藍寶石壓力傳感器原理與應用
藍寶石壓力傳感器原理與應用
壓力傳感器原理與應用 利用應變電阻式工作原理,,采用硅-藍寶石作為半導體敏感元件,,具有的計量特性。
藍寶石系由單晶體絕緣體元素組成,,不會發(fā)生滯后,、疲勞和蠕變現(xiàn)象;藍寶石比硅要堅固,硬度更高,,不怕形變,;藍寶石有著非常好的彈性和絕緣特性(1000 OC以內),,因此,,利用硅-藍寶石制造的半導體敏感元件,對溫度變化不敏感,,即使在高溫條件下,,也有著很好的工作特性;藍寶石的抗輻射特性*,;另外,,硅-藍寶石半導體敏感元件,無p-n漂移,,因此,,從根本上簡化了制造工藝,提高了重復性,,確保了高成品率,。
用硅-藍寶石半導體敏感元件制造的壓力傳感器和變送器,可在zui惡劣的工作條件下正常工作,,并且可靠性高,、精度好、溫度誤差極小,、性價比高,。
表壓壓力傳感器和變送器由雙膜片構成:鈦合金測量膜片和鈦合金接收膜片,。印刷有異質外延性應變靈敏電橋電路的藍寶石薄片,,被焊接在鈦合金測量膜片上,。被測壓力傳送到接收膜片上(接收膜片與測量膜片之間用拉桿堅固的連接在一起),。在壓力的作用下,,鈦合金接收膜片產生形變,該形變被硅-藍寶石敏感元件感知后,,其電橋輸出會發(fā)生變化,,變化的幅度與被測壓力成正比。
傳感器的電路能夠保證應變電橋電路的供電,,并將應變電橋的失衡信號轉換為統(tǒng)一的電信號輸出(0-5,,4-20mA或0-5V),。在絕壓壓力傳感器和變送器中,藍寶石薄片,,與陶瓷基極玻璃焊料連接在一起,,起到了彈性元件的作用,,將被測壓力轉換為應變片形變,,從而達到壓力測量的目的,。
展臺:www.tkybc.cn