1,、機(jī)械振動(dòng)的檢測(cè)
（1）機(jī)械振動(dòng)的來源,。機(jī)械振動(dòng)的來源主要有以下幾個(gè)方面：大地固有的振動(dòng)；潔凈室運(yùn)行用設(shè)備的振動(dòng),；生產(chǎn)用設(shè)備的振動(dòng),；交通工具的振動(dòng)；建筑設(shè)備的振動(dòng),；水流引起的振動(dòng),；氣流引起的振動(dòng)等。
（2）振動(dòng)的危害,。其影響精密儀器的準(zhǔn)確度和精密加工的精確度,。
（3）振動(dòng)的測(cè)量。振動(dòng)主要有兩個(gè)技術(shù)參數(shù)：振動(dòng)頻率和振幅,。采用減振措施以后,，振動(dòng)量可以減小。用振動(dòng)儀可以直接測(cè)量振動(dòng)的強(qiáng)度,。
2,、靜電的檢測(cè)
（1）靜電檢測(cè)的需求。靜電有可能損壞電子設(shè)備,、儀器儀表,、甚至傷害人體，引發(fā)爆炸或燃燒,。靜電對(duì)于集成電路的影響較大,，所以電子行業(yè)對(duì)于靜電檢測(cè)的要求較高?！稘崈魪S房設(shè)計(jì)規(guī)范》和《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》兩個(gè)強(qiáng)制性的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)都是中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院負(fù)責(zé)起草的,，基本上代表了電子行業(yè)的觀點(diǎn)。標(biāo)準(zhǔn)中對(duì)于靜電有比較具體的要求,。GB 50472-2008將靜電分為三個(gè)等級(jí),，相應(yīng)的靜電點(diǎn)位值為：一級(jí)≤100V；二級(jí)≤200V,；三級(jí)≤1000V,。
（2）靜電的主要檢測(cè)參數(shù)：包括電壓、電阻,、電場(chǎng),、離子等。
（3）檢測(cè)方法,。靜電檢測(cè)可參照GB 50591-2010和電子行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)《電子產(chǎn)品和制造防靜電系統(tǒng)測(cè)試方法》（SJ/T10694）進(jìn)行,。
3,、電磁場(chǎng)的檢測(cè)
（1）電磁場(chǎng)的來源。有交變電流就會(huì)有電磁場(chǎng),。高頻電流會(huì)產(chǎn)生電磁波,。
（2）電磁場(chǎng)的危害。一般的電磁場(chǎng)會(huì)影響儀器儀表和自動(dòng)控制系統(tǒng),。強(qiáng)電磁場(chǎng)對(duì)人體有害,。
（3）電磁場(chǎng)的測(cè)量。電磁場(chǎng)主要有兩個(gè)技術(shù)指標(biāo),，即頻率和強(qiáng)度,，可以用場(chǎng)強(qiáng)儀進(jìn)行檢測(cè)。
4,、射線的檢測(cè)
（1）常見的射線,。常見的射線有電磁波、紫外線,、X射線,、γ射線、α射線,、β射線等,。
（2）射線的來源。交換變化的電磁場(chǎng)會(huì)產(chǎn)生電磁波,，高頻的電磁波呈現(xiàn)射線特性,，可以稱為電磁射線。紫外線多來源于紫外光源和太陽光,。X射線多來源于被高能電子激發(fā)的物質(zhì)。α射線,、β射線多來源于具有放射性的重元素,。
（3）檢測(cè)方法。射線一般可以用相應(yīng)的射線計(jì)數(shù)器檢測(cè),，射線計(jì)數(shù)器一般都是直讀儀器,，使用比較方便。需要注意射線對(duì)人體危害較大,，檢測(cè)人員需要注意自我保護(hù),。
5、有害氣體的檢測(cè)
（1）有害氣體的來源,。潔凈室有害氣體的來源主要有：通風(fēng)帶進(jìn)的有害氣體,；室內(nèi)裝飾材料散發(fā)的有害氣體；室內(nèi)設(shè)備散發(fā)的有害氣體,；工作過程產(chǎn)生的有害氣體,；人員散發(fā)的有害氣體,。
（2）有害氣體的種類。不同的來源有不同的有害氣體,，不同的對(duì)象有不同的有害氣體,。有的氣體對(duì)人體有害，有的氣體對(duì)儀器設(shè)備有害,，有的氣體對(duì)產(chǎn)品有害,。
（3）有害氣體的檢測(cè)方法。
1）用直讀儀器直接讀出有害氣體的濃度,。直讀儀器主要由兩部分組成：化學(xué)傳感器和電子放大顯示系統(tǒng),。此方法的特點(diǎn)是快遞、方便,，缺點(diǎn)是往往精確度較低,、儀器的使用壽命較短。
2）采樣后帶回實(shí)驗(yàn)室,，使用光譜儀,、色譜儀等分析確定有害氣體的濃度。此方法的特點(diǎn)是精確度較高,、可靠性較強(qiáng),，缺點(diǎn)是測(cè)定程序較復(fù)雜、需要的時(shí)間較長(zhǎng),。