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歡迎來(lái)到Oerlikon真空計(jì)世界
閱讀：879 發(fā)布時(shí)間：2017-4-5歡迎來(lái)到Oerlikon真空計(jì)世界
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德國(guó)萊寶真空計(jì)有：
- 用于測(cè)量粗真空的各種工作原理的機(jī)械指針式真空表,。
- 各種間接測(cè)量的數(shù)顯真空規(guī),，它們是：
- 熱電阻真空規(guī)(皮拉尼規(guī)) TTR91、TTR91S,、TTR96,、TTR96S
- 冷陰極電離真空規(guī)(潘寧規(guī)) PTR225
- 薄膜電容規(guī) CTR100、CTR91
- 薄膜/皮拉尼復(fù)合規(guī) TTR100,、TTR100S
- 冷陰極電離/皮拉尼復(fù)合規(guī) PTR90
- 熱陰極電離/皮拉尼復(fù)合規(guī) ITR90
- 便攜式真空表TM90,、TM100
- 新型Center和Display系列真空計(jì)
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萊寶真空計(jì)TTR91S，萊寶TTR91S真空計(jì),，TTR91S萊寶真空計(jì)
按照Oerlikon真空計(jì)測(cè)量原理所利用的不同的物理機(jī)制,，可將主要的真空計(jì)分為三大類，分別是利用力學(xué)性能,、利用氣體動(dòng)力學(xué)效應(yīng)和利用帶電粒子效應(yīng)的真空計(jì),。
利用力學(xué)性能的真空計(jì)典型的有波爾登規(guī)（Bourdon）和薄膜電容規(guī)；利用氣體動(dòng)力學(xué)效應(yīng)的典型真空計(jì)有皮拉尼（Pirani）電阻規(guī)和熱電偶規(guī),；利用帶電粒子效應(yīng)的典型真空計(jì)有熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī),。 如右圖所示，細(xì)的銅管受氣體壓力不同會(huì)有舒展現(xiàn)象,，會(huì)帶動(dòng)杠桿和齒輪旋轉(zhuǎn),，使得指針指示在不同刻度上，即可讀出相應(yīng)的氣壓值,。
這種規(guī)的測(cè)量范圍一般在100Pa至1atm,。 如右圖所示，在不同壓力下金屬膜片受力不同會(huì)有不同尺度的變形,，使得金屬膜片和電極之間的電容變化,，通過(guò)測(cè)量電容的變化量，即可知道金屬膜片上氣壓的變化,。
這種規(guī)的測(cè)量范圍一般橫跨4個(gè)量級(jí),，比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等,。
這種規(guī)的優(yōu)點(diǎn)是靈敏度很高,。缺點(diǎn)是必須在高于環(huán)境溫度的恒溫條件下使用，以消除溫度不同對(duì)膜片力學(xué)性能的影響,，使用前一般需要預(yù)熱數(shù)小時(shí),。 也叫做熱電阻真空計(jì)，它是利用電阻與溫度之間關(guān)系的原理工作的,。
如右圖所示,，由于不同氣壓下氣體分子熱傳導(dǎo)能力不同，當(dāng)給熱絲加恒定的電流時(shí),，由于氣壓不同通過(guò)氣體傳導(dǎo)走的熱量不同,，熱絲所保持的溫度就不同，這導(dǎo)致熱絲電阻大小不同,，通過(guò)測(cè)量熱絲電阻大小就可以推算氣壓大小,。
如果配合電橋測(cè)量熱絲電阻的變化，將有效提高測(cè)量的準(zhǔn)確度,。
這種規(guī)的測(cè)量范圍一般在0.1Pa至1000Pa,。
由于不同氣體在相同氣壓時(shí)導(dǎo)熱性不同，所以這種規(guī)需要在不同的使用氣體下標(biāo)定,。 如右圖所示,，熱電偶規(guī)與皮拉尼電阻規(guī)基本原理一致，只是它不用測(cè)量熱絲電阻的變化,，而是用熱電偶直接測(cè)量熱比的溫度變化,。
測(cè)量范圍一般與在0.1Pa至1000Pa。
與皮拉尼電阻規(guī)一樣,，這種規(guī)也需要在不同的使用氣體下標(biāo)定,。 如右圖所示，熱陰極電離規(guī)中,，由熱陰極即燈絲發(fā)射電子,，電離真空中的氣體分子，產(chǎn)生離子,，由收集極收集產(chǎn)生的離子,，形成離子電流，通過(guò)測(cè)量離子電流的大小即可推算出真空中氣體分子的密度,，進(jìn)而得到氣壓大小,。
這種規(guī)的測(cè)量范圍一般為1.0E-05Pa至0.1Pa。
經(jīng)改進(jìn)后的熱陰極電離規(guī),，Bayard-Alpert規(guī),，可以將測(cè)量下限降低至1.0E-09Pa。
由于不同氣體在相同氣壓下的電離率不同,，這種規(guī)在使用時(shí)也需要在不同氣體下進(jìn)行標(biāo)定,。 如右圖所示，冷陰極電離規(guī)也是通過(guò)電離氣體分子收集離子電流的方法進(jìn)行氣壓測(cè)量,，但與熱陰極電離規(guī)不同的是,，它是利用磁控放電電離氣體分子產(chǎn)生離子。
分類原理介紹 按照真空計(jì)測(cè)量原理所利用的不同的物理機(jī)制,，可將主要的真空計(jì)分為三大類,，分別是利用力學(xué)性能、利用氣體動(dòng)力學(xué)效應(yīng)和利用帶電粒子效應(yīng)的真空計(jì),。
利用力學(xué)性能的真空計(jì)典型的有波爾登規(guī)（Bourdon）和薄膜電容規(guī),；利用氣體動(dòng)力學(xué)效應(yīng)的典型真空計(jì)有皮拉尼（Pirani）電阻規(guī)和熱電偶規(guī)；利用帶電粒子效應(yīng)的典型真空計(jì)有熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī),。
真空計(jì)波爾登規(guī)（Bourdon）
波爾登規(guī) 如右圖所示,，細(xì)的銅管受氣體壓力不同會(huì)有舒展現(xiàn)象,，會(huì)帶動(dòng)杠桿和齒輪旋轉(zhuǎn)，使得指針指示在不同刻度上,，即可讀出相應(yīng)的氣壓值,。
這種規(guī)的測(cè)量范圍一般在100Pa至1atm。
真空計(jì)薄膜電容規(guī)
薄膜電容規(guī) 如右圖所示,，在不同壓力下金屬膜片受力不同會(huì)有不同尺度的變形,，使得金屬膜片和電極之間的電容變化，通過(guò)測(cè)量電容的變化量,，即可知道金屬膜片上氣壓的變化,。
這種規(guī)的測(cè)量范圍一般橫跨4個(gè)量級(jí)，比如可能是0.01Pa至100Pa,、0.1Pa至1000Pa等,。
這種規(guī)的優(yōu)點(diǎn)是靈敏度很高。缺點(diǎn)是必須在高于環(huán)境溫度的恒溫條件下使用,，以消除溫度不同對(duì)膜片力學(xué)性能的影響,，使用前一般需要預(yù)熱數(shù)小時(shí)。
真空計(jì)皮拉尼電阻規(guī)
皮拉尼電阻規(guī) 也叫做熱電阻真空計(jì),，它是利用電阻與溫度之間關(guān)系的原理工作的,。
如右圖所示，由于不同氣壓下氣體分子熱傳導(dǎo)能力不同,，當(dāng)給熱絲加恒定的電流時(shí),，由于氣壓不同通過(guò)氣體傳導(dǎo)走的熱量不同，熱絲所保持的溫度就不同,，這導(dǎo)致熱絲電阻大小不同,，通過(guò)測(cè)量熱絲電阻大小就可以推算氣壓大小。
如果配合電橋測(cè)量熱絲電阻的變化,，將有效提高測(cè)量的準(zhǔn)確度,。
這種規(guī)的測(cè)量范圍一般在0.1Pa至1000Pa。
由于不同氣體在相同氣壓時(shí)導(dǎo)熱性不同,，所以這種規(guī)需要在不同的使用氣體下標(biāo)定,。
真空計(jì)熱電偶規(guī)
熱電偶規(guī) 如右圖所示，熱電偶規(guī)與皮拉尼電阻規(guī)基本原理一致,，只是它不用測(cè)量熱絲電阻的變化,，而是用熱電偶直接測(cè)量熱比的溫度變化。
測(cè)量范圍一般與在0.1Pa至1000Pa,。
與皮拉尼電阻規(guī)一樣,，這種規(guī)也需要在不同的使用氣體下標(biāo)定。