塵埃粒子計數(shù)器是一種在潔凈領(lǐng)域應(yīng)用廣泛的重要儀器,主要用于評定潔凈室潔凈度等級,,還可用來檢測過濾器的過濾效率,、潔凈織物的發(fā)塵量。使用的行業(yè)包含電子廠,、藥廠,、醫(yī)療器械廠以及檢測實驗室等等。塵埃粒子計數(shù)器是利用光的散射原理對空氣中的塵埃粒子數(shù)目和粒徑進行計量,,工作原理:來自光源的光線被鏡組聚焦于檢測區(qū)域,,塵埃粒子計數(shù)器通過采樣泵使采樣空氣通過該區(qū)域。當(dāng)一個塵埃粒子(簡稱粒子)通過時,,便把入射光散射一次,,產(chǎn)生一個光脈沖信號,經(jīng)過放大,、甄別,,篩選出需要的信號,再通過計數(shù)系統(tǒng)顯示出來,,電脈沖信號的高度反映粒子的大小,,信號的數(shù)量反映了粒子的個數(shù)。主要關(guān)注的技術(shù)指標(biāo)就是粒子的大小和個數(shù),。
粒子的大小可以溯源到標(biāo)準(zhǔn)粒子,,通常采用聚苯乙烯塑料乳膠小球(PLS:Polymer LatexSuspensions),可通過掃描電鏡等進行尺寸溯源,。但是粒子的個數(shù),,很難有一個可靠的量值溯源方式。塵埃粒子計數(shù)器檢測到的粒子難以捕集,,沒有有效的方式清點個數(shù),,也無法稱重。即使很好的執(zhí)行采樣的每一個步驟,,不同塵埃粒子計數(shù)器的計數(shù)顯示仍然會有很大的不同,。主要原因是各家塵埃粒子計數(shù)器在設(shè)計與性能方面存在差異,所以塵埃粒子計數(shù)器的校準(zhǔn)一直以來是國內(nèi)外研究的熱點和難點,。
國外大量文獻[2-5]提到了計數(shù)效率這一概念,。所謂計數(shù)效率,即為塵埃粒子計數(shù)器顯示的粒子數(shù)與從塵埃粒子計數(shù)器進氣口采樣氣溶膠中得到的標(biāo)準(zhǔn)粒子數(shù)的比值,。將小可測粒徑 < 0.2 μm的儀器歸為 A 類,,≥ 0.2 μm 的歸為 B 類,。A 類粒子計數(shù)器是凝聚核計數(shù)器或具有不低于同等性能的類似計數(shù)器,以 A 類計數(shù)器為標(biāo)準(zhǔn)即可得到B 類計數(shù)器的計數(shù)效率,,計數(shù)效率的具體指標(biāo):塵埃粒子計數(shù)器對于小可測粒徑下計數(shù)效率應(yīng)子計數(shù)器的溯源問題同樣沒有解決,,僅僅只是大家的默許認(rèn)可,并未能成為基準(zhǔn),。文獻同時提到了粒徑檔響應(yīng)電壓,,該方法需將多通道脈沖幅度分析儀連接到待檢塵埃粒子計數(shù)器的輸出端(前置放大器的輸出端或主要放大器的輸入端)。用標(biāo)準(zhǔn)粒子發(fā)生裝置產(chǎn)生適合不同粒徑的標(biāo)準(zhǔn)粒子的實驗用氣溶膠,,分析不同粒徑檔對應(yīng)的脈沖信號,,做出脈沖頻率曲線,確定不同標(biāo)準(zhǔn)粒子的響應(yīng)電壓,。還提到了利用塵埃粒子計數(shù)器以比較法進行校準(zhǔn),。
依據(jù)塵埃粒子計數(shù)器的量值溯源需求,1988 年制定了 JJG547-88《塵埃粒子計數(shù)器》,,利用多分散標(biāo)準(zhǔn)粒子檢定塵埃粒子計數(shù)器的粒徑分布準(zhǔn)確性,、單分散粒子測量離散度。該規(guī)程回避了直接對粒子濃度的檢定,,采用分部法,,其所有指標(biāo)均為間接值。2008 年經(jīng)過多年努力修訂了該規(guī)程,,變更為 JJF1190-2008《塵埃粒子計數(shù)器》[7],。該規(guī)范的主要技術(shù)指標(biāo)包括外觀要求、絕緣電阻,、電氣強度、自凈時間,、流量誤差,、計時誤差、重復(fù)性,、粒徑分布誤差,、粒子濃度示值誤差,覆蓋了該計量器具的基本性能,,同時也考慮到檢定工作的科學(xué)性和可操作性等因素,。該規(guī)范創(chuàng)新提出,用標(biāo)準(zhǔn)粒子發(fā)生裝置產(chǎn)生標(biāo)準(zhǔn)粒子氣溶膠,,以精密塵埃粒子計數(shù)器作為標(biāo)準(zhǔn)器,,校準(zhǔn)一直以來回避但又極其重要的指標(biāo):粒子濃度示值誤差。塵埃粒子計數(shù)器校準(zhǔn)的關(guān)鍵是標(biāo)準(zhǔn)粒子發(fā)生裝置,、精密塵埃粒子計數(shù)器以及數(shù)據(jù)處理,。
20 世紀(jì) 70 年代,,我國研制了國內(nèi)臺塵埃粒子計數(shù)器,開始了對塵埃粒子計數(shù)器以及校準(zhǔn)方法的研究,。1985 年制定了 GB6167.1 ~GB6167.2 - 85《塵埃粒子計數(shù)器性能實驗方法》,,2009 年進行修訂[6]。該標(biāo)準(zhǔn)主要參考國外的相關(guān)文獻,,提出了計數(shù)效率,、粒徑響應(yīng)電壓以及比較法。對生產(chǎn)企業(yè)的產(chǎn)品出廠調(diào)試,、產(chǎn)品質(zhì)量的提高有著非常積極的意義,,但不適合計量檢定部門開展量值溯源(首先計量檢定部門的量值溯源工作是不允許拆卸被校準(zhǔn)設(shè)備的)。
塵埃粒子計數(shù)器的校準(zhǔn)沒有建立國家基標(biāo)準(zhǔn)(國外也未見),,因此對塵埃粒子計數(shù)器的校準(zhǔn)情況非常特殊,,存在很大難度。國家計量校準(zhǔn)規(guī)范JJF1190-2008《塵埃粒子計數(shù)器》的實行,,對保證全國量值一致性,,抑制目前市場放任的局面是有好處的。
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