當前金屬原料板材經(jīng)裁剪（或打磨）、化學(xué)清洗及干燥處理后,，存放于真空度較低（約100Pa）的真空儲存柜,，仍不可避免地帶來碳、氧,、氮等雜質(zhì)元素的吸附污染,。金屬材料全自動高真空貯存柜主要用于合金原材料的高真空貯存。
高真空儲存柜為非標工藝設(shè)備,，主要原理為真空干燥箱類似抽真空,，主要由進樣室、儲樣室,、傳送裝置,、計算機自動識別與控制等部分組成。
高真空儲存柜技術(shù)要求與指標
1,、進樣室
進樣室為單腔室,，主要材質(zhì)為不銹鋼（304或同等以上不銹鋼）,，腔室內(nèi)表面光潔度要求小于等于Ra0.8,，零件加工工藝、部件裝配工藝嚴格按照真空規(guī)范執(zhí)行,，保證進樣室具有高真空度,、高清潔度。具有自動放氣功能,，并帶有正壓保護閥,。
進樣室包括：快速進樣法蘭，視窗,，傳送裝置,，樣品托盤，分子泵,，干泵,，真空規(guī),，放氣裝置，照明裝置,。極限真空度：空載,、干燥、室溫下30分鐘內(nèi)達到10-4 Pa,，漏率小于1×10-11 Pa·m3/s,。
閥門至少包括4個，包括分子泵連接進樣室,、進樣室連接儲樣室（為氣動插板閥）,、放氣閥、漏閥,。泵包括1個分子泵和1個干泵,，泵組的抽速需要滿足同時給進樣室和儲樣室抽真空的要求。
2,、儲樣室
儲樣室為單腔室,，主要材質(zhì)為不銹鋼（304或同等以上不銹鋼），腔室內(nèi)表面光潔度要求小于等于Ra0.8,，零件加工工藝,、部件裝配工藝嚴格按照真空規(guī)范執(zhí)行，保證儲樣室具有高真空度,、高清潔度,。
儲樣室包括：連接進樣室法蘭，快開門法蘭和視窗,，存樣裝置,，離子泵，真空規(guī),，照明裝置,。極限真空度：空載、干燥,、室溫下≤5′10-6 Pa,；漏率：<1′10-11 Pa.m3/s；空載靜態(tài)保壓：關(guān)閉抽氣設(shè)備12小時后靜態(tài)真空≤5×10-2 Pa,；存,、取放樣品時，儲樣室不暴露大氣,；保留快開門方便儲樣室內(nèi)部維護和清理,；儲樣室可存放金屬原材料總重量不低于6 kg。
閥門至少包括1個，包括離子泵連接儲樣室,。泵包括1個離子泵,，離子泵的規(guī)格需要滿足儲樣室抽真空的要求，離子泵帶鈦升華泵,，自帶加熱功能及配套電源,。
3、 傳送裝置及計算機控制系統(tǒng)
單個樣品托盤可裝載金屬原材料重量約為300g,；
控制系統(tǒng)模塊化設(shè)計,，可實現(xiàn)PLC自動控制真空泵機組抽真空、機械傳送裝置在進樣室與儲樣室間進樣與取樣,、儲樣室樣品架升降旋轉(zhuǎn),、進樣室放氣等全自動過程，采用真空,、位置等參數(shù)反饋控制上述動作,，無需人為干涉；
可任意查詢某批樣品的位置和數(shù)量,；
可視化仿真軟件顯示與控制,，實時顯示進樣室和儲樣室真空度、溫度等信息,；
系統(tǒng)應(yīng)與甲方的上位控制系統(tǒng)進行通訊,，數(shù)據(jù)應(yīng)采集至上位控制系統(tǒng)中，通訊接口及協(xié)議應(yīng)滿足甲方的接口規(guī)范,。
金屬材料全自動高真空貯存柜的技術(shù)要求列于表1中,。
表1 詳細技術(shù)指標
序號 | 技術(shù)指標（主要服務(wù)要求） | 指標評價標準 | 備注 |
1 | 進樣室極限真空度：空載、干燥,、室溫下30分鐘內(nèi)達到10-4Pa | 需在響應(yīng)文件實施方案中體現(xiàn),。 | |
2 | 儲樣室極限真空度：空載、干燥,、室溫下≤5′10-6Pa,； 儲樣室檢漏漏率：<1′10-11Pa.m3/s； 儲樣室空載靜態(tài)保壓：關(guān)閉抽氣設(shè)備12小時后靜態(tài)真空≤5×10-2Pa | 需在響應(yīng)文件實施方案中體現(xiàn),。 | |
3 | 控制系統(tǒng)模塊化設(shè)計,，可實現(xiàn)PLC自動控制真空泵機組抽真空、機械傳送裝置在進樣室與儲樣室間進樣與取樣,、儲樣室樣品架升降旋轉(zhuǎn)、進樣室放氣等全自動過程,，采用真空,、位置等參數(shù)反饋控制上述動作，無需人為干涉； 可任意查詢某批樣品的位置和數(shù)量,； 可視化仿真軟件顯示與控制,，實時顯示進樣室和儲樣室真空度、溫度等信息 | 需在響應(yīng)文件實施方案中體現(xiàn),。 | |
4 | 儲樣室可存放金屬原材料總重量不低于6kg | 需在響應(yīng)文件實施方案中體現(xiàn),。 | |
5 | 單個樣品托盤可裝載金屬原材料重量約為300g | 需在響應(yīng)文件實施方案中體現(xiàn)。 | |
6 | 質(zhì)保期：2年 | 響應(yīng)即可 | |
7 | 機械傳送裝置,，要求機械傳送裝置（機械手）正常運行*的工作次數(shù)不低于2萬次,，運行定位精度優(yōu)于0.1mm。 | 響應(yīng)即可 | |
8 | 閥門,，要求閥門正常開關(guān)*的工作次數(shù)不低于3萬次,。 | 響應(yīng)即可 |
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