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Oerlikon真空計(jì)有哪幾種呢
閱讀:1297 發(fā)布時(shí)間:2017-1-3Oerlikon真空計(jì)有哪幾種呢
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按真空度刻度方法分類 (1)真空計(jì):直接讀取氣體壓力,,其壓力響應(yīng)(刻度)可通過(guò)自身幾何尺寸計(jì)算出來(lái)或由測(cè)力確定,。真空計(jì)對(duì)所有氣體都是準(zhǔn)確的且與氣體種類無(wú)關(guān),屬于真空計(jì)的有U型鎊壓力計(jì),、壓縮式真空計(jì)和熱輻射真空計(jì)等,。 (2)相對(duì)真空計(jì):由一些氣體壓力有函數(shù)關(guān)系的量來(lái)確定壓力,不能通過(guò)簡(jiǎn)單的計(jì)算進(jìn)刻度,,必須進(jìn)行校準(zhǔn)才能刻度,。相對(duì)真空計(jì)一般由作為傳感器的真空計(jì)規(guī)管(或規(guī)頭)和用于控制、指示的測(cè)量器組成,。讀數(shù)與氣體種類有關(guān),。相對(duì)真空計(jì)的種類很多,如熱傳導(dǎo)真空計(jì)和電離真空計(jì)等,。 按真空計(jì)測(cè)量原理分類 直接測(cè)量真空計(jì) 這種真空計(jì)直接測(cè)量單位面積上的力,,有: (1)靜態(tài)液位真空計(jì):利用U型管兩端液面差來(lái)測(cè)量壓力。 (2)彈性元件真空計(jì):利用與真空相連的容器表面受到壓力的作用而產(chǎn)生彈性變形來(lái)測(cè)量壓力值的大小,。 間接測(cè)量真空計(jì) 壓力為10-1Pa時(shí),,作用在1cm2表面上力只有10-5N,顯然測(cè)量這樣小的力是困難的,。但可根據(jù)低壓下與氣體壓力有關(guān)的物理量的變化來(lái)間接測(cè)量壓力的變化,。屬于這類的真空計(jì)有: (1)壓縮式真空計(jì):其原理是在U型管的基礎(chǔ)上再應(yīng)用波義耳定律,即將一定量待測(cè)壓力的氣體,,經(jīng)過(guò)等溫壓縮...
Oerlikon真空計(jì) 分類原理介紹編輯 按照真空計(jì)測(cè)量原理所利用的不同的物理機(jī)制,,可將主要的真空計(jì)分為三大類,分別是利用力學(xué)性能,、利用氣體動(dòng)力學(xué)效應(yīng)和利用帶電粒子效應(yīng)的真空計(jì),。
利用力學(xué)性能的真空計(jì)典型的有波爾登規(guī)(Bourdon)和薄膜電容規(guī);利用氣體動(dòng)力學(xué)效應(yīng)的典型真空計(jì)有皮拉尼(Pirani)電阻規(guī)和熱電偶規(guī),;利用帶電粒子效應(yīng)的典型真空計(jì)有熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī),。
真空計(jì)波爾登規(guī)(Bourdon)
波爾登規(guī) 如右圖所示,,細(xì)的銅管受氣體壓力不同會(huì)有舒展現(xiàn)象,會(huì)帶動(dòng)杠桿和齒輪旋轉(zhuǎn),,使得指針指示在不同刻度上,,即可讀出相應(yīng)的氣壓值。
這種規(guī)的測(cè)量范圍一般在100Pa至1atm,。
真空計(jì)薄膜電容規(guī)
薄膜電容規(guī) 如右圖所示,在不同壓力下金屬膜片受力不同會(huì)有不同尺度的變形,,使得金屬膜片和電極之間的電容變化,,通過(guò)測(cè)量電容的變化量,即可知道金屬膜片上氣壓的變化,。
這種規(guī)的測(cè)量范圍一般橫跨4個(gè)量級(jí),,比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等,。
這種規(guī)的優(yōu)點(diǎn)是靈敏度很高,。缺點(diǎn)是必須在高于環(huán)境溫度的恒溫條件下使用,以消除溫度不同對(duì)膜片力學(xué)性能的影響,,使用前一般需要預(yù)熱數(shù)小時(shí),。
真空計(jì)皮拉尼電阻規(guī)
皮拉尼電阻規(guī) 也叫做熱電阻真空計(jì),它是利用電阻與溫度之間關(guān)系的原理工作的,。
如右圖所示,,由于不同氣壓下氣體分子熱傳導(dǎo)能力不同,當(dāng)給熱絲加恒定的電流時(shí),,由于氣壓不同通過(guò)氣體傳導(dǎo)走的熱量不同,,熱絲所保持的溫度就不同,這導(dǎo)致熱絲電阻大小不同,,通過(guò)測(cè)量熱絲電阻大小就可以推算氣壓大小,。
如果配合電橋測(cè)量熱絲電阻的變化,將有效提高測(cè)量的準(zhǔn)確度,。
這種規(guī)的測(cè)量范圍一般在0.1Pa至1000Pa,。
由于不同氣體在相同氣壓時(shí)導(dǎo)熱性不同,所以這種規(guī)需要在不同的使用氣體下標(biāo)定,。
真空計(jì)熱電偶規(guī)
Oerlikon真空計(jì) 熱電偶規(guī) 如右圖所示,,熱電偶規(guī)與皮拉尼電阻規(guī)基本原理一致,只是它不用測(cè)量熱絲電阻的變化,,而是用熱電偶直接測(cè)量熱比的溫度變化,。
測(cè)量范圍一般與在0.1Pa至1000Pa。
與皮拉尼電阻規(guī)一樣,,這種規(guī)也需要在不同的使用氣體下標(biāo)定,。
真空計(jì)熱陰極電離規(guī)
熱陰極電離規(guī) 如右圖所示,,熱陰極電離規(guī)中,由熱陰極即燈絲發(fā)射電子,,電離真空中的氣體分子,,產(chǎn)生離子,由收集極收集產(chǎn)生的離子,,形成離子電流,,通過(guò)測(cè)量離子電流的大小即可推算出真空中氣體分子的密度,進(jìn)而得到氣壓大小,。
這種規(guī)的測(cè)量范圍一般為1.0E-05Pa至0.1Pa,。
經(jīng)改進(jìn)后的熱陰極電離規(guī),Bayard-Alpert規(guī),,可以將測(cè)量下限降低至1.0E-09Pa,。
由于不同氣體在相同氣壓下的電離率不同,這種規(guī)在使用時(shí)也需要在不同氣體下進(jìn)行標(biāo)定,。
真空計(jì)冷陰極電離規(guī)
冷陰極電離規(guī) 如右圖所示,,冷陰極電離規(guī)也是通過(guò)電離氣體分子收集離子電流的方法進(jìn)行氣壓測(cè)量,但與熱陰極電離規(guī)不同的是,,它是利用磁控放電電離氣體分子產(chǎn)生離子,。
這種規(guī)的測(cè)量范圍一般為1.0E-07Pa至0.1Pa。
與熱陰極電離規(guī)同樣的原因,,這種規(guī)在使用時(shí)需要在不同氣體下標(biāo)定,。
Oerlikon真空計(jì)