一,、潔凈廠房?jī)?nèi)氣體動(dòng)力管道的敷設(shè)
1、氣體動(dòng)力管道一般包括蒸汽,、壓縮空氣,、氧氣、氮?dú)?、天然氣,、真空管道，潔凈廠房是指工藝有空氣潔凈度要求高的廠房,。氣體動(dòng)力管道一般屬于GC類壓力管道,。氣體動(dòng)力管道的干管一般布置在技術(shù)夾層內(nèi)、技術(shù)夾道內(nèi),，當(dāng)有可燃、助燃和窒息性氣體時(shí),，應(yīng)有良好的通風(fēng)設(shè)施,。氣體管道的干管在廠房的進(jìn)口處，宜設(shè)置入口總閥,、壓力表,、真空表、超壓切斷,、放散管,、計(jì)量裝置、減壓裝置及過(guò)濾器等,。在室內(nèi)氣體干管的末端應(yīng)當(dāng)連接管徑不小于DN20的管道,，并延伸到走廊端頭或者其他適當(dāng)?shù)牡胤揭陆倒埽谙陆倒苌涎b設(shè)吹除閥,，同時(shí)設(shè)置緩沖箱,。吹除時(shí)裝設(shè)臨時(shí)軟管接至排風(fēng)管或其他安全地方排出。摻雜氣體的主管,、支管及分支管宜明裝敷設(shè),。主,、支管管末端可不設(shè)吹除閥。
2,、高（超）純氣體管線長(zhǎng)度應(yīng)盡量短,，根據(jù)氣體耗量確定管徑，不宜設(shè)預(yù)留口,，不應(yīng)出現(xiàn)“盲管”等不易吹除的部位,；在氣體終端純化裝置的進(jìn)、出口處,，關(guān)鍵工藝設(shè)備的入口處以及必須進(jìn)行取樣的管段上應(yīng)設(shè)置取樣口,。
3、氣體管道穿過(guò)潔凈室的墻壁,、樓板時(shí),，在墻壁（或樓板）的孔洞內(nèi)管道不應(yīng)有焊縫，在孔洞的兩側(cè)應(yīng)用不銹鋼板封蓋,，不銹鋼板與墻壁（或樓板）之間應(yīng)加設(shè)橡膠墊,，不銹鋼板用螺釘固定在墻壁（或樓板）之間，均應(yīng)涂以硅膠密封劑進(jìn)行密封,。
4,、可燃性氣體和氧氣管道的末端或高點(diǎn)應(yīng)裝設(shè)放散管，放散管應(yīng)高出屋脊2米,。在可燃?xì)怏w支管上應(yīng)設(shè)崗位水封,，在放散管上應(yīng)設(shè)置全天候阻火器。
5,、在潔凈室內(nèi),，當(dāng)使用可燃性氣體或有毒性氣體的設(shè)備較多時(shí)，應(yīng)設(shè)置氣體濃度檢測(cè)報(bào)警裝置,。
6,、氫、氧氣或易燃易爆管道應(yīng)有可靠的防靜電接地措施,。
二,、氣體動(dòng)力管道主材和閥門的選用
管道材料應(yīng)根據(jù)氣體純度的不同要求進(jìn)行選擇，高（超）純氣體管道材料應(yīng)具有化學(xué)穩(wěn)定性好,，吸附性差,，滲透性小等特性。
1,、常用高純氣體管道應(yīng)根據(jù)所輸送的不同的氣體和用途選用不同品種的奧氏體不銹鋼管,，盡量不用銅材質(zhì)造的管道，按純度要求≥99.9999應(yīng)采用不銹鋼管,。≥99.99宜采用不銹鋼管,。＜99.99可用無(wú)縫鋼管,。氣體終端純化裝置入口側(cè)的高純氣體管道一般選用0Cr18Ni9，0Cr19Ni10有縫或無(wú)縫不銹鋼管,，但對(duì)于不經(jīng)過(guò)氣體終端純化處理而直接通往用氣點(diǎn)的高純氣體管道宜采用無(wú)縫不銹鋼管,。氣體終端純化裝置出口側(cè)的超純氣體管道及摻雜氣體的管道一般選用0Cr17Ni11M02，1Cr18Ni11Nb無(wú)縫不銹鋼管道,。接至工藝設(shè)備的管道應(yīng)選用不銹鋼管或不銹鋼波紋管道,。不能使用聚四氟乙烯管或其他軟管。
2,、輸送無(wú)毒無(wú)味氣體管如凈化干燥的壓縮空氣管,、真空管等一般選用熱軋鍍鋅鋼管。
3,、高（超）純氣體管道選用閥門應(yīng)選用密封性良好的針型閥,、球閥、隔膜閥,、真空閥及角閥等,；并注意介質(zhì)的壓力要求，對(duì)易燃易爆氣體使用閥門時(shí)壓力應(yīng)提高1-2個(gè)等級(jí),。在潔凈室內(nèi)禁用銅和銅合金的閥門,。取樣閥應(yīng)選用不銹鋼波紋管密封閥。選用閥門材料閥體,、閥桿為0Cr18Ni9,；波紋管為1Cr18Ni11Nb；閥座,、填料為聚四氟乙烯,；密封墊可用不銹鋼有色金屬或聚四氟乙烯。
4,、視工藝生產(chǎn)、潔凈室或局部潔凈設(shè)備的潔凈度等級(jí)要求合理選用氣體管道的高效過(guò)濾器,。
三,、管道的連接
1、管道的連接應(yīng)采用特制的成型管接頭,，三通彎頭等進(jìn)行套管焊接,，對(duì)于不銹鋼管必須采用氬弧焊打底，施焊時(shí)在管內(nèi)通入氬氣（以高純度氬為好）,，其管道附件的制作材料應(yīng)與其配管材料相同,。
2、管道與設(shè)備,、閥門的連接應(yīng)視具體情況采用法蘭,、螺紋,、卡套或其他密封性能優(yōu)良的連接方法，螺紋連接宜采用錐螺紋連接為好,，這種連接方式,，不需要密封墊，但必須在螺紋部分涂上密封劑后方能擰上,，不能使用密封帶,。采用平螺紋連接時(shí)，必須加密封墊,，其密封性亞于錐螺紋連接方式,。
3、高（超）純氣體管與閥門,，附件連接用的密封墊材料應(yīng)采用不銹鋼,，有色金屬（如鎳等）、聚四氟乙烯和氟橡膠等,。
4,、管子的切割不得使用氧炔焰，可采用手工活機(jī)械切割,，切口應(yīng)與管軸線垂直,。管切口表面平整不得有裂紋。不銹鋼管道粘有大量油脂類灰塵,，應(yīng)放入清洗槽清洗,，油管道須按設(shè)計(jì)要求進(jìn)行脫脂處理。脫脂方法：脫脂溶劑采用四氯化碳,、二氯乙烷或蒸餾乙醇,。管道外表面脫：用浸有溶液的抹布擦抹，然后自然風(fēng)干,。管道內(nèi)表面脫脂：將溶液灌入管段內(nèi),，灌入量占管段體積70%，將管段兩端堵嚴(yán),，水平放置10-15分鐘,，每5分鐘滾動(dòng)一次，滾動(dòng)3-4次,，倒出溶液,，用氮?dú)獯蹈桑抵翢o(wú)溶液氣味為止,。繼續(xù)自然放置24小時(shí)然后用木塞將管道兩段堵嚴(yán)備用,。
四、系統(tǒng)實(shí)驗(yàn)
1,、系統(tǒng)安裝完畢后應(yīng)作氣壓強(qiáng)度試驗(yàn),，不得作水壓試驗(yàn),，氣壓強(qiáng)度試驗(yàn)采用含塵粒徑不大于0.5um的氮?dú)獾榷栊詺怏w，以1.5倍的工作壓力進(jìn)行試驗(yàn),，保壓10分鐘,，用外涂肥皂水或檢漏液檢查，以不漏為合格,。
2,、氣壓強(qiáng)度試驗(yàn)合格后作氣密性試驗(yàn)，用以氣壓強(qiáng)度試驗(yàn)相同的氣體以1.05-1.10倍工作壓力進(jìn)行,，保壓30分鐘,，用外涂肥皂水或檢漏液檢查，以不漏為合格,。
3,、氣密性試驗(yàn)合格后再進(jìn)行管道泄漏量試驗(yàn)，試驗(yàn)壓力為工作壓力,，保壓24小時(shí),，以小時(shí)平均泄漏率小于5‰為合格。
4,、吹掃和檢驗(yàn)
（1）系統(tǒng)投入使用前,，用干燥凈化的壓縮空氣*吹掃，吹掃時(shí)間一般為24小時(shí),。
（2）吹掃后,，用干燥凈化的壓縮空氣進(jìn)行露點(diǎn)和潔凈度檢查。
a.露點(diǎn)檢查：用兩臺(tái)微量水份分析儀,，分別設(shè)在管道系統(tǒng)始,、末端，分析氣體中的水含量,，管路末端的水含量不超過(guò)管路始端的水含量10%為合格,。
b.潔凈度檢查：用兩臺(tái)粒子計(jì)數(shù)器分別設(shè)在管路系統(tǒng)的始、末端,，分析氣體中的粒子數(shù),，管道末端大于3.5um的粒子數(shù)比管道始端的粒子數(shù)增量每升不多于3.5粒為合格。
五,、驗(yàn)收
工程驗(yàn)收按現(xiàn)行國(guó)標(biāo)《工業(yè)管道工程施工及驗(yàn)收規(guī)范》的相關(guān)條款進(jìn)行,。