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MX12R 半導體 FPD 檢查顯微鏡
大支持 300mm 晶圓及 17英寸液晶面板的檢查,，含 4,、6、8,、12英寸多種轉盤,，可適用不同尺寸的晶圓檢查。人機工程學設計全面提升,，為用戶提供更加舒適,、靈活、快捷的操作體驗,。
MX12R 半導體 FPD 檢查顯微鏡
仰角可調觀察筒
0-35°觀察角度可調,，適合不同身高的用戶，降低了對工作環(huán)境的要求,，讓不同的使用者都能找到合適的觀察角度,，減輕了長時間工作帶來的不適與疲勞，大幅度提高工作效率,。
全新離合驅動式載物臺
MX12R 采用離合式手柄,，用戶按下離合扳手就可靈活移動平臺，無需長時間捏緊手柄,；按下離合按鈕,，取消快速移動。避免長時間操作出現(xiàn)手麻現(xiàn)象,，并加快觀察速度,。 MX12R 引入精密導軌傳動機構，移動更輕更順暢,，產(chǎn)品更加穩(wěn)定可靠,。
安全、高速的電動式物鏡轉換器
設有前進,、后退兩檔切換模式,，可快速、準確定位到所需要的觀察倍率,，重復定位精度高,。機械式的切換模式,，有效提升了轉換器的使用壽命。
MX12R 半導體 FPD 檢查顯微鏡
按鍵觸手可及,，助您提高工作效率
MX12R 物鏡與孔徑光闌采用全新的電動控制系統(tǒng),，其操作按鍵位于儀器正前方，讓您觸手可及,。人性化的電動設計不僅避免了頻繁的手動操作步驟,，也使您的檢測工作也更加準確、靈活,。
技術規(guī)格：
光學系統(tǒng) | 無限遠色差校正光學系統(tǒng) |
觀察方式 | 明場/暗場/偏光/DIC |
觀察筒 | 無限遠鉸鏈三通觀察筒,0-35°傾角可調,正像,瞳距調節(jié) :50-76mm，分光比 100:0 或 0:100 |
目鏡 | 高眼點大視野平場目鏡 PL10X/25mm,，視度可調,，可帶單刻度十字分劃版 |
物鏡 | 無限遠明暗場半復消金相 DIC 物鏡 5X 10X 20X 50X 100X |
| 無限遠長工作距明暗場半復消金相 DIC 物鏡 20X | |
| 無限遠長工作距明暗場半復消金相物鏡 50X 100X | |
轉換器 | 明暗場六孔電動轉換器，帶 DIC 插槽 |
機架組 | 反射式機架,，前置低手位粗微同軸調焦機構,。粗調行程35mm，微調精度0.001mm,。帶有防止下滑的調節(jié)松緊裝置和隨機上限位裝置,。內(nèi)置 100-240V 寬電壓系統(tǒng) |
| 透反機架，前置低手位粗微同軸調焦機構,。粗調行程 35mm,，微調精度 0.001mm。帶有防止下滑的調節(jié)松緊裝置和隨機上限位裝置,。內(nèi)置 100-240V 寬電壓系統(tǒng) | |
載物臺 | 右手位 14×12 英寸三層機械移動平臺,，低手位 X、Y 方向同軸調節(jié) ,；平臺面積 718mmX420mm,，移動范圍 ：356mmX305mm |
| 帶離合器手柄，可用于全行程范圍內(nèi)快速移動 ,；玻璃載物臺板 ( 反射用） | |
電動平臺 | 面積 495mmX641mm,，移動范圍 ：306mmX306mm ；軟件控制 X,、Y 移動,，重復定位精度，（3+L/50）μm 帶平板平臺 |
照明系統(tǒng) | 明暗場反射照明器 , 帶可變電動孔徑光闌,，視場光闌 , 中心均可調 ,；帶明暗場照明切換裝置 ；帶濾色片插槽與偏光裝置插槽 |
攝影攝像附件 | 0.5X/0.65X/1X 攝像接筒,，C 型接口,，可調焦 |
其他 | 起偏鏡插板,，固定式檢偏鏡插板，反射用干涉濾色片組 ,；高精度測微尺 ,；DIC 組件 |
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