真空封鎖技術(shù),,裝入樣品后30秒內(nèi)即可得到高質(zhì)量圖像,耗時(shí)僅為傳統(tǒng)電鏡的1/10左右,。
直接觀看絕緣體,,無需噴金Phenom(飛納)采用低真空技術(shù),出射電子與空氣分子碰撞產(chǎn)生正離子,,正離子與樣品表面累積的電子中和,,有效抑制荷電效應(yīng)的產(chǎn)生,直接觀測(cè)各種不導(dǎo)電樣品(如下圖所示),。利用降低荷電效應(yīng)樣品杯,,更可將開始荷電的放大倍數(shù)提高8倍左右,而且不會(huì)影響燈絲壽命,,下圖頭發(fā)示例:
操作簡(jiǎn)便,,全程導(dǎo)航•自動(dòng)/手動(dòng)聚焦Phenom(飛納)操作界面。通過點(diǎn)擊右側(cè)圖標(biāo)可以輕松完成圖像縮放,、聚焦,、亮度對(duì)比度調(diào)節(jié)、旋轉(zhuǎn)等操作,。界面右側(cè)顯示光學(xué)導(dǎo)航和低倍SEM導(dǎo)航窗口,,方便用戶在不同樣品,、不同區(qū)域間進(jìn)行切換。•自動(dòng)/手動(dòng)亮度•自動(dòng)/手動(dòng)對(duì)比度•自動(dòng)燈絲居中調(diào)節(jié)•自動(dòng)馬達(dá)樣品臺(tái)•光學(xué)/電子樣品導(dǎo)航光學(xué)導(dǎo)航,,所有帶觀測(cè)樣品盡在視野之中,,高倍下準(zhǔn)確切換樣品,只需點(diǎn)擊感興趣樣品,,即可自動(dòng)移動(dòng)到屏幕中央低倍SEM照片導(dǎo)航,,導(dǎo)航窗口中的彩色矩形框指示了住觀測(cè)窗口的觀測(cè)區(qū)域,點(diǎn)擊感興趣的區(qū)域,,自動(dòng)移動(dòng)到樣品中央
環(huán)境適應(yīng)性高,,*防震Phenom(飛納)可以放置在幾乎所有的室內(nèi)環(huán)境當(dāng)中,無需超凈間,。采用燈絲,、探測(cè)器、樣品臺(tái)相對(duì)一體化的設(shè)計(jì),,震動(dòng)不會(huì)引起三者間的相對(duì)運(yùn)動(dòng),,使Phenom成像不受震動(dòng)影響,可放置在較高樓層,。
互聯(lián)網(wǎng)遠(yuǎn)程檢測(cè)Phenom(飛納)擁有遠(yuǎn)程檢測(cè)功能,,通過網(wǎng)絡(luò),專業(yè)工程師可隨時(shí)為您遠(yuǎn)程檢測(cè)系統(tǒng),、答疑解難,,為您提供的保護(hù),讓您的Phenom隨時(shí)處于*工作狀態(tài),。
適用于不同領(lǐng)域的樣品杯選件