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粒子計數(shù)器的組成部分
粒子計數(shù)器的組成部分
1:光源
光源是塵埃粒子數(shù)器的關(guān)鍵部件,,對儀器的性能影響很大。光源要求穩(wěn)定性高,、壽命長、不受干擾,。
光源有普通光源和激光光源兩種,。普通光源為碘鎢燈,體積大,、發(fā)熱量高、壽命短,,開機后需要預熱。激光光源為激光器,,體積小、穩(wěn)定性高,、壽命長,常與檢測腔及光檢測器做成一體,,組成傳感器,。常見的激光光源有HeNe激光器、激光二管,。
采用普通光源的塵埃粒子計數(shù)器對0.3μm以下的微粒信號響應很低,其信號幅度與計數(shù)器本身的噪聲幅度相差無幾,,信號很難從噪聲中檢測出來。此類儀器雖然標有0.3μm這一通道,,但只適于測定大于0.3μm特別是0.5μm以上的微粒。
由于激光的單色性好,,光能量集中穩(wěn)定,所以采用激光光源的塵埃粒子計數(shù)器其傳感器有較高的信噪比,,此類儀器有些能檢測到0.1μm的微粒。
2 :測量腔
測量腔是進行微粒觀測的空間,,被采集的空氣要從測量腔內(nèi)穿過。儀器的光學系統(tǒng)使光源經(jīng)透鏡,、狹縫照射到測量腔中,,形成一個體積約幾個立方毫米的光敏感區(qū),。當空氣中的塵埃通過光敏感區(qū)時,會散射出一部分光能量,被與入射光成一角度(90度或70度)的集光透鏡收集,,再投射到光檢測器上。
3 :光檢測器
光檢測器是將散射光能量轉(zhuǎn)換為電信號的光電轉(zhuǎn)換器件,。塵埃粒子計數(shù)器中 常用的光檢測器是光電倍增管和光電二管,。
光電倍增管把光電子放大幾萬倍后轉(zhuǎn)換成幾個毫伏到幾十毫伏的電信號,具有光譜線性好,、響應時間快、暗電流小的優(yōu)點,,缺點是體積大,。光電倍增管工作時需加上幾百伏特的負高壓,,儀器中有相應的高壓產(chǎn)生電路,,在對儀器進行調(diào)試或校準時應注意安全。
光電二管是一種受到光照后能產(chǎn)生電子的半導體元件,,具有體積小,、外圍電路簡單的特點,,常與檢測腔做成一體。
4:流量監(jiān)控
塵埃粒子計數(shù)器的采樣流量一般為2.83L/min或28.3L/min,,進口儀器常標識為0.1cfm(立方英尺每分鐘)或1cfm,主要是為了便于進行符合Fed-Std-209E的潔凈度的計算,。
大流量的采樣(28.3L/min)更能準確地反映空氣的潔凈狀況,,但使 大采樣濃度降低。
5:氣泵及過濾器
氣泵位于儀器內(nèi)部,,使儀器產(chǎn)生采樣流量。氣泵要求噪音低,、振動小,、產(chǎn)生的氣流穩(wěn)定。過濾器應能過濾掉0.3μm以上的微粒,,以免從儀器排出的空氣對潔凈區(qū)產(chǎn)生影響。
6:電路系統(tǒng)
不同粒徑大小的粒子經(jīng)塵埃粒子計數(shù)器的光電系統(tǒng)轉(zhuǎn)換后,,會產(chǎn)生不同幅度(電壓)的電脈沖信號,,粒徑越大,脈沖電壓越高,。信號電壓與粒徑之間的關(guān)系,也叫轉(zhuǎn)換靈敏度,。對于給定的塵埃粒子計數(shù)器,粒徑大小與脈沖電壓是一一對應的,,例如某臺塵埃粒子計數(shù)器的轉(zhuǎn)換靈敏度為0.3μm對應69mv,0.5μm對應531mv,,1.0μm對應701mv等,若塵埃粒子計數(shù)器檢測到一個脈沖為100mv,,則這個粒子的大小肯定大于0.3μm而小于0.5μm,。
塵埃粒子計數(shù)器是測量大于等于某一粒徑的粒子數(shù)量的儀器,,其內(nèi)部電路就是統(tǒng)計大于等于某一電壓值的脈沖數(shù)量的電路,。對于上段中的例子,,測量空氣中大于等于0.3μm粒子的數(shù)量,,在電路中就是統(tǒng)計大于等于69mv的脈沖的個數(shù),,測量大于等于0.5μm粒子的數(shù)量,在電路中就是統(tǒng)計大于等于531mv的脈沖的個數(shù),,依此類推。所以儀器對塵埃粒子的測量,,主要靠轉(zhuǎn)換靈敏度這個參數(shù),。
另外需要說明的是,每臺塵埃粒子計數(shù)器的轉(zhuǎn)換靈敏度均不同,,在出廠時及以后須定期用標準粒子進行校準,以獲得 佳轉(zhuǎn)換靈敏度值,。
電路系統(tǒng)就是完成對脈沖信號的放大,、甄別,、計數(shù)的電路,。此外還包括電源、控制,、顯示,、計算、打印等電路,。
塵埃粒子計數(shù)器產(chǎn)品資料與報價: