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位移傳感器又稱為線性傳感器,,它分為電感式位移傳感器,電容式位移傳感器,,光電式位移傳感器,,超聲波式位移傳感器,,霍爾式位移傳感器。
電感式位移傳感器是一種屬于金屬感應的線性器件,,接通電源后,,在開關的感應面將產生一個交變磁場,當金屬物體接近此感應面時,,金屬中則產生渦流而吸取了振蕩器的能量,,使振蕩器輸出幅度線性衰減,然后根據衰減量的變化來完成無接觸檢測物體的目的,。
電感式位移傳感器具有無滑動觸點,,工作時不受灰塵等非金屬因素的影響,并且低功耗,,長壽命,可使用在各種惡劣條件下,。位移傳感器主要應用在自動化裝備生產線對模擬量的智能控制,。
位移是和物體的位置在運動過程中的移動有關的量,位移的測量方式所涉及的范圍是相當廣泛的,。小位移通常用應變式,、電感式、差動變壓器式,、渦流式,、霍爾傳感器來檢測,大的位移常用感應同步器,、光柵,、容柵、磁柵等傳感技術來測量,。其中光柵傳感器因具有易實現數字化,、精度高(目前分辨率比較高的可達到納米級)、抗干擾能力強,、沒有人為讀數誤差,、安裝方便、使用可靠等優(yōu)點,,在機床加工,、檢測儀表等行業(yè)中得到日益廣泛的應用。
原理:
計量光柵是利用光柵的莫爾條紋現象來測量位移的,?!澳獱?原出于法文Moire,意思是水波紋,。幾百年前法國絲綢工人發(fā)現,,當兩層薄絲綢疊在一起時,,將產生水波紋狀花樣;如果薄綢子相對運動,,則花樣也跟著移動,,這種奇怪的花紋就是莫爾條紋。一般來說,,只要是有一定周期的曲線簇重疊起來,,便會產生莫爾條紋。計量光柵在實際應用上有透射光柵和反射光柵兩種,;按其作用原理又可分為輻射光柵和相位光柵,;按其用途可分為直線光柵和圓光柵。下面以透射光柵為例加以討論,?!⊥干涔鈻懦呱暇鶆虻乜逃衅叫械目叹€即柵線,a為刻線寬,,b為兩刻線之間縫寬,,W=a+b稱為光柵柵距。目前國內常用的光柵每毫米刻成10,、25,、50、100,、250條等線條,。光柵的橫向莫爾條紋測位移,需要兩塊光柵,。一塊光柵稱為主光柵,,它的大小與測量范圍相一致;另一塊是很小的一塊,,稱為指示光柵,。為了測量位移,必須在主光柵側加光源,,在指示光柵側加光電接收元件,。當主光柵和指示光柵相對移動時,由于光柵的遮光作用而使莫爾條紋移動,,固定在指示光柵側的光電元件,,將光強變化轉換成電信號。由于光源的大小有限及光柵的衍射作用,,使得信號為脈動信號,。