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Proportion-Air QB3電氣比例閥——激光充電室流量控制

下圖顯示了一個激光充電室流量控制應(yīng)用程序，該應(yīng)用程序需要可以動態(tài)調(diào)整的3種氣體混合物,。

使用了三個F系列閉環(huán)流量控制器- 每個氣體控制一個,。可以通過調(diào)節(jié)相應(yīng)流量控制器的指令信號來改變混合物,。由于這是一個閉環(huán)控制方案,，來自流量監(jiān)視器的信號可用于數(shù)據(jù)采集,。該信號在FQPV2主電氣連接器的引腳5上可用。

在此應(yīng)用中還使用QB3來控制裝料室中的真空,。真空度是一個關(guān)鍵部件,，需要可重復(fù)控制以幫助保持充電室中每種氣體的適當(dāng)水平。