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廣州潔凈室無塵車間的認識與行業(yè)標準
廣州潔凈室無塵車間
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潔凈室*概述
潔凈室(Clean Room),，亦稱無塵車間,、無塵室或清凈室,。潔凈室的主要功能為室內(nèi)污染控制,，沒有潔凈室，污染敏感零件不可能批量生產(chǎn),。在FED-STD-2里面,，潔凈室被定義為具備空氣過濾、分配,、優(yōu)化,、構(gòu)造材料和裝置的房間,，其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當?shù)奈⒘崈舳燃墑e,。潔凈程度和控制污染的持續(xù)穩(wěn)定性,，是檢驗潔凈室質(zhì)量的核心標準，該標準根據(jù)區(qū)域環(huán)境,、凈化程度等因素,，分為若干等級，常用的有標準和國內(nèi)區(qū)域行業(yè)標準,，一些凈化工程公司,，在通行標準之外，還設(shè)有自身執(zhí)行的高于化通行標準的凈化指標,，凈化能力和環(huán)境適應(yīng)力遠超品牌,。
一、定義
潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子,、有害空氣,、細菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度,、潔凈度,、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布,、噪音振動及照明,、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計之房間,。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性,。
潔凈室zui主要之作用在于控制產(chǎn)品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,，使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,，此空間我們稱之為潔凈室,。按照慣例，無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定,。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵,，而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,，但是對于光學(xué)構(gòu)造而言,，哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負面影響，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,，無塵是必然的要求,。
每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下,，就達到了無塵標準的*。芯片級生產(chǎn)加工的無塵標準對于灰塵的要求高于*,，這樣的高標主要被應(yīng)用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上,。0.5uM及以下的微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別,。
潔凈室的使用
空態(tài)：已經(jīng)建造完成并可以投入使用的潔凈室（設(shè)施）,。它具備所有有關(guān)的服務(wù)和功能。但是,，在設(shè)施內(nèi)沒有操作人員操作的設(shè)備,。
靜態(tài)：各種功能完備、設(shè)定安裝妥當,，可以按照設(shè)定使用或正在使用的潔凈室（設(shè)施）,，但是設(shè)施內(nèi)沒有操作人員。
動態(tài)：處于正常使用的潔凈室,，服務(wù)功能完善,，有設(shè)備和人員；如果需要,，可從事正常的工作,。
二、潔凈室原理
單向流（層流）潔凈室原理
在潔凈室內(nèi),，從送風(fēng)口到回風(fēng)口,，氣流流經(jīng)途中的斷面幾乎沒有什么變化，加上進風(fēng)靜壓箱和過濾器的均壓均流作用,，全室斷面上的流速比較均勻,，而至少在工作區(qū)內(nèi)流線單向平行，沒有渦流,。這也就是單向流潔凈室的三大特點,。這里的流線單向平行，是指時均流線彼此平行,，方向單一,。
單向流潔凈室的流態(tài)從雷諾數(shù)判斷是紊流的，所以所謂層流潔凈室的層流和流體力學(xué)上的層流是*不同的概念,。因此,，層流潔凈室這個名詞是不貼切的,，國外某些標準和文章也指出這一點,，例如英國標準BS-5295就曾把所謂層流潔凈室定義為單向流潔凈室，只是照顧習(xí)慣在括號中注明為層流,。前聯(lián)邦德國標準VDl- 2083則用“非紊流的置換流”這一術(shù)語,，并在注中指出,，層流這一概念只是為了區(qū)別早于層流潔凈室出現(xiàn)的紊（亂）流潔凈室而在當時采用的習(xí)慣用語，“層流系統(tǒng)”的確切意思并不是分層流動,，而是紊流的置換流,，用本章提到的概念是紊流的漸變流。在流體力學(xué)中,，這種流動狀態(tài)也可稱平行流或單向流,。1977年中國在《空氣潔凈技術(shù)措施》中選用了“平行流”這個術(shù)語，在該術(shù)語后面同時也指出習(xí)慣上稱“層流”,。
在單向流潔凈室內(nèi),，干凈氣流不是一股或幾股，而是充滿全室斷面,，所以這種潔凈室不是靠潔凈氣流對室內(nèi)臟空氣的摻混稀釋作用,，而是靠潔凈氣流推出作用將室內(nèi)臟空氣沿整個斷面排至室外，達到凈化室內(nèi)空氣的目的,。所以,，前聯(lián)邦德國有人稱單向流潔凈室的氣流為“活塞流”、“平推流”前蘇聯(lián)稱之為“被擠壓的弱空氣射流”,。干凈空氣就好比一個空氣活塞,，沿著房間這個“氣缸”，向前（下）推進,，而使塵粒只能前（下）進,，沒有返回，把原有的含塵濃度高的空氣擠壓出房間,。
在單向流潔凈室以及單向流凈化設(shè)備中,，可以發(fā)現(xiàn)沿壁的和兩個過濾器搭接處下方的反向氣流。這種氣流將把下方的污染傳輸?shù)缴喜吭偎拖聛?，破壞了上?ldquo;活塞流”的狀態(tài),，危害極大。對于和外界有開口相通的局部凈化設(shè)備,，例如潔凈工作臺,，這種氣流將引射外界污染氣流，在設(shè)計上一定要減小過濾器邊框處所占的無效面積,，更要設(shè)法使空間的壁面盡量接近過濾器有效迭風(fēng)截面,。
通過上面分析，可以認為保證單向流潔凈室特性（高潔凈度和快速自凈恢復(fù)能力）的重要先決條件有兩個：①來流的潔凈度,；②來流的活塞流情況,；
對于來流的潔凈度，對通過以上過濾器送風(fēng)的單向流潔凈室來說是不成問題的，而對于來流的“活塞流”情況,，則需作進～步分析,。
根據(jù)流體力學(xué)原理，來流條件對以后的流動狀況將有直接的重要影響,，送風(fēng)面出口氣流也就是工作區(qū)的來流,。
來流的紊動性大，則將影響后面的單向流特性,；來流未充滿流動截面,，則將影響后面是否能形成“活塞流”和形成的快慢；而來流未充滿流動截面也是來流素動的一個因素,。所以,，在采用過濾器的條件下，保證單向流潔凈室特性的必要條件是“活塞流”,，而“活塞流”的必要條件則是來流充滿流動截面,。但是，對一間房間而不是一段管道來說,，讓氣流從頭至尾*充滿流動截面也是不現(xiàn)實的,。
zui初，確實認為這種單向平行的氣流應(yīng)該充滿整個潔凈室,，但這在技術(shù)上和經(jīng)濟上都是不利的,。隨著認識的發(fā)展，人們又指出這種單向流只是“在有限的領(lǐng)域內(nèi)全部空氣沿平行流線以等速流動的意思”,，并認為能極力抑制渦流的發(fā)生,。通過全空間的清潔空氣的單向流特性占支配地位的那樣的房間，也稱為單向流潔凈室,。這就是說,，不要求在整個房間都具有單向平行的流線，均勻的速度,，沒有渦流,，而是只要求單向平行流特性在這個房間中占支配地位，例如在整個工作區(qū)這一層空間保證了單向流,，這個房間就是單向流潔凈室,。前面介紹過的國內(nèi)外有關(guān)標準、措施中關(guān)于單向流潔凈室達到的高潔凈度,，就是指在工作區(qū)內(nèi)達到的潔凈度,。因此，密集布置的流線型散流器頂送和全孔板頂送,，也被作為實現(xiàn)垂直單向流的手段使用,。
亂流潔凈室原理
潔凈室按其氣流狀態(tài)來區(qū)分，主要分為亂流（非單向流）潔凈室、單向流潔凈室和輻流潔凈室（也有稱矢流潔凈室的）,，這一節(jié)主要討論亂流潔凈室,。前面已經(jīng)指出,，不論是哪一種潔凈室,，都是紊流流態(tài)。那為什么不都叫紊流潔凈室呢,？
亂流潔凈室的名稱是借用于日文,，但是日文的亂流就是紊流的意思，而中國zui早在《空氣潔凈技術(shù)措施》中正式采用的亂流一詞是兼有紊流的含義而不同于流體力學(xué)上的紊流這一專有名詞,。上習(xí)慣稱這種潔凈室為非單向流潔凈室,。
所謂亂流潔凈室，一般包括以下各種送風(fēng)形式：
⑴效過濾器頂送（有擴散板和無擴散板）
⑵流線型散流器頂進
⑶局部孔板頂送
⑷側(cè)送
具有這些送風(fēng)形式的潔凈室,，如以雷諾數(shù)判斷,，顯然屬于紊流流態(tài)，但是如果把它們稱為紊流潔凈室就不合適,。氣流沿整個頂棚下送,，室內(nèi)速度達到0.25m/s 以上，這種室內(nèi)的流動狀態(tài)也是紊流,，但在后面就會搞清楚,，雖然這兩種送風(fēng)方式都造成室內(nèi)紊流流態(tài)，但是就其凈化室內(nèi)空氣的原理來說,，卻是根本不同的,，后者屬于單向流或平行流潔凈室的凈化原理。所以如果把前者稱為紊流潔凈室,，則后者也應(yīng)被包含進去了,。
亂流潔凈室的主要特點是從來流到出流（從送風(fēng)口到回風(fēng)口）之間氣流的流通截面是變化的，潔凈室截面比送風(fēng)口截面大得多,，因而不能在全室截面或者在全室工作區(qū)截面形成勻速氣流,。所以，送風(fēng)口以后的流線彼此有很大或者越來越大的夾角,，曲率半徑很小,，氣流在室內(nèi)不可能以單一方向流動，將會彼此撞擊,，將有回流,、旋渦產(chǎn)生。這就決定亂流潔凈室的流態(tài)實質(zhì)是：突變流,；非均勻流,。
這比用紊流來描述亂流潔凈室更確切、更全面。紊流主要決定于雷諾數(shù),，也就是主要受流速的影響,，但是如果采用一個過濾器頂送的送風(fēng)形式，則即使流速極低,，也要產(chǎn)生上述各種結(jié)果,，這就因為它是一個突變流和非均勻流。因此這種情況下不僅有流層之間因紊流流動而發(fā)生的摻混,，而且還有全室范圍內(nèi)的大的回流,、旋渦所發(fā)生的摻混。
所以,，概括地說,，亂流潔凈室的作用原理是：當一股干凈氣流從送風(fēng)口送入室內(nèi)時，迅速向四周擴散,、混合,，同時把差不多同樣數(shù)量的氣流從回風(fēng)口排走，這股干凈氣流稀釋著室內(nèi)污染的空氣,，把原來含塵濃度很高的室內(nèi)空氣沖淡了,，一直達到平衡。所以氣流擴散得越快,，越均勻,，稀釋的效果就越好。所以亂流潔凈室的原理就是稀釋作用,。
三,、控管項目
1、能除去空氣中飄游之微塵粒子,。
2,、能防止微塵粒子之產(chǎn)生。
3,、溫度和濕度之控制,。
4、壓力之調(diào)節(jié),。
5,、 有害氣體之排除。
6,、結(jié)構(gòu)物與隔間之氣密性,。
7、靜電之防制,。
8,、電磁干擾預(yù)防,。
9、安全因素之考慮,。
10,、節(jié)能之考量。
空氣凈化方法
1 ,、整體凈化：可分為層流型和湍流型,。層流是指空氣由一側(cè)全面地以同速流向另一側(cè)，使室內(nèi)產(chǎn)生的塵?；蚣毦粫蛩闹軘U散而被平推出室外,，而達到好的除菌效果,。
⑴過濾除菌技術(shù)：空氣潔凈主要靠或超過濾設(shè)備,，向特定的環(huán)境內(nèi)輸送潔凈空氣并能保持空氣的潔凈度。過濾潔凈原理：①網(wǎng)截阻留,；②篩孔阻留,；③靜電吸引阻留；④慣性碰撞和布朗運動阻留,。因此,，過濾潔凈技術(shù)是一種綜合作用的結(jié)果。
⑵濾材結(jié)構(gòu)：生物潔凈室所用濾材級別多數(shù)為或超濾材,，所用濾材有：玻璃棉制濾材,、紙漿制濾材、石棉纖維濾材,、過氯乙烯纖維濾材等,。濾材對空氣中 0.5 μ m 的顆粒的阻留率能達到 90%~99% ，超濾材可阻留 0.3 μ m 的顆粒 99.9% 以上,。
2 ,、局部凈化
⑴潔凈層流罩：潔凈層流罩是醫(yī)院局部空氣凈化裝置。一般可構(gòu)成垂直層流方式,，四周用透明圍幕,。整個罩內(nèi)可保持高潔凈度（萬級至百級）空氣。這種潔凈層流罩可用于免疫功能低下病人的治療保護,，所以也稱無菌病床層流罩,。
⑵凈化操作臺：采用水平或垂直層流方式凈化箱體內(nèi)的空氣，可使操作臺內(nèi)凈化達到很別,。
⑶靜電吸附除菌凈化技術(shù)：靜電吸附除菌是利用工業(yè)電除塵的原理,，在小型化技術(shù)方面有所創(chuàng)新。①采用細線放電極與蜂巢狀鋁箱收集極形成級線裝置,；②采用鏡象力荷電吸附作用,。
目前有一種三級凈化裝置,，即預(yù)過濾 - 過濾 - 活性炭吸附，組合式正離子靜電吸附除菌,，并采用大風(fēng)量空氣凈化,，以保證室內(nèi)空氣凈化次數(shù)，較好地解決了醫(yī)院重點部門如手術(shù)室,、 ICU ,、母嬰病房、血液透析室等有人情況下的空氣持續(xù)消毒問題,，可使醫(yī)院室內(nèi)空氣的凈化潔凈度達到 10 萬級 ~1 萬級,。
⑷負離子凈化技術(shù)：負離子是一種帶負電的化學(xué)基團，能發(fā)生可逆性變化,，存在時間極短,，本身并無殺滅微生物的能力，主要是靠帶電離子與空氣中的微粒特別是微生物顆粒結(jié)合,，形成多個顆粒凝聚變大從而迅速沉降,，使空氣達到凈化的目的?？諝庵胸撾x子只有在具備某些化學(xué)性質(zhì)時,，如活性氧離子等，它們才具有侵害蛋白質(zhì)的能力從而殺滅微生物,，因此負離子對空氣凈化的能力比較有限,，對空氣中微生物粒子清除率只能達到 70%~90%。
四,、分類
亂流式
空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過濾器（HEPA)進入潔凈室,，并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài),。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級,。
定義：氣流以不均勻速度不平行流動、伴有回流或渦流的潔凈室,。
特性：亂流潔凈室是靠多次換氣來實現(xiàn)潔凈與潔凈級別,。換氣次數(shù)決定定義中的凈化級別（換氣次數(shù)越多，凈化級別越高）
⑴自凈時間：是指潔凈室按設(shè)計換氣次數(shù)開始送風(fēng)到潔凈室,，室內(nèi)含塵濃度達到所設(shè)計的凈化級別的時間,。1,000級希望不超過20min（分鐘） （可取15min計算） 10,000級希望不超過30min（分鐘） （可取25min計算） 100,000級希望不超過40min（分鐘） （可取30min計算）
⑵換氣次數(shù)（按上述自凈時間要求設(shè)計）1,000級 43.5—55.3次/小時 （規(guī)范：50次/小時） 10,000級 23.8—28.6次/小時 （規(guī)范：25次/小時） 100,000級 14.4—19.2次/小時 （規(guī)范：15次/小時）
優(yōu)點：構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本,，潔凈室之擴充比較容易,，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺,，提高潔凈室等級,。
缺點：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出,，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運轉(zhuǎn)再激活,，欲達需求之潔凈度,，往往須耗時相當長一段時間。
層流式（Laminar)
層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形,，空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內(nèi),，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)，此型式適用于潔凈室等級需定較高之環(huán)境使用,，一般其潔凈室等級為Class 1~100,。其型式可分為二種：
⑴水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng),，塵埃隨風(fēng)向排出室外,，一般在下流側(cè)污染較嚴重。
優(yōu)點：構(gòu)造簡單,，運轉(zhuǎn)后短時間內(nèi)即可變成穩(wěn)定,。
缺點：建造費用比亂流式高,，室內(nèi)空間不易擴充,。
⑵垂直層流式：房間天花板*以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹,，可得較高之潔凈度,，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區(qū)域,。
優(yōu)點：管理容易,，運轉(zhuǎn)開始短時間內(nèi)即可達穩(wěn)定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響,。
缺點：構(gòu)造費用較高,，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當占空間,，維修更換過濾器較麻煩,。
復(fù)合式（Mixed Type)
復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣,。
⑴潔凈隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上,，可節(jié)省安裝運轉(zhuǎn)費用。
此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機器維修予以隔離,，以避免機器維修時影響了工作及品質(zhì),，ULSI制程大都采用此種型式。
潔凈隧道另有二項優(yōu)點：A.彈性擴充容易,； B.維修設(shè)備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行,。
⑵潔凈管道（Clean Tube）：將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動生產(chǎn)線包圍并凈化處理,，將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離,，少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度,，可節(jié)省能源，不需人工的自動化生產(chǎn)線為zui適宜使用,。藥品,、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。
⑶并裝局部潔凈室（Clean Spot）：將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上,，以為生產(chǎn)之用,；潔凈工作臺、潔凈工作棚,、潔凈風(fēng)柜即屬此類,。
潔凈工作臺：等級Class 1~100級。
潔凈工作棚：為在亂流式之潔凈室空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間,，采用獨立之HEPA或ULPA及空調(diào)送風(fēng)機組而成為一較之潔凈空間，其等級為10~1000級,，高度在2.5米左右,，覆蓋面積約10m2以下，四支支柱并加裝活動輪,，可為彈性運用,。
五、氣流的流動
氣流的重要性
潔凈室的潔凈度往往受到氣流的影響,，換言之,，即人、機器隔間,、建筑結(jié)構(gòu)等所產(chǎn)生的塵埃之移動,、擴散受到氣流的支配。
潔凈室系利用HEPA,、ULPA過濾空氣,，其塵埃的收集率達99.97~99.99995%之多，因此經(jīng)過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈,。然而潔凈室內(nèi)除了人以外,，尚有機器等之發(fā)塵源，這些發(fā)生的塵埃一旦擴散,，即無法保持潔凈空間,，因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。
風(fēng)速的控制
潔凈室內(nèi)的氣流是左右潔凈室性能的重要因素,，一般潔凈室的氣流速度是選0.25~0.5m/s之間,，此氣流速度屬微風(fēng)區(qū)域,，易受人、機器等的動作而干擾趨于混亂,、雖提高風(fēng)速可抑制此一擾亂之影響而保持潔凈度,、但因風(fēng)速的提高，將影響運轉(zhuǎn)成本的增加,，所以應(yīng)在滿足要求的潔凈度水準之時,，能以zui適當?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)，以達到適當?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)以達到經(jīng)濟性效果,。
另一方面欲達到潔凈室潔凈度之穩(wěn)定效果,，均一氣流之保持亦為一重要因素，均一氣流若無法保持,，表示風(fēng)速有異,，特別是在壁面，氣流會延著壁面發(fā)生渦流作用,，此時要實現(xiàn)高潔凈度事實上很困難,。
垂直層流式方向要保持均一氣流必須：（a）吹出面的風(fēng)速不可有速度上的差異；（b）地板回風(fēng)板吸入面之風(fēng)速不可有速度上的差異,。速度過低或過高（0.2m/s,，0.7m/s）均有渦流之現(xiàn)象發(fā)生，而0.5m/s之速度,，氣流則較均一,，一般潔凈室，其風(fēng)速均取在0.25~0.5m/s之間,。
影響因素
影響潔凈室的氣流因素很多，如制程設(shè)備,、人員,、潔凈室組裝材、照明器具等,，同時對于生產(chǎn)設(shè)備上方氣流的分流點,，亦應(yīng)列入考慮因素。
一般操作臺或生產(chǎn)設(shè)備等表面的氣流分流點,，應(yīng)設(shè)于潔凈室空間與隔墻板間距2/3之處,，如此可使作業(yè)人員工作時，氣流可從制程區(qū)內(nèi)部流向作業(yè)區(qū),，而將微塵帶走,；若分流點配置在制程區(qū)前方，將成為不當?shù)臍饬鞣至?，此時大部份的氣流將流至制程區(qū)之后,，作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設(shè)備后面,，工作臺因而將受到污染，良率也勢必降低,。
潔凈室內(nèi)的工作桌等障礙物,，在相接處均會有渦流現(xiàn)象發(fā)生，相對地在其附近之潔凈度將會較差,，在工作桌面鉆上回風(fēng)孔,，將使渦流現(xiàn)象減少zui低；組裝材料之選擇是否恰當,、設(shè)備布局是否完善,，亦為氣流是否成為渦流現(xiàn)象之重要因素。
六,、潔凈室之構(gòu)成
潔凈室的構(gòu)成是由下列各項系統(tǒng)所組成（在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的）,，否則將無法構(gòu)成一完整且品質(zhì)良好的潔凈室：
⑴天花板系統(tǒng)：包括吊桿（Ceiling rod）、綱梁（I-Beam或U-Beam）,、天花板格子梁（Ceiling grid或 Ceilingframe）,。
⑵空調(diào)系統(tǒng)：包括空氣艙、過濾器系統(tǒng),、風(fēng)車等,。
⑶隔墻板（Partitional wall）：包括窗戶、門,。
⑷地板：包括高架地板或防靜電舒美地板,。
⑸照明器具：包括日光燈、黃色燈管等,。
潔凈室之建筑主體構(gòu)造,，一般是用鋼筋或骨水泥，但無論是何種構(gòu)造,，必須滿足如下之條件：
A.不會因溫度變化與振動而發(fā)生裂痕,；
B.不易產(chǎn)生微塵粒子，且很難附著粒子,；
C.吸濕性?。?/span>
D.為了維持室內(nèi)之濕度條件,，熱絕緣性要高,。
七、潔凈室分類
工業(yè)潔凈室
以無生命微粒的控制為對象,。主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染,，內(nèi)部一般保持正壓狀態(tài)。它適用于精密機械工業(yè)、電子工業(yè)（半導(dǎo)體,、集成電路等）宇航工業(yè),、高純度化學(xué)工業(yè)、原子能工業(yè),、光磁產(chǎn)品工業(yè)（光盤,、膠片、磁帶生產(chǎn)）LCD（液晶玻璃）,、電腦硬盤,、電腦磁頭生產(chǎn)等多行業(yè)。
生物潔凈室
主要控制有生命微粒（細菌）與無生命微粒（塵埃）對工作對象的污染,。又可分為：
A,、 一般生物潔凈室：主要控制微生物（細菌）對象的污染。同時其內(nèi)部材料要能經(jīng)受各種滅菌劑侵蝕,，內(nèi)部一般保證正壓,。實質(zhì)上其內(nèi)部材料要能經(jīng)受各種滅菌處理的工業(yè)潔凈室。例：制藥工業(yè),、醫(yī)院（手術(shù)室,、無菌病房）食品、化妝品,、飲料產(chǎn)品生產(chǎn),、動物實驗室、理化檢驗室,、血站等,。
B、 生物學(xué)安全潔凈室：主要控制工作對象的有生命微粒對外界和人的污染,。內(nèi)部要保持與大氣的負壓,。例：細菌學(xué)、生物學(xué),、潔凈實驗室,、物物工程（重組基因、疫苗制備）,。
八、潔凈室污染源知識
1,、發(fā)塵量
潔凈室內(nèi)的發(fā)塵量,，來自設(shè)備的可考慮通過局部排風(fēng)排除，不流入室內(nèi),；產(chǎn)品,，材料等在運送過程中的發(fā)塵與人體發(fā)塵量相比，一般極小，可忽略,；由于金屬半壁（彩鋼夾心板）的應(yīng)用來自建筑表面的發(fā)塵也很少，一般占10%以下，發(fā)塵主要來自人,，占90%左右,。在人的發(fā)塵量上，由于服裝材料和樣式的改進,，發(fā)塵量也不斷減少,。
A、材質(zhì)：棉質(zhì)發(fā)塵量zui大,，以下依次為棉,、的確良、去靜電純滌綸,、尼龍,。
B、樣式：大掛式發(fā)塵量zui大,，上下分裝型次之,，全罩型zui少。
C,、活動：動作時的發(fā)塵量一般達到靜止時間3-7倍,。
D、清洗：用溶劑洗滌的發(fā)塵量降至用一般水清洗的五分之一,。
室內(nèi)維護結(jié)構(gòu)表面發(fā)塵量,，以地面為準，大約相應(yīng)8平方米地面時的表面發(fā)塵量與一個靜止的人的發(fā)塵量相當,。
2,、發(fā)菌量
工作人員產(chǎn)生的污染：
1）皮膚：人類通常每四天完成一次皮膚的*脫換，人類每分鐘脫落約1000片皮膚（平均大小為30*60*3微米）
2）頭發(fā)：人類的頭發(fā)（直徑約為50~100微米）一直在脫落,。
3）口水：包括鈉,、酶、鹽,、鉀,、氯化物及食品微粒。
4）日常衣物：微粒,、纖維,、硅土、纖維素,、各種化學(xué)品和細菌,。
5）人類靜止和坐立每分鐘將產(chǎn)生10000個大于0.3微米的微粒,。
6）人類在頭部和軀干做動作時每分鐘將產(chǎn)生1000000個大于0.3微米的微粒。
7）人類以0.9m/s的速度行走時每分鐘將產(chǎn)生5000000個大于0.3微米的微粒,。
分析國外試驗資料可以認為：
⑴ 潔凈室內(nèi)當工作人員穿無菌服時：
靜止時的發(fā)菌量一般為10-300個/min.人
軀體一般活動時的發(fā)菌量為 150-1000個/min.人
快步行走時的發(fā)菌量為 900-2500個/min.人
⑵ 咳嗽一次一般為 70~700個/ min.人
噴嚏一次一般為 4000~62000個/ min.人
⑶ 穿平常衣服時發(fā)菌量 3300~62000個/ min.人
⑷ 無口罩發(fā)菌量：有口罩發(fā)菌量 1:7~1:14
⑸ 發(fā)菌量：發(fā)塵量 1:500~1:1000 據(jù)國內(nèi)事例：
⑹ 手術(shù)中人員發(fā)菌量 878個/ min.人
所以,，可知潔凈室內(nèi)無菌衣人員的靜態(tài)發(fā)菌量一般不超過300個/ min.人，動態(tài)發(fā)菌量一般不超過1000個/ min/人,，以此作為計算依據(jù)是可行的,。
九、潔凈室標準規(guī)范
國內(nèi)標準規(guī)范
潔凈廠房設(shè)計規(guī)范
⑴.潔凈廠房設(shè)計規(guī)范 GB50073-2001
⑵.醫(yī)院潔凈手術(shù)部建筑技術(shù)規(guī)范GB50333-2002
⑶.醫(yī)藥工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范GB 50457-2008
⑷.傳染病醫(yī)院建筑設(shè)計規(guī)范
⑸.醫(yī)藥工業(yè)潔凈室（區(qū)）懸浮粒子的測試方法GB/T16292-1996
⑹.QS認證質(zhì)量手冊
⑺.GMP 藥品生產(chǎn)質(zhì)量管理規(guī)范
⑻. 潔凈室施工及驗收規(guī)范GB 5091-2010
標準規(guī)范
ISO系列
⑴ISO14644-1 空氣潔凈度等級劃分
⑵ISO14644-2 為認證ISO14644-1的 連續(xù)的相符性的測試和監(jiān)測技術(shù)要求
⑶ISO14644-3 測試方法
⑷ISO14644-4 設(shè)計建造啟動
⑸ISO14644-5 運行（Operations)
⑹ISO14644-6 術(shù)語和定義
⑺ISO14644-7 分離裝置（潔凈空氣罩,、手套箱,、分離器和微循環(huán)設(shè)備
⑻ISO14644-8 分子污染
⑼ISO14644-9 潔凈化學(xué)品（液體）
IEST系列
潔凈空氣：
RP-CC001與超過濾器
RP-CC002單向流裝置
RP-CC006潔凈室測試RP-CC007超過濾器測試
RP-CC008氣體吸收裝置
RP-CC021與超過濾器過濾器介質(zhì)測試
RP-CC034與超過濾器過濾器檢漏
潔凈室與潔凈環(huán)境：
RP-CC006潔凈室測試
RP-CC012潔凈室設(shè)計要點
RP-CC016潔凈室非揮發(fā)性殘留物質(zhì)的沉積率
RP-CC018潔凈室管理運行與檢測程序
RP-CC022潔凈室與受控環(huán)境中的靜電
RP-CC023潔凈室中的微生物
RP-CC024微電子設(shè)備震動測量與說明
RP-CC026潔凈室運行
RP-CC027潔凈室與受控環(huán)境中人員與行為
特殊應(yīng)用：
RP-CC029使用噴漆器要考慮的污染控制因素
運行保障：
RP-CC003凈室與受控環(huán)境的服裝系統(tǒng)要點
RP-CC004凈室與受控環(huán)境用抹布材料評估
RP-CC005凈室與受控環(huán)境用手套和指套
RP-CC020潔凈室文件材料與格式
設(shè)備：
RP-CC002單向流裝置
RP-CC013設(shè)備校準與檢驗程序
RP-CC015潔凈室生產(chǎn)設(shè)備與輔助設(shè)備
術(shù)語：
RP-CC011污染控制領(lǐng)域術(shù)語和定義
文獻：
RP-CC009污染控制領(lǐng)域的標準、準則,、方法與相關(guān)文件概覽
十,、行業(yè)應(yīng)用
凈化工程是一個應(yīng)用行業(yè)非常廣泛的基礎(chǔ)性配套產(chǎn)業(yè)，在電子信息,、半導(dǎo)體,、光電子、精密制造,、醫(yī)藥衛(wèi)生,、生物工程、航天航空,、汽車噴涂等眾多行業(yè)均有應(yīng)用,，并根據(jù)行業(yè)的精密與無塵要求，等級差別也較大,。
目前級別zui高的當屬航天航空的航空倉,，基本是屬于1級，屬于特殊領(lǐng)域,，面積相對較小,。
另外對級別要求較高的是生物化學(xué)實驗室和高精納米材料生產(chǎn)車間，互聯(lián)網(wǎng)芯片的發(fā)展將是未來需求的一大方向,。
詳細參數(shù)
潔凈標準與潔凈等級 (ISO 標準）
各粒徑檔zui大容許粒子濃度 （顆/m3）
ISO等級 0.1um 0.2um 0.3um 0.5um 1um 5um
1 10 2
2 100 24 10 4
3 1,，000 237 102 35 8
4 10，000 2,，370 1,，020 32 83
5 100，000 23,，700 10,，200 3，520 832 29
6 1,，000，000 237，000 102,，000 35,，200 8320 293
十一、潔凈室八大特點
*點,，采用更適合潔凈室原理的圓弧轉(zhuǎn)角,；
第二點，系統(tǒng)自動控制運行,，雙門電子互鎖,，并設(shè)有光電感應(yīng)器，單向通道風(fēng)淋室,，從非潔凈區(qū)進入,，關(guān)門后紅外線感應(yīng)有人就吹淋，吹淋后入門鎖閉,，只能從出門走出風(fēng)淋室,；
第三點，整體冷軋鋼板制作,，外表面靜電噴塑處理,；
第四點，門,、底板,、噴嘴均采用不銹鋼制造，美觀大方,；
第五點,，軟鍵觸按式時間繼電器，LED顯示及設(shè)置吹淋時間,，范圍在10-99s可調(diào),，吹淋時雙門自動鎖閉；
第六點,，采用初,、兩級過濾系統(tǒng)，有隔板過濾器,，過濾效率為：99.99%,，確保凈化級別；
第七點,，風(fēng)嘴出風(fēng)口風(fēng)速高達25m/s以上,，吹到人體上風(fēng)速18m/s以上；
第八點,，采用EVA密封材料,，密閉性能高,。
十二、從業(yè)人員規(guī)范
為了避免和減少潔凈室從業(yè)人員對潔凈室造成的污染,。任何潔凈室工作以外的人員,，在與潔凈室工作人員捷星接觸談話時，要將自己背對過去,，因為口鼻會向注視的方興散發(fā)污染,。
做到口鼻不對潔凈室的工作區(qū)。
如果出現(xiàn)咳嗽或者打噴嚏的情況,，要做到背對潔凈室的工作區(qū)用手套掩住,，然后及時更換手套。情況嚴重的者應(yīng)立即離開潔凈室區(qū)域,，并向領(lǐng)導(dǎo)報告,。
潔凈室內(nèi)不得放置于潔凈室工作無關(guān)的物品。潔凈室工作物品要排放有序,。
當設(shè)備不能正常運轉(zhuǎn)的時候,，不要私自維修，要向領(lǐng)導(dǎo)報告,，等專業(yè)人員對潔凈室進行維修,。
另外，由于潔凈室對潔凈度有著過高的要求,。因此,，對潔凈室的工作人員的身體方面的狀況要求是很嚴格的。
患有呼吸道疾病的人,，由于會對潔凈室的空氣造成污染,，故不能進入潔凈室工作
患有結(jié)膜炎或者其他產(chǎn)生分泌物的病癥，或者患有皮膚類疾病的人員都是不適合在潔凈室工作的,。
另外需要注意的,，潔凈室的工作人員要對自己的口腔衛(wèi)生，保持注意,。潔凈室工作人員要定期的進行身體健康狀況的檢查,。
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