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小金井電動(dòng)波紋管泵（泵控制器）

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

小金井電動(dòng)波紋管泵（泵控制器）
對(duì)應(yīng)微細(xì)化半導(dǎo)體晶片的下一代電動(dòng)泵,。世界（注）CT泵的構(gòu)造開(kāi)發(fā),、低發(fā)塵、除泡性好,、以簡(jiǎn)單的構(gòu)造實(shí)現(xiàn)了高精度。

詳細(xì)介紹

小金井電動(dòng)波紋管泵/日本KOGANEI空壓波紋管泵/泵（泵控制器）

 

泵 （電動(dòng)波紋管泵）

電動(dòng)波紋管泵F-EPB系列F-EPB08型
●易于控制的步進(jìn)型馬達(dá)式波紋管泵,。
●使用流體：光刻膠,、純水、藥液（可燃性物質(zhì)不可）※選定,，導(dǎo)入時(shí),，請(qǐng)事前聯(lián)絡(luò),、咨詢(xún)本公司
電動(dòng)波紋管泵F-EPB系列F-EPB08型
zui大吐出壓力吐出量 ml吐出.
輸入流量 ml/s
0.2MPa80.1～4
電動(dòng)波紋管泵F-EPB系列F-EPB15型
●易于控制的步進(jìn)型馬達(dá)式波紋管泵。
●使用流體：光刻膠,、純水,、藥液（可燃性物質(zhì)不可）※選定，導(dǎo)入時(shí),，請(qǐng)事前聯(lián)絡(luò),、咨詢(xún)本公司
電動(dòng)波紋管泵F-EPB系列F-EPB15型
zui大吐出壓力吐出量 ml吐出.
輸入流量 ml/s
0.2MPa150.1～4
電動(dòng)波紋管泵F-EPB系列F-EPB40型
●易于控制的步進(jìn)型馬達(dá)式波紋管泵。
●使用流體：光刻膠,、純水,、藥液（可燃性物質(zhì)不可）※選定，導(dǎo)入時(shí),，請(qǐng)事前聯(lián)絡(luò),、咨詢(xún)本公司
電動(dòng)波紋管泵F-EPB系列F-EPB40型
zui大吐出壓力吐出量 ml吐出.
輸入流量 ml/s
0.2MPa400.1～10

泵 （空壓波紋管泵）

空氣壓波紋管泵F-APB系列F-APB08型
●氣缸驅(qū)動(dòng)的低成本、低價(jià)格的波紋管泵,。
●使用流體：光刻膠,、純水、藥液（可燃性物質(zhì)不可）※選定,，導(dǎo)入時(shí),，請(qǐng)事前聯(lián)絡(luò)、咨詢(xún)本公司
空氣壓波紋管泵F-APB系列F-APB08型
zui大吐出壓力吐出量 ml供給空氣
壓力范圍
0.05MPa80.15～0.4MPa
空氣壓波紋管泵F-APB系列F-APB15型
●氣缸驅(qū)動(dòng)的低成本,、低價(jià)格的波紋管泵,。
●使用流體：光刻膠、純水,、藥液（可燃性物質(zhì)不可）※選定,，導(dǎo)入時(shí)，請(qǐng)事前聯(lián)絡(luò),、咨詢(xún)本公司
空氣壓波紋管泵F-APB系列F-APB15型
zui大吐出壓力吐出量 ml供給空氣
壓力范圍
0.05MPa150.15～0.4MPa
空氣壓波紋管泵F-APB系列F-APB40型
●氣缸驅(qū)動(dòng)的低成本,、低價(jià)格的波紋管泵。
●使用流體：光刻膠,、純水,、藥液（可燃性物質(zhì)不可）※選定，導(dǎo)入時(shí),，請(qǐng)事前聯(lián)絡(luò),、咨詢(xún)本公司
空氣壓波紋管泵F-APB系列F-APB40型
zui大吐出壓力吐出量 ml供給空氣
壓力范圍
0.05MPa400.15～0.4MPa
空氣壓波紋管泵F-APB系列F-APB60型
●氣缸驅(qū)動(dòng)的低成本、低價(jià)格的波紋管泵,。
●使用流體：光刻膠,、純水、藥液（可燃性物質(zhì)不可）※選定，導(dǎo)入時(shí),，請(qǐng)事前聯(lián)絡(luò),、咨詢(xún)本公司
空氣壓波紋管泵F-APB系列F-APB60型
zui大吐出壓力吐出量 ml供給空氣
壓力范圍
0.05MPa600.2～0.4MPa

泵 （泵控制器）

電動(dòng)CT,波紋管泵通用控制器F-PCU02型
 
電動(dòng)CT,波紋管泵通用控制器F-PCU02型
電源電壓推奨電磁閥適用范圍
DC24V.2A電磁閥JA.F10
系列		F-EPT.F-EPB
系列

 

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