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MOS-500維修案例——slit卡住
問題表現(xiàn):
儀器初始化自檢的過程中報錯,,提示“Impossible to initialize slit”,或初始化一直無法完成,,如圖1,。打開儀器主機外殼后可以觀察到,Slit部件在初始化自檢過程中運動受阻,,發(fā)生卡滯,,如圖2。圖 1 初始化一直無法完成
圖 2 Slit的位置
原因分析:
Slit為運動部件,機械部分隨著使用時間延長,,潤滑油消耗,,摩擦力過大造成卡滯,。
處理方法:
在slit部件的兩個萬向節(jié)以及所有與轉(zhuǎn)動軸有接觸的部分加潤滑油,,而后手動旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)動軸使slit部件充分潤滑。潤滑油可以用移液槍(或滴管)吸取,,點在對應(yīng)位置少量,。如圖3、圖4,。
圖3 Slit 卡滯處理方法(1)
圖4 Slit 卡滯處理方法(2)
注:
1. Slit卡滯的問題通常都可以通過添加潤滑油解決,,用戶可以在Slit卡滯現(xiàn)象消除后設(shè)置1nm、5nm等不同的slit大小,,使Slit部件運轉(zhuǎn)順滑,。
2.涂潤滑油時避免污染透鏡鏡片。
3. 用戶可以選擇固定半年/一年時間添加一次潤滑油,。