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MX12R晶圓檢查顯微鏡
全新的MX12R半導體 FPD 檢查顯微鏡,,Zui大支持 300mm 晶圓及 17英寸液晶面板的檢查,含 4,、6,、8、12英寸多種轉盤,,可適用不同尺寸的晶圓檢查,。人機工程學設計全面提升,為用戶提供更加舒適,、靈活,、快捷的操作體驗。
仰角可調觀察筒
0-35°觀察角度可調,,適合不同身高的用戶,,降低了對工作環(huán)境的要求,讓不同的使用者都能找到合適的觀察角度,,減輕了長時間工作帶來的不適與疲勞,,大幅度提高工作效率。
全新離合驅動式載物臺
MX12R 采用離合式手柄,,用戶按下離合扳手就可靈活移動平臺,,無需長時間捏緊手柄;按下離合按鈕,,取消快速移動,。避免長時間操作出現(xiàn)手麻現(xiàn)象,并加快觀察速度,。 MX12R 引入精密導軌傳動機構,移動更輕更順暢,,產(chǎn)品更加穩(wěn)定可靠,。
安全、高速的電動式物鏡轉換器
設有前進,、后退兩檔切換模式,,可快速、精確定位到所需要的觀察倍率,,重復定位精度高,。機械式的切換模式,,有效提升了轉換器的使用壽命。
按鍵觸手可及,,助您提高工作效率
MX12R 物鏡與孔徑光闌采用全新的電動控制系統(tǒng),,其操作按鍵位于儀器正前方,讓您觸手可及,。人性化的電動設計不僅避免了頻繁的手動操作步驟,,也使您的檢測工作也更加精確、靈活,。
防震支架設計
機身由六端支架支撐,,低重心,、高穩(wěn)定性全金屬機架,具備強效的抗震功能,,確保像質穩(wěn)定,。
豐富的應用領域
MX12R 集成了明場、暗場,、偏光,、DIC 等多種觀察功能。 廣泛應用于半導體,、FPD,、電路封裝、電路基板,、材料,、鑄件金屬陶瓷部件、精密磨具等檢測,。
技術參數(shù)
光學系統(tǒng) | 無限遠色差校正光學系統(tǒng) |
觀察方式 | 明場/暗場/偏光/DIC |
觀察筒 | 無限遠鉸鏈三通觀察筒,0-35°傾角可調,正像,瞳距調節(jié) :50-76mm,,分光比 100:0 或 0:100 |
目鏡 | 高眼點大視野平場目鏡 PL10X/25mm,視度可調,,可帶單刻度十字分劃版 |
物鏡 | 無限遠明暗場半復消金相 DIC 物鏡 5X 10X 20X 50X 100X |
無限遠長工作距明暗場半復消金相 DIC 物鏡 20X | |
無限遠長工作距明暗場半復消金相物鏡 50X 100X | |
轉換器 | 明暗場六孔電動轉換器,,帶 DIC 插槽 |
機架組 | 反射式機架,前置低手位粗微同軸調焦機構,。粗調行程35mm,,微調精度0.001mm。帶有防止下滑的調節(jié)松緊裝置和隨機上限位裝置,。內(nèi)置 100-240V 寬電壓系統(tǒng) |
透反機架,,前置低手位粗微同軸調焦機構。粗調行程 35mm,微調精度 0.001mm,。帶有防止下滑的調節(jié)松緊裝置和隨機上限位裝置,。內(nèi)置 100-240V 寬電壓系統(tǒng) | |
載物臺 | 右手位 14×12 英寸三層機械移動平臺,低手位 X,、Y 方向同軸調節(jié) ,;平臺面積 718mmX420mm,移動范圍 :356mmX305mm |
帶離合器手柄,,可用于全行程范圍內(nèi)快速移動 ,;玻璃載物臺板 ( 反射用) | |
電動平臺 | 面積 495mmX641mm,移動范圍 :306mmX306mm ,;軟件控制 X,、Y 移動,重復定位精度,,(3+L/50)μm 帶平板平臺 |
照明系統(tǒng) | 明暗場反射照明器 , 帶可變電動孔徑光闌,,視場光闌 , 中心均可調 ;帶明暗場照明切換裝置 ,;帶濾色片插槽與偏光裝置插槽 |
攝影攝像附件 | 0.5X/0.65X/1X 攝像接筒,,C 型接口,可調焦 |
其他 | 起偏鏡插板,,固定式檢偏鏡插板,,反射用干涉濾色片組 ;高精度測微尺 ,;DIC 組件 |
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