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          潔凈室的定義與測試規(guī)范概述

        凈潔凈室的定義,，早是在美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209上出現(xiàn),，之后日漸普及并廣為半導(dǎo)體業(yè)與制藥業(yè)接受。到了90年代后期,，產(chǎn)業(yè)界體認(rèn)到若是無共同標(biāo)準(zhǔn),，就不能實現(xiàn)經(jīng)濟(jì)的化，于是有ISO-14644的產(chǎn)生,。以下說明潔凈室的各種標(biāo)準(zhǔn)與規(guī)范,。

　　Federal Standard 209E (Fed-Std-209E) ：美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E，209的出版發(fā)行,，是在1960年代,，之后不斷改版以因應(yīng)科技與工業(yè)發(fā)展，版本從原始的209,、209A,，一直到1992年的后一版209E。在2001年11月29日,，美國正式宣布廢止209E,，改用ISO-14644，于是209E在書面上走入歷史,。但是在產(chǎn)業(yè)界,，除了部份的歐洲公司之外，美國,、日本,、中國臺灣,、與中國大陸，都還沿用209E,。

　　ISO-14644系列;美國政府為了推動經(jīng)濟(jì)化,，就很大方的放棄了自己的209E，改而推行全部使用公制的標(biāo)準(zhǔn)ISO-14644,。14644系列有8個子題,，稱為14644-1，14644-2,，一直到14644-9,。整個系列涵蓋了等級定義、測試與監(jiān)視的規(guī)范,、測試的程序方法,、設(shè)計與建造、操作,、以及其它的有關(guān)設(shè)備等,，范圍很廣。

　　JIS B9920 (1989)：日本的潔凈標(biāo)準(zhǔn),，規(guī)定潔凈室中浮游粒子的濃度測定方式,，及潔凈度的等級定義。

　　VDI 2083 (1993)：德國的潔凈標(biāo)準(zhǔn),，規(guī)定潔凈度等級的定義方式,，以及潔凈度的量測技術(shù)。

　　Gost-R 50766 (1995)：的潔凈標(biāo)準(zhǔn),，定義潔凈室的分類與一般需求,。

　　以上是潔凈室等級規(guī)定，與潔凈度量測的相關(guān)標(biāo)準(zhǔn),。另外有關(guān)潔凈室污染控制(也就是潔凈度控制),，和環(huán)境控制(如溫濕度、震動噪音等),，也有一些重要的測試規(guī)范,，因為這些環(huán)境影響因素，都包含在潔凈室性能測試的范圍之內(nèi),。

　　IEST-RP-CC-006.2：這本有名的測試規(guī)范,，目的就是為了補(bǔ)209的不足。209只有微粒量測,，006 包括了風(fēng)速風(fēng)量,、濾網(wǎng)泄漏、潔凈度,、溫濕度,、平行度,、恢復(fù)率、粒子沉降測試,、照度等,。006 的*版稱為006-84-T，006.2是第二版?，F(xiàn)在由于 NEBB 的興起,，0062已經(jīng)功成身退，逐漸消失了,。

　　NEBB 潔凈室測試規(guī)范第二版：這是目前廣為流行的測試規(guī)范,，提到潔凈室認(rèn)證，就非 NEBB 莫屬,。NEBB 潔凈室測試規(guī)范,，可說是IEST-0062的改良版，其測試涵蓋范圍差不多,，但是測試程序更為清楚嚴(yán)謹(jǐn),，儀器使用也有詳細(xì)規(guī)定,。因此 NEBB 潔凈室測試規(guī)范的出現(xiàn),，解決了不少測試的爭議，也因此 NEBB 潔凈室測試規(guī)范成功的成為產(chǎn)業(yè)標(biāo)準(zhǔn),。

　　每一種行業(yè),，甚至每公司或工廠，對潔凈室的要求可能都不一樣,。