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如何選用Z合適的晶振片,?

閱讀:5870        發(fā)布時(shí)間:2012-3-15

鍍膜科技日新月異,對于鍍膜工程師來說,,如何根據(jù)不同的鍍膜工藝選擇*的晶振片確實(shí)不易,。下面建議供大家參考:

1)鍍低應(yīng)力膜料時(shí),選擇鍍金晶振片

    zui常見的鍍膜是鍍Al,、Au,、AgCu,,這些膜層幾乎沒有應(yīng)力,,在室溫下鍍膜即可。膜層較軟,,易劃傷,,但不會裂開或?qū)桩a(chǎn)生負(fù)作用。建議使用鍍金晶振片用于上述鍍膜,,經(jīng)驗(yàn)證明,,可以在鍍金晶振片鍍60000埃金和50000埃銀的厚度。

2)使用鍍銀或銀鋁合金鍍高應(yīng)力膜層

    NiCr,、Mo,、ZrNi-Cr,、Ti,、不銹鋼這些材料容易產(chǎn)生高應(yīng)力,膜層容易從晶體基片上剝落或裂開,,以致出現(xiàn)速率的突然跳躍或一系列速率的突然不規(guī)則正負(fù)變動,。有時(shí),這些情況可以容忍,,但在一些情況下,,會對蒸發(fā)源的功率控制有不良作用。

3)使用銀鋁合金晶振片鍍介質(zhì)光學(xué)膜

    MgF2,、SiO2,、Al2O3TiO2膜料由于良好的光學(xué)透明區(qū)域或折射率特性,,被廣泛用于光學(xué)鍍膜,,但這些膜料也是zui難監(jiān)控的,只有基底溫度大于200度時(shí),,這些膜層才會與基底有非常良好的結(jié)合力,,所以當(dāng)這些膜料鍍在水冷的基底晶振片上,在膜層凝結(jié)過程會產(chǎn)生巨大的應(yīng)力,,容易使晶振片在1000埃以內(nèi)就回失效,。

    這時(shí)候,選用合金晶振片將是的選擇,,將大大減少調(diào)頻機(jī)會,。實(shí)驗(yàn)室顯示,使用合金晶振片監(jiān)視氟化鎂,,有效壽命比鍍金的長100%,。如果把冷卻水的溫度從20度提高到50度,晶振片的壽命更可以再延長一倍,。

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