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潔凈室
1,、亂流式（Turbulent Flow）：
空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過濾器（HEPA）進(jìn)入潔凈室,，并由兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于等級1,000-100,000級。
優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡單,、系統(tǒng)建造成本,，之?dāng)U充比較容易,，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺(tái),，提高等級,。
缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品,。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再激活,，欲達(dá)需求之潔凈度，往往須耗時(shí)相當(dāng)長一段時(shí)間,。
2,、層流式（Laminar）：
層流式空氣氣流運(yùn)動(dòng)成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率之過濾器進(jìn)入室內(nèi),，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng),，此型式適用于等級需定較高之環(huán)境使用，一般其等級為Class 1~100,。其型式可分為二種：
?。?）水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng),，塵埃隨風(fēng)向排出室外,，一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重。
優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡單,，運(yùn)轉(zhuǎn)后短時(shí)間內(nèi)即可變成穩(wěn)定,。
缺點(diǎn)：建造費(fèi)用比亂流式高，室內(nèi)空間不易擴(kuò)充,。
?。?）垂直層流式：房間天花板*以ULPA過濾器覆蓋,，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度,，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛粫?huì)影響其它工作區(qū)域。
優(yōu)點(diǎn)：管理容易,，運(yùn)轉(zhuǎn)開始短時(shí)間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài),，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。
缺點(diǎn)：構(gòu)造費(fèi)用較高,，彈性運(yùn)用空間困難,，天花板之吊架相當(dāng)占空間，維修更換過濾器較麻煩,。
3,、復(fù)合式（Mixed Type）：
復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣,。
?。?）潔凈隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用,。
此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離,，以避免機(jī)器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì)，ULSI制程大都采用此種型式,。
潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)：A,、彈性擴(kuò)充容易；B,、維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行,。
（2）潔凈管道（Clean Tube）：將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動(dòng)生產(chǎn)線包圍并凈化處理,，將潔凈度等級提至100級以上,。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度,，可節(jié)省能源,，不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線為zui適宜使用。藥品,、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用,。
（3）并裝局部（Clean Spot）：將等級10,000~100,000之亂流內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上,，以為生產(chǎn)之用,；潔凈工作臺(tái)、潔凈工作棚,、潔凈風(fēng)柜即屬此類,。
潔凈工作臺(tái)：等級Class 1~100級,。
潔凈工作棚：為在亂流式之空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采用獨(dú)立之HEPA或ULPA及空調(diào)送風(fēng)機(jī)組而成為一較之潔凈空間,，其等級為10~1000級,，高度在2.5米左右，覆蓋面積約10m2以下,，四支支柱并加裝活動(dòng)輪,，可為彈性運(yùn)用。