上海光學(xué)儀器一廠:表面粗糙度儀的相關(guān)原理介紹
我們都知道采用針描法原理的表面粗糙度儀由傳感器,、驅(qū)動(dòng)器,、指零表、記錄器和工作臺(tái)等主要部件組成。電感傳感器是輪廓儀的主要部件之一,,其工作原理見圖2,,在傳感器測桿的一端裝有金剛石觸針,觸針曲率半徑r很小,,測量時(shí)將觸針搭在工件上,,與被測表面垂直接觸,利用驅(qū)動(dòng)器以一定的速度拖動(dòng)傳感器,。由于被測表面輪廓峰谷起伏,,觸狀在被測表面滑行時(shí),將產(chǎn)生上下移動(dòng),。此運(yùn)動(dòng)經(jīng)支點(diǎn)使磁芯同步地上下運(yùn)動(dòng),,從而使包圍在磁芯外面的兩個(gè)差動(dòng)電感線圈的電感量發(fā)生變化。
傳感器的線圈與測量線路是直接接入平衡電橋的,,線圈電感量的變化使電橋失去平衡,,于是就輸出一個(gè)和觸針上下的位移量成正比的信號(hào),經(jīng)電子裝置將這一微弱電量的變化放大,、相敏檢波后,,獲得能表示觸針位移量大小和方向的信號(hào)。此后,,將信號(hào)分成三路:一路加到指零表上,,以表示觸針的位置,一路輸至直流功率放大器,,放大后推動(dòng)記錄器進(jìn)行記錄,;另一路經(jīng)濾波和平均表放大器放大之后,進(jìn)入積分計(jì)算器,,進(jìn)行積分計(jì)算,,即可由指示表直接讀出表面粗糙度Ra值。
指零表的作用反映鐵芯在差動(dòng)電感線圈中所處的位置,。當(dāng)鐵芯處于差動(dòng)電感線圈的中間位置時(shí),,指零表指針指示出零位,即保證處于電感變化的線性范圍之內(nèi),。所以,,在測量之前,必須調(diào)整指零表,,使其處于零位,。噪聲濾波的目的在于剔除一些干擾信號(hào),如電氣元件的噪聲所引起的虛假信號(hào),。大量的測試表明,,高于 400Hz的信號(hào)即不是被測表面粗糙度所引的信號(hào),,必須從總信號(hào)中加以剔除。所以噪聲濾波器是一種低通(低頻能通過)濾波器,,它使400Hz以下的低頻信號(hào)順利通過,,而將400Hz以上的高頻信號(hào)迅速衰減,從而達(dá)到濾波的目的,。波度濾波的目的則是用以濾掉距大于取樣長度的波度,,因此它是一個(gè)高通(高頻能通過)濾波器,使表面粗糙度所引起的高頻(相對(duì)于波度引起的低頻而言)信號(hào)能自由通過,。
經(jīng)過噪聲濾波和波度濾波以后,,剩下來的就是與被測表面粗糙度成比例的信號(hào),再經(jīng)平均表放大器后,,所輸出的電流I與被測表面輪廓各點(diǎn)偏離中線的高度y的值成正比,,然后經(jīng)積分器完成 的積計(jì)算,得出Ra值,,由指零表顯示出來,。這種儀器適用于測定0.02-10μm的Ra值,其中有少數(shù)型號(hào)的儀器還可測定更小的參數(shù)值,,儀器配有各種附件,,以適應(yīng)平面、內(nèi)外圓柱面,、圓錐面,、球面、曲面,、以及小孔,、溝槽等形狀的工件表面測量。測量迅速方便,,測值精度高,。
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