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1964年,，Winefordner和Vickers等人提出并論證了原子熒光光譜法可作為一種新的化學(xué)分析方法,。自20世紀(jì)70年代以來(lái)，國(guó)內(nèi)外許多專家,、學(xué)者,、企業(yè)共同致力于原子熒光光譜商品化儀器的研制和開發(fā)。

美國(guó)Technicon公司于1976年生產(chǎn)出*一臺(tái)原子熒光光譜儀AFS- 6,，它采用脈沖調(diào)制空心陰極燈作光源,，以計(jì)算機(jī)作控制和數(shù)據(jù)處理，能同時(shí)測(cè)定6個(gè)元素,。20世紀(jì)80年代初,，美國(guó)Baird公司研制出AFS-2000型多道無(wú)色散原子熒光光譜儀，它采用電感耦合等離子體(ICP)作原子化器,，可12道同時(shí)檢測(cè),。此后，國(guó)外原子熒光商品化儀器的發(fā)展非常緩慢,。直到1993年，才有英國(guó)PSA公司生產(chǎn)的蒸氣發(fā)生-無(wú)色散原子熒光儀器,，它能同時(shí)檢測(cè)As,、Sb、Bi,、Hg,、Se、Te等6種元素,。90年代末,，加拿大Aurora公司推出一款氫化物發(fā)生-無(wú)色散原子熒光儀(HG—AFS)。21世紀(jì)初,，美國(guó)Leeman Labs公司和德國(guó)Analytik Jena公司分別研制并推出原子熒光測(cè)汞儀,。

我國(guó)從20世紀(jì)70年代中期開始研制原子熒光光譜儀器，原子熒光技術(shù)及其商品化儀器在我國(guó)得到飛速發(fā)展和普及推廣。1975年,，西北大學(xué)研制出以低壓汞燈作光源的冷原子熒光測(cè)汞儀,；同期，中科院上海冶金研究所研制出用高強(qiáng)度空心陰極燈作光源,、氮隔離空氣-乙炔火焰作原子化器的雙道無(wú)色散AFS儀,。1979年，西北有色地質(zhì)研究院成功研制了以溴化物無(wú)極放電燈作激發(fā)光源的HG AFS儀,，為原子熒光光譜儀在我國(guó)成功實(shí)現(xiàn)商品化奠定了重要基礎(chǔ),；該院隨后研制開發(fā)了WYD、XDY-1等雙道AFS儀,。1987年,，劉明鐘等人成功研制了脈沖供電特制空心陰極燈，這種高性能激發(fā)光源為HG -AFS儀在我國(guó)的普及推廣創(chuàng)造了條件,；在此基礎(chǔ)上研制生產(chǎn)的XDY-2無(wú)色散HG-AFS儀以屏蔽式高溫石英爐作原子化器,，手動(dòng)進(jìn)樣、雙道同時(shí)檢測(cè),、微機(jī)控制,，堪稱為我國(guó)AFS發(fā)展*具有里程碑意義的儀器。1996年我國(guó)推出了第一款全自動(dòng)AFS-230型HG—AFS儀,，采用斷續(xù)流動(dòng)進(jìn)樣裝置,，實(shí)現(xiàn)了氫化物發(fā)生反應(yīng)的自動(dòng)化。隨后,，我國(guó)相繼研制生產(chǎn)出AFS-610,、AFS一230、SK一800,、AFS一2202,、AFS一830、AFS一9800,、SK-銳析,、AFS- 930、AFRoHS-400等高靈敏商品化原子熒光儀,，使得我國(guó)HG AFS儀的研制和應(yīng)用水平,，處于*地位。