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位移傳感器又稱為線性傳感器,,它分為電感式位移傳感器,,電容式位移傳感器,光電式位移傳感器,,超聲波式位移傳感器,,霍爾式位移傳感器。
電感式位移傳感器是一種屬于金屬感應(yīng)的線性器件,,接通電源后,在開關(guān)的感應(yīng)面將產(chǎn)生一個(gè)交變磁場(chǎng),,當(dāng)金屬物體接近此感應(yīng)面時(shí),,金屬中則產(chǎn)生渦流而吸取了振蕩器的能量,使振蕩器輸出幅度線性衰減,,然后根據(jù)衰減量的變化來完成無接觸檢測(cè)物體的目的,。
電感式位移傳感器具有無滑動(dòng)觸點(diǎn),工作時(shí)不受灰塵等非金屬因素的影響,,并且低功耗,,長(zhǎng)壽命,可使用在各種惡劣條件下,。位移傳感器主要應(yīng)用在自動(dòng)化裝備生產(chǎn)線對(duì)模擬量的智能控制,。
位移是和物體的位置在運(yùn)動(dòng)過程中的移動(dòng)有關(guān)的量,位移的測(cè)量方式所涉及的范圍是相當(dāng)廣泛的,。小位移通常用應(yīng)變式,、電感式、差動(dòng)變壓器式,、渦流式,、霍爾傳感器來檢測(cè),大的位移常用感應(yīng)同步器,、光柵,、容柵、磁柵等傳感技術(shù)來測(cè)量,。其中光柵傳感器因具有易實(shí)現(xiàn)數(shù)字化,、精度高(目前分辨率比較高的可達(dá)到納米級(jí)),、抗干擾能力強(qiáng)、沒有人為讀數(shù)誤差,、安裝方便,、使用可靠等優(yōu)點(diǎn),在機(jī)床加工,、檢測(cè)儀表等行業(yè)中得到日益廣泛的應(yīng)用,。
原理:
計(jì)量光柵是利用光柵的莫爾條紋現(xiàn)象來測(cè)量位移的?!澳獱?原出于法文Moire,,意思是水波紋。幾百年前法國絲綢工人發(fā)現(xiàn),,當(dāng)兩層薄絲綢疊在一起時(shí),,將產(chǎn)生水波紋狀花樣;如果薄綢子相對(duì)運(yùn)動(dòng),,則花樣也跟著移動(dòng),,這種奇怪的花紋就是莫爾條紋。一般來說,,只要是有一定周期的曲線簇重疊起來,,便會(huì)產(chǎn)生莫爾條紋。計(jì)量光柵在實(shí)際應(yīng)用上有透射光柵和反射光柵兩種,;按其作用原理又可分為輻射光柵和相位光柵,;按其用途可分為直線光柵和圓光柵。下面以透射光柵為例加以討論,?!⊥干涔鈻懦呱暇鶆虻乜逃衅叫械目叹€即柵線,a為刻線寬,,b為兩刻線之間縫寬,,W=a+b稱為光柵柵距。目前國內(nèi)常用的光柵每毫米刻成10,、25,、50、100,、250條等線條,。光柵的橫向莫爾條紋測(cè)位移,需要兩塊光柵,。一塊光柵稱為主光柵,,它的大小與測(cè)量范圍相一致;另一塊是很小的一塊,,稱為指示光柵,。為了測(cè)量位移,,必須在主光柵側(cè)加光源,在指示光柵側(cè)加光電接收元件,。當(dāng)主光柵和指示光柵相對(duì)移動(dòng)時(shí),,由于光柵的遮光作用而使莫爾條紋移動(dòng),固定在指示光柵側(cè)的光電元件,,將光強(qiáng)變化轉(zhuǎn)換成電信號(hào),。由于光源的大小有限及光柵的衍射作用,使得信號(hào)為脈動(dòng)信號(hào),。