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廣州潔凈室無塵車間的認識與行業(yè)標準
廣州潔凈室無塵車間
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潔凈室*概述
潔凈室(Clean Room)，亦稱無塵車間,、無塵室或清凈室,。潔凈室的主要功能為室內污染控制,，沒有潔凈室，污染敏感零件不可能批量生產,。在FED-STD-2里面,，潔凈室被定義為具備空氣過濾、分配,、優(yōu)化,、構造材料和裝置的房間，其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,，從而達到適當?shù)奈⒘崈舳燃墑e,。潔凈程度和控制污染的持續(xù)穩(wěn)定性，是檢驗潔凈室質量的核心標準,，該標準根據(jù)區(qū)域環(huán)境,、凈化程度等因素，分為若干等級,，常用的有標準和國內區(qū)域行業(yè)標準,，一些凈化工程公司，在通行標準之外,，還設有自身執(zhí)行的高于化通行標準的凈化指標,，凈化能力和環(huán)境適應力遠超品牌。
一,、定義
潔凈室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子,、有害空氣、細菌等之污染物排除,，并將室內之溫度,、潔凈度、室內壓力,、氣流速度與氣流分布,、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,，而所給予特別設計之房間,。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度,、溫濕度及壓力等性能之特性。
潔凈室zui主要之作用在于控制產品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,，使產品能在一個良好之環(huán)境空間中生產,、制造，此空間我們稱之為潔凈室,。按照慣例,，無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定,。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上,。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微,，但是對于光學構造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的負面影響,，所以在光學構造產品的生產上,，無塵是必然的要求。
每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下,，就達到了無塵標準的*,。芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于*，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上,。0.5uM及以下的微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內,，這也就是業(yè)內俗稱的1K級別。
潔凈室的使用
空態(tài)：已經建造完成并可以投入使用的潔凈室（設施）,。它具備所有有關的服務和功能,。但是，在設施內沒有操作人員操作的設備,。
靜態(tài)：各種功能完備,、設定安裝妥當，可以按照設定使用或正在使用的潔凈室（設施）,，但是設施內沒有操作人員,。
動態(tài)：處于正常使用的潔凈室，服務功能完善,，有設備和人員,；如果需要，可從事正常的工作,。
二,、潔凈室原理
單向流（層流）潔凈室原理
在潔凈室內，從送風口到回風口,，氣流流經途中的斷面幾乎沒有什么變化,，加上進風靜壓箱和過濾器的均壓均流作用，全室斷面上的流速比較均勻,，而至少在工作區(qū)內流線單向平行,，沒有渦流。這也就是單向流潔凈室的三大特點,。這里的流線單向平行,，是指時均流線彼此平行，方向單一,。
單向流潔凈室的流態(tài)從雷諾數(shù)判斷是紊流的,，所以所謂層流潔凈室的層流和流體力學上的層流是*不同的概念,。因此，層流潔凈室這個名詞是不貼切的,，國外某些標準和文章也指出這一點,，例如英國標準BS-5295就曾把所謂層流潔凈室定義為單向流潔凈室，只是照顧習慣在括號中注明為層流,。前聯(lián)邦德國標準VDl- 2083則用“非紊流的置換流”這一術語,，并在注中指出，層流這一概念只是為了區(qū)別早于層流潔凈室出現(xiàn)的紊（亂）流潔凈室而在當時采用的習慣用語,，“層流系統(tǒng)”的確切意思并不是分層流動,，而是紊流的置換流，用本章提到的概念是紊流的漸變流,。在流體力學中,，這種流動狀態(tài)也可稱平行流或單向流。1977年中國在《空氣潔凈技術措施》中選用了“平行流”這個術語,，在該術語后面同時也指出習慣上稱“層流”,。
在單向流潔凈室內，干凈氣流不是一股或幾股,，而是充滿全室斷面,，所以這種潔凈室不是靠潔凈氣流對室內臟空氣的摻混稀釋作用，而是靠潔凈氣流推出作用將室內臟空氣沿整個斷面排至室外,，達到凈化室內空氣的目的,。所以，前聯(lián)邦德國有人稱單向流潔凈室的氣流為“活塞流”,、“平推流”前蘇聯(lián)稱之為“被擠壓的弱空氣射流”,。干凈空氣就好比一個空氣活塞，沿著房間這個“氣缸”,，向前（下）推進,，而使塵粒只能前（下）進，沒有返回,，把原有的含塵濃度高的空氣擠壓出房間,。
在單向流潔凈室以及單向流凈化設備中，可以發(fā)現(xiàn)沿壁的和兩個過濾器搭接處下方的反向氣流,。這種氣流將把下方的污染傳輸?shù)缴喜吭偎拖聛?，破壞了上?ldquo;活塞流”的狀態(tài)，危害極大,。對于和外界有開口相通的局部凈化設備,，例如潔凈工作臺，這種氣流將引射外界污染氣流,，在設計上一定要減小過濾器邊框處所占的無效面積,，更要設法使空間的壁面盡量接近過濾器有效迭風截面。
通過上面分析,，可以認為保證單向流潔凈室特性（高潔凈度和快速自凈恢復能力）的重要先決條件有兩個：①來流的潔凈度,；②來流的活塞流情況；
對于來流的潔凈度,，對通過以上過濾器送風的單向流潔凈室來說是不成問題的,，而對于來流的“活塞流”情況，則需作進～步分析,。
根據(jù)流體力學原理,，來流條件對以后的流動狀況將有直接的重要影響，送風面出口氣流也就是工作區(qū)的來流,。
來流的紊動性大,，則將影響后面的單向流特性；來流未充滿流動截面,，則將影響后面是否能形成“活塞流”和形成的快慢,；而來流未充滿流動截面也是來流素動的一個因素。所以,，在采用過濾器的條件下,，保證單向流潔凈室特性的必要條件是“活塞流”，而“活塞流”的必要條件則是來流充滿流動截面,。但是,，對一間房間而不是一段管道來說，讓氣流從頭至尾*充滿流動截面也是不現(xiàn)實的,。
zui初,，確實認為這種單向平行的氣流應該充滿整個潔凈室，但這在技術上和經濟上都是不利的,。隨著認識的發(fā)展,，人們又指出這種單向流只是“在有限的領域內全部空氣沿平行流線以等速流動的意思”，并認為能極力抑制渦流的發(fā)生,。通過全空間的清潔空氣的單向流特性占支配地位的那樣的房間,，也稱為單向流潔凈室。這就是說,，不要求在整個房間都具有單向平行的流線,，均勻的速度，沒有渦流,，而是只要求單向平行流特性在這個房間中占支配地位,，例如在整個工作區(qū)這一層空間保證了單向流，這個房間就是單向流潔凈室,。前面介紹過的國內外有關標準,、措施中關于單向流潔凈室達到的高潔凈度,，就是指在工作區(qū)內達到的潔凈度。因此,，密集布置的流線型散流器頂送和全孔板頂送,，也被作為實現(xiàn)垂直單向流的手段使用。
亂流潔凈室原理
潔凈室按其氣流狀態(tài)來區(qū)分,，主要分為亂流（非單向流）潔凈室,、單向流潔凈室和輻流潔凈室（也有稱矢流潔凈室的），這一節(jié)主要討論亂流潔凈室,。前面已經指出,，不論是哪一種潔凈室，都是紊流流態(tài),。那為什么不都叫紊流潔凈室呢,？
亂流潔凈室的名稱是借用于日文，但是日文的亂流就是紊流的意思,，而中國zui早在《空氣潔凈技術措施》中正式采用的亂流一詞是兼有紊流的含義而不同于流體力學上的紊流這一專有名詞,。上習慣稱這種潔凈室為非單向流潔凈室。
所謂亂流潔凈室,，一般包括以下各種送風形式：
⑴效過濾器頂送（有擴散板和無擴散板）
⑵流線型散流器頂進
⑶局部孔板頂送
⑷側送
具有這些送風形式的潔凈室,，如以雷諾數(shù)判斷，顯然屬于紊流流態(tài),，但是如果把它們稱為紊流潔凈室就不合適,。氣流沿整個頂棚下送，室內速度達到0.25m/s 以上,，這種室內的流動狀態(tài)也是紊流,，但在后面就會搞清楚，雖然這兩種送風方式都造成室內紊流流態(tài),，但是就其凈化室內空氣的原理來說,，卻是根本不同的，后者屬于單向流或平行流潔凈室的凈化原理,。所以如果把前者稱為紊流潔凈室,，則后者也應被包含進去了。
亂流潔凈室的主要特點是從來流到出流（從送風口到回風口）之間氣流的流通截面是變化的,，潔凈室截面比送風口截面大得多,，因而不能在全室截面或者在全室工作區(qū)截面形成勻速氣流。所以,，送風口以后的流線彼此有很大或者越來越大的夾角,，曲率半徑很小，氣流在室內不可能以單一方向流動，將會彼此撞擊,，將有回流,、旋渦產生。這就決定亂流潔凈室的流態(tài)實質是：突變流,；非均勻流,。
這比用紊流來描述亂流潔凈室更確切,、更全面,。紊流主要決定于雷諾數(shù)，也就是主要受流速的影響,，但是如果采用一個過濾器頂送的送風形式,，則即使流速極低，也要產生上述各種結果,，這就因為它是一個突變流和非均勻流,。因此這種情況下不僅有流層之間因紊流流動而發(fā)生的摻混，而且還有全室范圍內的大的回流,、旋渦所發(fā)生的摻混,。
所以，概括地說,，亂流潔凈室的作用原理是：當一股干凈氣流從送風口送入室內時,，迅速向四周擴散、混合,，同時把差不多同樣數(shù)量的氣流從回風口排走,，這股干凈氣流稀釋著室內污染的空氣，把原來含塵濃度很高的室內空氣沖淡了,，一直達到平衡,。所以氣流擴散得越快，越均勻,，稀釋的效果就越好,。所以亂流潔凈室的原理就是稀釋作用。
三,、控管項目
1,、能除去空氣中飄游之微塵粒子。
2,、能防止微塵粒子之產生,。
3、溫度和濕度之控制,。
4,、壓力之調節(jié)。
5、 有害氣體之排除,。
6,、結構物與隔間之氣密性。
7,、靜電之防制,。
8、電磁干擾預防,。
9,、安全因素之考慮。
10,、節(jié)能之考量,。
空氣凈化方法
1 、整體凈化：可分為層流型和湍流型,。層流是指空氣由一側全面地以同速流向另一側,，使室內產生的塵粒或細菌不會向四周擴散而被平推出室外,，而達到好的除菌效果,。
⑴過濾除菌技術：空氣潔凈主要靠或超過濾設備，向特定的環(huán)境內輸送潔凈空氣并能保持空氣的潔凈度,。過濾潔凈原理：①網截阻留,；②篩孔阻留；③靜電吸引阻留,；④慣性碰撞和布朗運動阻留,。因此，過濾潔凈技術是一種綜合作用的結果,。
⑵濾材結構：生物潔凈室所用濾材級別多數(shù)為或超濾材,，所用濾材有：玻璃棉制濾材、紙漿制濾材,、石棉纖維濾材,、過氯乙烯纖維濾材等。濾材對空氣中 0.5 μ m 的顆粒的阻留率能達到 90%~99% ,，超濾材可阻留 0.3 μ m 的顆粒 99.9% 以上,。
2 、局部凈化
⑴潔凈層流罩：潔凈層流罩是醫(yī)院局部空氣凈化裝置,。一般可構成垂直層流方式,，四周用透明圍幕。整個罩內可保持高潔凈度（萬級至百級）空氣,。這種潔凈層流罩可用于免疫功能低下病人的治療保護,，所以也稱無菌病床層流罩。
⑵凈化操作臺：采用水平或垂直層流方式凈化箱體內的空氣，可使操作臺內凈化達到很別,。
⑶靜電吸附除菌凈化技術：靜電吸附除菌是利用工業(yè)電除塵的原理,，在小型化技術方面有所創(chuàng)新。①采用細線放電極與蜂巢狀鋁箱收集極形成級線裝置,；②采用鏡象力荷電吸附作用,。
目前有一種三級凈化裝置，即預過濾 - 過濾 - 活性炭吸附,，組合式正離子靜電吸附除菌,，并采用大風量空氣凈化,，以保證室內空氣凈化次數(shù),，較好地解決了醫(yī)院重點部門如手術室,、 ICU ,、母嬰病房,、血液透析室等有人情況下的空氣持續(xù)消毒問題,，可使醫(yī)院室內空氣的凈化潔凈度達到 10 萬級 ~1 萬級,。
⑷負離子凈化技術：負離子是一種帶負電的化學基團,，能發(fā)生可逆性變化,，存在時間極短，本身并無殺滅微生物的能力,，主要是靠帶電離子與空氣中的微粒特別是微生物顆粒結合,，形成多個顆粒凝聚變大從而迅速沉降，使空氣達到凈化的目的,?？諝庵胸撾x子只有在具備某些化學性質時，如活性氧離子等,，它們才具有侵害蛋白質的能力從而殺滅微生物,，因此負離子對空氣凈化的能力比較有限，對空氣中微生物粒子清除率只能達到 70%~90%,。
四,、分類
亂流式
空氣由空調箱經風管與潔凈室內之空氣過濾器（HEPA)進入潔凈室，并由潔凈室兩側隔間墻板或高架地板回風,。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài),。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。
定義：氣流以不均勻速度不平行流動,、伴有回流或渦流的潔凈室,。
特性：亂流潔凈室是靠多次換氣來實現(xiàn)潔凈與潔凈級別。換氣次數(shù)決定定義中的凈化級別（換氣次數(shù)越多,，凈化級別越高）
⑴自凈時間：是指潔凈室按設計換氣次數(shù)開始送風到潔凈室,，室內含塵濃度達到所設計的凈化級別的時間。1,000級希望不超過20min（分鐘） （可取15min計算） 10,000級希望不超過30min（分鐘） （可取25min計算） 100,000級希望不超過40min（分鐘） （可取30min計算）
⑵換氣次數(shù)（按上述自凈時間要求設計）1,000級 43.5—55.3次/小時 （規(guī)范：50次/小時） 10,000級 23.8—28.6次/小時 （規(guī)范：25次/小時） 100,000級 14.4—19.2次/小時 （規(guī)范：15次/小時）
優(yōu)點：構造簡單、系統(tǒng)建造成本,，潔凈室之擴充比較容易,，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺,，提高潔凈室等級,。
缺點：亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制程產品,。另外若系統(tǒng)停止運轉再激活,，欲達需求之潔凈度，往往須耗時相當長一段時間,。
層流式（Laminar)
層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形,，空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內，并由高架地板或兩側隔墻板回風,，此型式適用于潔凈室等級需定較高之環(huán)境使用,，一般其潔凈室等級為Class 1~100。其型式可分為二種：
⑴水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出,，由對邊墻壁之回風系統(tǒng)回風,，塵埃隨風向排出室外，一般在下流側污染較嚴重,。
優(yōu)點：構造簡單,，運轉后短時間內即可變成穩(wěn)定。
缺點：建造費用比亂流式高,，室內空間不易擴充,。
⑵垂直層流式：房間天花板*以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹,，可得較高之潔凈度,，在制程中或工作人員所產生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區(qū)域,。
優(yōu)點：管理容易,，運轉開始短時間內即可達穩(wěn)定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響,。
缺點：構造費用較高,，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當占空間,，維修更換過濾器較麻煩,。
復合式（Mixed Type)
復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣,。
⑴潔凈隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上,，可節(jié)省安裝運轉費用,。
此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質,，ULSI制程大都采用此種型式,。
潔凈隧道另有二項優(yōu)點：A.彈性擴充容易； B.維修設備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行,。
⑵潔凈管道（Clean Tube）：將產品流程經過的自動生產線包圍并凈化處理,，將潔凈度等級提至100級以上。因產品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離,，少量之送風即可得到良好之潔凈度,，可節(jié)省能源，不需人工的自動化生產線為zui適宜使用,。藥品,、食品業(yè)界及半導體業(yè)界均適用。
⑶并裝局部潔凈室（Clean Spot）：將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內之產品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上,，以為生產之用,；潔凈工作臺、潔凈工作棚,、潔凈風柜即屬此類,。
潔凈工作臺：等級Class 1~100級。
潔凈工作棚：為在亂流式之潔凈室空間內以防靜電之透明塑料布圍成一小空間,，采用獨立之HEPA或ULPA及空調送風機組而成為一較之潔凈空間，其等級為10~1000級,，高度在2.5米左右,，覆蓋面積約10m2以下，四支支柱并加裝活動輪,，可為彈性運用,。
五、氣流的流動
氣流的重要性
潔凈室的潔凈度往往受到氣流的影響,，換言之,，即人、機器隔間,、建筑結構等所產生的塵埃之移動,、擴散受到氣流的支配。
潔凈室系利用HEPA,、ULPA過濾空氣,，其塵埃的收集率達99.97~99.99995%之多，因此經過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈,。然而潔凈室內除了人以外,，尚有機器等之發(fā)塵源,，這些發(fā)生的塵埃一旦擴散，即無法保持潔凈空間,，因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外,。
風速的控制
潔凈室內的氣流是左右潔凈室性能的重要因素，一般潔凈室的氣流速度是選0.25~0.5m/s之間,，此氣流速度屬微風區(qū)域,，易受人、機器等的動作而干擾趨于混亂,、雖提高風速可抑制此一擾亂之影響而保持潔凈度,、但因風速的提高，將影響運轉成本的增加,，所以應在滿足要求的潔凈度水準之時,，能以zui適當?shù)娘L速供應，以達到適當?shù)娘L速供應以達到經濟性效果,。
另一方面欲達到潔凈室潔凈度之穩(wěn)定效果,，均一氣流之保持亦為一重要因素，均一氣流若無法保持,，表示風速有異,，特別是在壁面，氣流會延著壁面發(fā)生渦流作用,，此時要實現(xiàn)高潔凈度事實上很困難,。
垂直層流式方向要保持均一氣流必須：（a）吹出面的風速不可有速度上的差異；（b）地板回風板吸入面之風速不可有速度上的差異,。速度過低或過高（0.2m/s,，0.7m/s）均有渦流之現(xiàn)象發(fā)生，而0.5m/s之速度,，氣流則較均一,，一般潔凈室，其風速均取在0.25~0.5m/s之間,。
影響因素
影響潔凈室的氣流因素很多,，如制程設備、人員,、潔凈室組裝材,、照明器具等，同時對于生產設備上方氣流的分流點,，亦應列入考慮因素,。
一般操作臺或生產設備等表面的氣流分流點，應設于潔凈室空間與隔墻板間距2/3之處,，如此可使作業(yè)人員工作時,，氣流可從制程區(qū)內部流向作業(yè)區(qū),，而將微塵帶走；若分流點配置在制程區(qū)前方,，將成為不當?shù)臍饬鞣至?，此時大部份的氣流將流至制程區(qū)之后，作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設備后面,，工作臺因而將受到污染,，良率也勢必降低。
潔凈室內的工作桌等障礙物,，在相接處均會有渦流現(xiàn)象發(fā)生,，相對地在其附近之潔凈度將會較差，在工作桌面鉆上回風孔,，將使渦流現(xiàn)象減少zui低,；組裝材料之選擇是否恰當、設備布局是否完善,，亦為氣流是否成為渦流現(xiàn)象之重要因素,。
六、潔凈室之構成
潔凈室的構成是由下列各項系統(tǒng)所組成（在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的）,，否則將無法構成一完整且品質良好的潔凈室：
⑴天花板系統(tǒng)：包括吊桿（Ceiling rod）,、綱梁（I-Beam或U-Beam）、天花板格子梁（Ceiling grid或 Ceilingframe）,。
⑵空調系統(tǒng)：包括空氣艙,、過濾器系統(tǒng)、風車等,。
⑶隔墻板（Partitional wall）：包括窗戶,、門。
⑷地板：包括高架地板或防靜電舒美地板,。
⑸照明器具：包括日光燈、黃色燈管等,。
潔凈室之建筑主體構造,，一般是用鋼筋或骨水泥，但無論是何種構造,，必須滿足如下之條件：
A.不會因溫度變化與振動而發(fā)生裂痕,；
B.不易產生微塵粒子，且很難附著粒子,；
C.吸濕性?。?/span>
D.為了維持室內之濕度條件,，熱絕緣性要高,。
七,、潔凈室分類
工業(yè)潔凈室
以無生命微粒的控制為對象。主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染,，內部一般保持正壓狀態(tài),。它適用于精密機械工業(yè)、電子工業(yè)（半導體,、集成電路等）宇航工業(yè),、高純度化學工業(yè)、原子能工業(yè),、光磁產品工業(yè)（光盤,、膠片、磁帶生產）LCD（液晶玻璃）,、電腦硬盤,、電腦磁頭生產等多行業(yè)。
生物潔凈室
主要控制有生命微粒（細菌）與無生命微粒（塵埃）對工作對象的污染,。又可分為：
A,、 一般生物潔凈室：主要控制微生物（細菌）對象的污染。同時其內部材料要能經受各種滅菌劑侵蝕,，內部一般保證正壓,。實質上其內部材料要能經受各種滅菌處理的工業(yè)潔凈室。例：制藥工業(yè),、醫(yī)院（手術室,、無菌病房）食品、化妝品,、飲料產品生產,、動物實驗室、理化檢驗室,、血站等,。
B、 生物學安全潔凈室：主要控制工作對象的有生命微粒對外界和人的污染,。內部要保持與大氣的負壓,。例：細菌學、生物學,、潔凈實驗室,、物物工程（重組基因、疫苗制備）,。
八,、潔凈室污染源知識
1、發(fā)塵量
潔凈室內的發(fā)塵量,，來自設備的可考慮通過局部排風排除,，不流入室內,；產品，材料等在運送過程中的發(fā)塵與人體發(fā)塵量相比,，一般極小,，可忽略；由于金屬半壁（彩鋼夾心板）的應用來自建筑表面的發(fā)塵也很少,，一般占10%以下,，發(fā)塵主要來自人，占90%左右,。在人的發(fā)塵量上,，由于服裝材料和樣式的改進，發(fā)塵量也不斷減少,。
A,、材質：棉質發(fā)塵量zui大，以下依次為棉,、的確良,、去靜電純滌綸、尼龍,。
B,、樣式：大掛式發(fā)塵量zui大，上下分裝型次之,，全罩型zui少,。
C、活動：動作時的發(fā)塵量一般達到靜止時間3-7倍,。
D,、清洗：用溶劑洗滌的發(fā)塵量降至用一般水清洗的五分之一。
室內維護結構表面發(fā)塵量,，以地面為準,，大約相應8平方米地面時的表面發(fā)塵量與一個靜止的人的發(fā)塵量相當。
2,、發(fā)菌量
工作人員產生的污染：
1）皮膚：人類通常每四天完成一次皮膚的*脫換,，人類每分鐘脫落約1000片皮膚（平均大小為30*60*3微米）
2）頭發(fā)：人類的頭發(fā)（直徑約為50~100微米）一直在脫落。
3）口水：包括鈉,、酶、鹽,、鉀,、氯化物及食品微粒。
4）日常衣物：微粒,、纖維,、硅土,、纖維素、各種化學品和細菌,。
5）人類靜止和坐立每分鐘將產生10000個大于0.3微米的微粒,。
6）人類在頭部和軀干做動作時每分鐘將產生1000000個大于0.3微米的微粒。
7）人類以0.9m/s的速度行走時每分鐘將產生5000000個大于0.3微米的微粒,。
分析國外試驗資料可以認為：
⑴ 潔凈室內當工作人員穿無菌服時：
靜止時的發(fā)菌量一般為10-300個/min.人
軀體一般活動時的發(fā)菌量為 150-1000個/min.人
快步行走時的發(fā)菌量為 900-2500個/min.人
⑵ 咳嗽一次一般為 70~700個/ min.人
噴嚏一次一般為 4000~62000個/ min.人
⑶ 穿平常衣服時發(fā)菌量 3300~62000個/ min.人
⑷ 無口罩發(fā)菌量：有口罩發(fā)菌量 1:7~1:14
⑸ 發(fā)菌量：發(fā)塵量 1:500~1:1000 據(jù)國內事例：
⑹ 手術中人員發(fā)菌量 878個/ min.人
所以,，可知潔凈室內無菌衣人員的靜態(tài)發(fā)菌量一般不超過300個/ min.人，動態(tài)發(fā)菌量一般不超過1000個/ min/人,，以此作為計算依據(jù)是可行的,。
九、潔凈室標準規(guī)范
國內標準規(guī)范
潔凈廠房設計規(guī)范
⑴.潔凈廠房設計規(guī)范 GB50073-2001
⑵.醫(yī)院潔凈手術部建筑技術規(guī)范GB50333-2002
⑶.醫(yī)藥工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范GB 50457-2008
⑷.傳染病醫(yī)院建筑設計規(guī)范
⑸.醫(yī)藥工業(yè)潔凈室（區(qū)）懸浮粒子的測試方法GB/T16292-1996
⑹.QS認證質量手冊
⑺.GMP 藥品生產質量管理規(guī)范
⑻. 潔凈室施工及驗收規(guī)范GB 5091-2010
標準規(guī)范
ISO系列
⑴ISO14644-1 空氣潔凈度等級劃分
⑵ISO14644-2 為認證ISO14644-1的 連續(xù)的相符性的測試和監(jiān)測技術要求
⑶ISO14644-3 測試方法
⑷ISO14644-4 設計建造啟動
⑸ISO14644-5 運行（Operations)
⑹ISO14644-6 術語和定義
⑺ISO14644-7 分離裝置（潔凈空氣罩,、手套箱,、分離器和微循環(huán)設備
⑻ISO14644-8 分子污染
⑼ISO14644-9 潔凈化學品（液體）
IEST系列
潔凈空氣：
RP-CC001與超過濾器
RP-CC002單向流裝置
RP-CC006潔凈室測試RP-CC007超過濾器測試
RP-CC008氣體吸收裝置
RP-CC021與超過濾器過濾器介質測試
RP-CC034與超過濾器過濾器檢漏
潔凈室與潔凈環(huán)境：
RP-CC006潔凈室測試
RP-CC012潔凈室設計要點
RP-CC016潔凈室非揮發(fā)性殘留物質的沉積率
RP-CC018潔凈室管理運行與檢測程序
RP-CC022潔凈室與受控環(huán)境中的靜電
RP-CC023潔凈室中的微生物
RP-CC024微電子設備震動測量與說明
RP-CC026潔凈室運行
RP-CC027潔凈室與受控環(huán)境中人員與行為
特殊應用：
RP-CC029使用噴漆器要考慮的污染控制因素
運行保障：
RP-CC003凈室與受控環(huán)境的服裝系統(tǒng)要點
RP-CC004凈室與受控環(huán)境用抹布材料評估
RP-CC005凈室與受控環(huán)境用手套和指套
RP-CC020潔凈室文件材料與格式
設備：
RP-CC002單向流裝置
RP-CC013設備校準與檢驗程序
RP-CC015潔凈室生產設備與輔助設備
術語：
RP-CC011污染控制領域術語和定義
文獻：
RP-CC009污染控制領域的標準、準則,、方法與相關文件概覽
十,、行業(yè)應用
凈化工程是一個應用行業(yè)非常廣泛的基礎性配套產業(yè)，在電子信息,、半導體,、光電子、精密制造,、醫(yī)藥衛(wèi)生,、生物工程、航天航空,、汽車噴涂等眾多行業(yè)均有應用,，并根據(jù)行業(yè)的精密與無塵要求，等級差別也較大,。
目前級別zui高的當屬航天航空的航空倉,，基本是屬于1級，屬于特殊領域,，面積相對較小,。
另外對級別要求較高的是生物化學實驗室和高精納米材料生產車間，互聯(lián)網芯片的發(fā)展將是未來需求的一大方向,。
詳細參數(shù)
潔凈標準與潔凈等級 (ISO 標準）
各粒徑檔zui大容許粒子濃度 （顆/m3）
ISO等級 0.1um 0.2um 0.3um 0.5um 1um 5um
1 10 2
2 100 24 10 4
3 1,，000 237 102 35 8
4 10，000 2,，370 1,，020 32 83
5 100，000 23，700 10,，200 3,，520 832 29
6 1，000,，000 237,，000 102，000 35,，200 8320 293
十一,、潔凈室八大特點
*點，采用更適合潔凈室原理的圓弧轉角,；
第二點,，系統(tǒng)自動控制運行，雙門電子互鎖,，并設有光電感應器,，單向通道風淋室，從非潔凈區(qū)進入,，關門后紅外線感應有人就吹淋,，吹淋后入門鎖閉，只能從出門走出風淋室,；
第三點,，整體冷軋鋼板制作，外表面靜電噴塑處理,；
第四點,，門、底板,、噴嘴均采用不銹鋼制造,，美觀大方；
第五點,，軟鍵觸按式時間繼電器,，LED顯示及設置吹淋時間，范圍在10-99s可調,，吹淋時雙門自動鎖閉,；
第六點，采用初,、兩級過濾系統(tǒng),，有隔板過濾器，過濾效率為：99.99%,，確保凈化級別,；
第七點,，風嘴出風口風速高達25m/s以上，吹到人體上風速18m/s以上,；
第八點，采用EVA密封材料,，密閉性能高,。
十二、從業(yè)人員規(guī)范
為了避免和減少潔凈室從業(yè)人員對潔凈室造成的污染,。任何潔凈室工作以外的人員,，在與潔凈室工作人員捷星接觸談話時，要將自己背對過去,，因為口鼻會向注視的方興散發(fā)污染,。
做到口鼻不對潔凈室的工作區(qū)。
如果出現(xiàn)咳嗽或者打噴嚏的情況,，要做到背對潔凈室的工作區(qū)用手套掩住,，然后及時更換手套。情況嚴重的者應立即離開潔凈室區(qū)域,，并向領導報告,。
潔凈室內不得放置于潔凈室工作無關的物品。潔凈室工作物品要排放有序,。
當設備不能正常運轉的時候,，不要私自維修，要向領導報告,，等專業(yè)人員對潔凈室進行維修,。
另外，由于潔凈室對潔凈度有著過高的要求,。因此,，對潔凈室的工作人員的身體方面的狀況要求是很嚴格的。
患有呼吸道疾病的人,，由于會對潔凈室的空氣造成污染,，故不能進入潔凈室工作
患有結膜炎或者其他產生分泌物的病癥，或者患有皮膚類疾病的人員都是不適合在潔凈室工作的,。
另外需要注意的,，潔凈室的工作人員要對自己的口腔衛(wèi)生，保持注意,。潔凈室工作人員要定期的進行身體健康狀況的檢查,。
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