集成傳感器是用標(biāo)準(zhǔn)的生產(chǎn)硅基半導(dǎo)體集成電路的工藝技術(shù)制造的。通常還將用于初步處理被測(cè)信號(hào)的部分電路也集成在同一芯片上

德國(guó)圖爾克TURCK傳感器-天津圖爾克
集成傳感器薄膜傳感器 厚膜傳感器陶瓷傳感器
　　集成傳感器是用標(biāo)準(zhǔn)的生產(chǎn)硅基半導(dǎo)體集成電路的工藝技術(shù)制造的,。通常還將用于初步處理被測(cè)信號(hào)的部分電路也集成在同一芯片上,。
　　薄膜傳感器則是通過(guò)沉積在介質(zhì)襯底（基板）上的，相應(yīng)敏感材料的薄膜形成的,。使用混合工藝時(shí),，同樣可將部分電路制造在此基板上。
　　厚膜傳感器是利用相應(yīng)材料的漿料,，涂覆在陶瓷基片上制成的,，基片通常是Al2O3制成的，然后進(jìn)行熱處理,，使厚膜成形,。
　　陶瓷傳感器采用標(biāo)準(zhǔn)的陶瓷工藝或其某種變種工藝（溶膠-凝膠等）生產(chǎn),。
　　完成適當(dāng)?shù)念A(yù)備性操作之后，已成形的元件在高溫中進(jìn)行燒結(jié),。厚膜和陶瓷傳感器這二種工藝之間有許多共同特性,，在某些方面，可以認(rèn)為厚膜工藝是陶瓷工藝的一種變型,。
　　每種工藝技術(shù)都有自己的優(yōu)點(diǎn)和不足,。由于研究、開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)所需的資本投入較低,，以及傳感器參數(shù)的高穩(wěn)定性等原因,，采用陶瓷和厚膜傳感器比較合理。
TURCK BI2-M12-AN6X
TURCK NI2-Q9.5-AP6-0.15-FS4.4X
TURCK BI15U-CK40-AP4X2-H1141
TURCK NI15-Q30-AP6X
TURCK BI15-CP40-LIU
TURCK Q853E-B
TURCK S18SP6DL
TURCK MQDC-415
TURCK S18SN6DQ
TURCK BI5-M18-AP6X
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TURCK NI5-M18-AD4X
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TURCK S30SN6R
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TURCK NI50-CP80-VP4X2
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TURCK NI5-G12-AN6X
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TURCK C4-A40 AC220V
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TURCK S4-B
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