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它具有以下特點(diǎn)：
● 采用雙重閉環(huán)運(yùn)動(dòng)控制，電機(jī)在高速運(yùn)動(dòng)時(shí)具有精確的定位以及運(yùn)動(dòng)時(shí)的穩(wěn)定性,；
● 采用本公司開發(fā)的嵌入式模塊控制電機(jī),，提高了電機(jī)響應(yīng)速度，還簡化了儀器與PC機(jī)的 接口,，PC機(jī)與儀器通過USB線和S端子線連接,；
● 采用花崗石平臺(tái),，外觀簡潔大方,；
● 表面光由獨(dú)立四十八組光源組成，每一組均 為恒 流源驅(qū)動(dòng),，連續(xù)可調(diào),； 
● 配有我公司的全自動(dòng)測(cè)量軟件Mclns，大大提高測(cè)量效率
儀器型號(hào)VMS-3020CNCVMS-4030CNCVMS-5030CNC
工
作
臺(tái)金屬臺(tái)面尺寸（mm）506×356606×466700×450
玻璃臺(tái)面尺寸（mm）350×280450×350550×350
運(yùn)動(dòng)行程（mm）300×200400×300500×300
儀器重量（kg）140240290
外形尺寸（長X寬X高） （mm）770×590×1100950×700×1100970×670×940
鏡頭日本SONY CCD
X,、Y,、Z數(shù)顯解析度1μm
X、Y坐標(biāo)示值誤差≤（3+L/200）μm
電機(jī)伺服電機(jī)：日本
三軸運(yùn)動(dòng)速度：100mm/s
三軸定位精度：0.001mm

電源AC110V/220V
消耗功率<100W（不包括電腦）