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新產(chǎn)品特輯-平行密封型門閥XGTP系列
閱讀：1347 發(fā)布時(shí)間：2018-4-11SMC推出了一款平行密封型門閥XGTP系列。產(chǎn)品采用平行密封結(jié)構(gòu),，可對應(yīng)300mm晶圓,。適用于半導(dǎo)體裝置的真空工藝腔室與傳輸腔室之間的密封。
???◇ 長壽命：300萬次（常溫時(shí)）
???◇ 低發(fā)塵：發(fā)塵量減少到1/5以下（與舊型號相比）
???◇ 省氣：耗氣量減少22%
???◇ 輕量：14kg（盒式）
???◇ 工作窗尺寸：50mm X 336mm
▼門上升,、下降的直線動(dòng)作和門開閉的夾緊采用平行密封（L motion）構(gòu)造,，降低了摩擦系數(shù)，可大幅減少發(fā)塵量并延長使用壽命,。
▼半導(dǎo)體加工過程中,，針對各工藝腔室之間的隔離。
上海維特銳實(shí)業(yè)發(fā)展有限公司主營進(jìn)口品牌氣動(dòng)液壓儀器儀表類產(chǎn)品,，如需詳細(xì)了解請點(diǎn)擊：SMC系列產(chǎn)品