1,、人工擦拭法：即人用潔凈室擦布和純水對(duì)潔凈室的地,、墻、頂以及家具和設(shè)備表面進(jìn)行擦拭,。這種清掃方法較為*,。
2、分散式真空吸塵法：一般此方法只適用于低級(jí)別（1000級(jí),、10000級(jí),、100,000級(jí)）亂流潔凈室。方法簡(jiǎn)單,、靈活,、方便，每天下班后均可采用此方法清掃,。但由于移動(dòng)式真空吸塵器內(nèi)的圓筒形過(guò)濾器的效率比較低（≥99.5%,，≥0.5µm），因此不適用在別的潔凈室,。一般情況500 m²潔凈室可設(shè)兩臺(tái)吸塵器,，每增加500 m²增加一臺(tái)，zui多不超過(guò)10臺(tái),。
3,、集中式真空吸塵法：集中式真空吸塵是一個(gè)由吸塵口、管網(wǎng),、集中吸塵泵,、除塵器組成的系統(tǒng)。吸塵泵和除塵器設(shè)在專門的機(jī)房?jī)?nèi),，因噪聲極大,，機(jī)房不但要遠(yuǎn)離廠房和辦公區(qū)，而且還要適當(dāng)?shù)刈鞲袈曄曁幚怼Ｎ鼔m泵應(yīng)有備用不應(yīng)少于2臺(tái),。系統(tǒng)的管道宜用無(wú)縫鋼管焊接聯(lián)接暗裝敷設(shè),。其彎頭曲率半徑為4 ~ 6d煨彎不得折皺，三通夾角要小于45º,，不應(yīng)有四通（可由2個(gè)三通組合）,，水平管道的坡度為3‰，坡向立管和吸塵點(diǎn),，拐彎處宜設(shè)清掃口,。系統(tǒng)末端為吸塵口，平時(shí)有蓋密封,，使用時(shí)開(kāi)蓋插入吸塵軟管進(jìn)行吸塵,。一般吸塵軟管作用半徑為8米，每個(gè)系統(tǒng)同時(shí)工作的吸塵口為4~5個(gè),，每個(gè)吸塵口的風(fēng)量為150m³/時(shí),。
集中式真空吸塵不會(huì)影響室內(nèi)的潔凈度，因此,，集中式真空吸塵方法多用在級(jí)別較高（100級(jí),、10級(jí)、1級(jí)）,，面積較大的潔凈室中,。
潔凈室的清掃制度在一般情況下，每班（每天）小清掃一次,；每周中清掃一次,，每月大清掃一次。并且要設(shè)專人負(fù)責(zé)管理,、監(jiān)督和檢查,。還要有一定的培訓(xùn)制度。