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等離子體表面處理儀的特點(diǎn)介紹
等離子體表面處理儀可用于消除固體表面的有機(jī)污染物，如：金屬,、陶瓷,、玻璃,、硅片等等,，同時也可以對樣品表面進(jìn)行處理，改善樣品表面的特性,，如親水/疏水特性,，表面自由能，以及表面的吸附/粘附特性等等,。
主要特點(diǎn)：
（1）采用電容耦合電極設(shè)計(jì)（USPatent.4,887,005/5,190,703/5,228963/5,468,560/5,733,511）,，低失真、高效率的特性,，保證了樣品室內(nèi)等離子體分布的均一性,；
（2）采用自動調(diào)頻高頻發(fā)生器，保證了等離子體發(fā)生的穩(wěn)定性和有效性,；
（3）采用高精度的流速控制和壓力控制部件,，保證了氣體的高重現(xiàn)性混合和分布；
（4）采用軟件控制,，確?？刂频姆奖阌行Ш蛯?shí)時監(jiān)控；
（5）一體化的高真空系統(tǒng),，確保了操作的方便性和穩(wěn)定性,；
（6）多種樣品室可供選擇，如耐熱玻璃和石英等,，更能滿足廣大客戶的需求多,；
（7）體積小，可遠(yuǎn)程操作,，多種安全保護(hù),，保證操作的安全和方便；
（8）樣品室和功率設(shè)計(jì)合理,，可滿足絕大部分科研需要,；
（9）全自動操作，方便可靠,。