MEMS加速度振動(dòng)傳感器原理MEMS是micro electro mechanical system微電子機(jī)械系統(tǒng)的縮寫,，這種微電子制造技術(shù)適用于任何傳感器的制造。這些技術(shù),，通常在硅晶體上蝕刻,，創(chuàng)造微觀尺寸的機(jī)械傳感結(jié)構(gòu)。當(dāng)與微電路耦合時(shí),，MEMS傳感器可以用于測量例如加速度之類的物理參數(shù),。不同于ICP®傳感器，MEMS傳感器測量頻率低至0Hz(靜態(tài)或者DC加速度),。PCB®制造兩種類型的MEMS加速度計(jì),，可變電容式和壓阻式?？勺冸娙?VC)MEMS加速度計(jì)主要是低幅值,，高靈敏度設(shè)備,，用于結(jié)構(gòu)監(jiān)測和恒定加速度的測量。壓阻(PR)MEMS加速度計(jì)主要是高量程,，低靈敏度設(shè)備,，用于沖擊和爆炸應(yīng)用。 工業(yè)加速度傳感器可以使用耐腐蝕和耐化學(xué)腐蝕的不銹鋼進(jìn)行構(gòu)造,。在有害化學(xué)物質(zhì)的環(huán)境中,，傳感器考慮使用聚四氟乙烯耐腐蝕的連接電纜。強(qiáng)烈建議檢查任何可疑化學(xué)物質(zhì)的化學(xué)兼容性圖表,。對于能接觸到切屑的環(huán)境,，一體鎧裝電纜能提供良好的保護(hù)。