目前,，潔凈車間已廣泛應(yīng)用于各行各業(yè)的產(chǎn)品生產(chǎn)或其他要求防止粒子污染、微生物污染的環(huán)境控制,，由于各行各業(yè)的產(chǎn)品特性不同,、各種產(chǎn)品的生產(chǎn)工藝不相同，使用要求不同,，因此要求控制環(huán)境的內(nèi)容,、指標(biāo)均不會(huì)相同。所謂無(wú)塵車間的環(huán)境控制的內(nèi)容應(yīng)該包括：空氣凈化,、潔凈建筑,、與產(chǎn)品直接接觸的水或氣體或化學(xué)品和生產(chǎn)設(shè)備、工器具等的污染物控制以及微振動(dòng),、噪聲,、靜電的控制、防止等,。所以無(wú)塵車間的設(shè)計(jì)不僅要求對(duì)室內(nèi)的空氣進(jìn)行凈化達(dá)到規(guī)定的空氣潔凈度等級(jí),，還必須防止因無(wú)塵車間的建造用材料、裝飾方式不當(dāng)帶來(lái)的污染,，有的無(wú)塵車間還要求供給純水,、純氣體和高純的化學(xué)品等。
1,、半導(dǎo)體集成電路要求的空氣潔凈度等級(jí)
集成電路生產(chǎn)環(huán)境要求的空氣潔凈度等級(jí)主要取決于集成電路的集成度,，不同工序的空氣潔凈度等級(jí)是依據(jù)可能污染的概率和對(duì)器件的潛在故障確定的。
舉例說(shuō)明：
例一,、某廠集成電路前工序潔凈廠房,，無(wú)塵車間設(shè)計(jì)按加工、生產(chǎn)6英寸硅片,、1M集成電路,，圖形特形尺雨1.0um，控制粒子粒徑0..1um.
無(wú)塵車間空氣潔凈度等級(jí)要求：
光刻,、勻膠區(qū) ISO 3級(jí)
離子注入,、刻蝕CVD、外延,、擴(kuò)散等操作區(qū) ISO 3級(jí)
離子注入,、刻蝕CVD、外延,、擴(kuò)散等維修區(qū) ISO 5級(jí)
例二,、某廠集成電路前工序潔凈廠房,，無(wú)塵車間設(shè)計(jì)按加工、生產(chǎn)5英寸硅片,、256K集成電路,、圖形特形尺雨2.0um，控制粒子粒徑0.2um.
無(wú)塵車間空氣潔凈度等級(jí)要求：
光刻,、勻膠區(qū) ISO 3級(jí)
離子注入,、刻蝕CVD、外延,、擴(kuò)散等操作區(qū) ISO 4級(jí)
離子注入,、刻蝕CVD、外延,、擴(kuò)散等維修區(qū) ISO 6級(jí)
2,、一些電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度等級(jí)
隨著信息產(chǎn)業(yè)技術(shù)的發(fā)展，許多電子產(chǎn)品性能,、質(zhì)量的提高和生產(chǎn)過(guò)程的微細(xì)化,，日益要求生產(chǎn)環(huán)境具有一定的空氣潔凈度等級(jí)和控制無(wú)塵車間內(nèi)工藝生產(chǎn)所需的各類高純物質(zhì)的供給質(zhì)量，目前外還沒(méi)有統(tǒng)一電子產(chǎn)品的空氣潔凈度等級(jí)或生產(chǎn)環(huán)境控制要求的統(tǒng)一規(guī)定,，各種電子產(chǎn)品的生產(chǎn)依據(jù)其生產(chǎn)的產(chǎn)品品種、所采用的生產(chǎn)工藝技術(shù),、生產(chǎn)工藝設(shè)備,、生產(chǎn)用原輔料以及無(wú)塵車間運(yùn)行的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)確定設(shè)計(jì)建造無(wú)塵車間的空氣潔凈度等級(jí)。
舉例說(shuō)明：
例一,、薄膜晶體管彩色液晶顯示器生產(chǎn)用無(wú)塵車間,，TFT-LCD具有體積小、質(zhì)量輕,、易攜帶,、耗電低、色彩逼真,、大容量,、高分辨示等優(yōu)點(diǎn)。
各無(wú)塵車間空氣潔凈度等級(jí),，控制粒子粒徑為0.3um
清洗,、涂膠、曝光間 ISO 4級(jí)
顯影,、刻蝕間 ISO 5級(jí)
成盒間 ISO 5級(jí)
濺射,、CVD間 ISO 6級(jí)
例二、某高密度磁帶生產(chǎn)用潔凈廠房,、無(wú)塵車間控制微粒粒徑0.5um
各無(wú)塵車間的空氣潔凈度等級(jí)要求
涂布頭 ISO 5級(jí)
備件,、切帶,、帶基、測(cè)試,、涂布間和烘干,、固化間 ISO 6級(jí)
組裝、維修間和部分原料庫(kù) ISO 7級(jí)
砂磨,、化驗(yàn)間和配件間 ISO 8級(jí)
成品庫(kù)和部分原料庫(kù) 準(zhǔn)潔凈間
3,、精密機(jī)械、精細(xì)化工等產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度等級(jí)
例一,、一個(gè)陀螺儀生產(chǎn)用無(wú)塵車間
無(wú)塵車間空氣潔凈度等級(jí)要求
裝配間 ISO 6級(jí)
軸承加工間 ISO 5級(jí)
例二,、一個(gè)感光膠片生產(chǎn)用無(wú)塵車間
流延機(jī)頭部，涂布機(jī)頭部 ISO 5級(jí)
涂布室,，流延機(jī)室 ISO 6級(jí)
凈化設(shè)備有限公司位于浙江省紹興市上虞區(qū)道墟鎮(zhèn),，是華東地區(qū)凈化設(shè)備行業(yè)中的制造商之?？砂碔SO14644-1標(biāo)準(zhǔn),、GB50073-2001國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)及國(guó)家GMP規(guī)范要求為微電子、生物醫(yī)藥,、醫(yī)院手術(shù)室,、光纖光纜、食品飲料,、精密儀器,、半導(dǎo)體及新材料應(yīng)用等行業(yè)的空氣凈化系統(tǒng)工程設(shè)計(jì)、施工,、檢測(cè)及技術(shù)服務(wù),。
公司主營(yíng)凈化工作臺(tái)系列、風(fēng)淋室系列,、通風(fēng)柜系列,，生物安全柜系列被廣泛應(yīng)用于醫(yī)療衛(wèi)生、電子,、制藥,、生物、食品,、農(nóng)林,、畜牧獸醫(yī)、檢驗(yàn)檢疫,、航空航天,、汽車制造、精密儀器、大專院校和各科研機(jī)構(gòu),，在和東南亞市場(chǎng)享有高的聲譽(yù),。
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