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鋁蝕刻液成分分析—磷酸、硝酸,、醋酸有多少,？

時(shí)間：2022-1-11閱讀：1008
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蝕刻是將材料使用化學(xué)反應(yīng)或物理撞擊作用而移除的技術(shù)。最早可用來(lái)制造銅版,、鋅版等印刷凹凸版， 也廣泛地被使用于儀器鑲板,，銘牌等的加工,；經(jīng)過(guò)不斷改良和工藝設(shè)備發(fā)展，亦可以用于航空,、機(jī)械,、化 學(xué)工業(yè)中電子薄片零件精密蝕刻產(chǎn)品的加工，特別在半導(dǎo)體制程上,，蝕刻更是*的技術(shù),。 鋁是半導(dǎo)體工藝中最主要的導(dǎo)體材料。它具有低電阻,、易于淀積和刻蝕等優(yōu)點(diǎn),。鋁蝕刻液主要成分是 磷酸、硝酸,、醋酸及水,，其中磷酸、硝酸,、醋酸及水的組成比例會(huì)影響到蝕刻的速率,，故需要對(duì)這種混酸 溶液的成分進(jìn)行分析

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