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日本電測X線熒光膜厚儀是哪個型號
日本電測X線熒光膜厚儀是哪個型號
日本電測X線熒光膜厚儀是哪個型號,？日本電測X線熒光膜厚儀是EX-731這個型號,，該膜厚儀是一款專門用來測試各種元素厚度的一種儀器,。采用多能譜分析器,，使用256高頻分析器，光譜自動分析. 高可測量3層膜厚.
日本電測X線熒光膜厚儀EX-731客戶案例
南京尚愛機(jī)電有限公司
青島威奧涂裝有限公司
珠海市海菲自動門有限公司
深圳市矽電半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
珠海贛星自動化設(shè)備有限公司
日本電測X線熒光膜厚儀EX-731規(guī)格參數(shù)
測量臺操作方式 | 手動 | 自動 | ||
測量行程 | 單位(mm) | 170 × 110 | 300 × 280 | |
移動量 | X(mm) | 70 | 80 | |
Y(mm) | 70 | 60 | ||
Z(mm) | 80（測定物高 大150） | 50 | ||
測定物高（ 大） | 80（150可選） | 50 | ||
外形(mm) | 600(W)×465(D)×730(H) | |||
重量(kg) | 79 | 85 | ||
測量臺載重(kg) | 3 | 1 | ||
電源 | AC200V±10V | |||
X線源 | 油浸式小型微焦點Ｘ線管 | |||
照射方式 | 上面垂直照射方式 | |||
検出器 | 比例計數(shù)管 | |||
準(zhǔn)直孔 | 5種類(自動切換式) | |||
樣品觀察 | CCD鏡頭 | |||
測定対象 | 原子番號22(Ti)～82(Pb) | |||
濾波器 | (Co,、Ni)自動切換 | |||
厚度測定范圍 | 原子番號22～24：0.2～約20μm | |||
検量線 | 検量線自動作成 | |||
測量功能 | 単層膜厚測定 | |||
測量模式 | 自動測量 | |||
自動測量臺功能 | 測定位置(X-Y-Z) 測定位置確認(rèn)功能 | |||
數(shù)據(jù)処理機(jī)能 | 統(tǒng)計量表示：平均,、標(biāo)準(zhǔn)偏差、 大,、 小,、方差、Cp,、Cpk | |||
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