潔凈室氣流之流動
潔凈室的潔凈度往往受到氣流的影響,，換言之，即人,、機(jī)器隔間,、建筑結(jié)構(gòu)等所產(chǎn)

生的塵埃之移動、擴(kuò)散受到氣流的支配,。

潔凈室系利用HEPA,、ULPA過濾空氣,，其塵埃的收集率達(dá)99.97~99.99995%之多，因

此經(jīng)過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈,。然而潔凈室內(nèi)除了人以外,，尚有機(jī)器等

之發(fā)塵源，這些發(fā)生的塵埃一旦擴(kuò)散,，即無法保持潔凈空間,，因此必須利用氣流將

發(fā)生的塵埃迅速排出室外。

潔凈室內(nèi)的氣流是左右潔凈室性能的重要因素,，一般潔凈室的氣流速度是選

0.25~0.5m/s之間,，此氣流速度屬微風(fēng)區(qū)域，易受人,、機(jī)器等的動作而干擾趨于混

亂,、雖提高風(fēng)速可抑制此一擾亂之影響而保持潔凈度、但因風(fēng)速的提高,，將影響運(yùn)

轉(zhuǎn)成本的增加,，所以應(yīng)在滿足要求的潔凈度水準(zhǔn)之時，能以zui適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng),，以

達(dá)到適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)以達(dá)到經(jīng)濟(jì)性效果,。
 

另一方面欲達(dá)到潔凈室潔凈度之穩(wěn)定效果,，均一氣流之保持亦為一重要因素,，均一

氣流若無法保持，表示風(fēng)速有異,，特別是在壁面,，氣流會延著壁面發(fā)生渦流作用，

此時要實(shí)現(xiàn)高潔凈度事實(shí)上很困難,。
 

垂直層流式方向要保持均一氣流必須：(a)吹出面的風(fēng)速不可有速度上的差異,；(b)

地板回風(fēng)板吸入面之風(fēng)速不可有速度上的差異。速度過低或過高(0.2m/s,，0.7m/s)

均有渦流之現(xiàn)象發(fā)生,，而0.5m/s之速度，氣流則較均一,，目前一般潔凈室,，其風(fēng)速

均取在0.25~0.5m/s之間。

影響潔凈室的氣流因素很多,，如制程設(shè)備,、人員、潔凈室組裝材,、照明器具等,，同

時對于生產(chǎn)設(shè)備上方氣流的分流點(diǎn),，亦應(yīng)列入考慮因素。
 

一般操作臺或生產(chǎn)設(shè)備等表面的氣流分流點(diǎn),，應(yīng)設(shè)于潔凈室空間與隔墻板間距2/3

之處,，如此可使作業(yè)人員工作時，氣流可從制程區(qū)內(nèi)部流向作業(yè)區(qū),，而將微塵帶

走,；若分流點(diǎn)配置在制程區(qū)前方，將成為不當(dāng)?shù)臍饬鞣至?，此時大部份的氣流將流

至制程區(qū)之后,，作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設(shè)備后面，工作臺因而將受到污

染,，良率也勢必降低,。
 

潔凈室內(nèi)的工作桌等障礙物，在相接處均會有渦流現(xiàn)象發(fā)生,，相對地在其附近之潔

凈度將會較差,，在工作桌面鉆上回風(fēng)孔，將使渦流現(xiàn)象減少zui低,；組裝材料之選擇

是否恰當(dāng),、設(shè)備布局是否完善，亦為氣流是否成為渦流現(xiàn)象之重要因素