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Oerlikon真空計的分類原理介紹
閱讀：1541 發(fā)布時間：2016-12-22Oerlikon真空計的分類原理介紹
按照真空計測量原理所利用的不同的物理機制，可將主要的真空計分為三大類,，分別是利用力學(xué)性能,、利用氣體動力學(xué)效應(yīng)和利用帶電粒子效應(yīng)的真空計,。
利用力學(xué)性能的真空計典型的有波爾登規(guī)（Bourdon）和薄膜電容規(guī)；利用氣體動力學(xué)效應(yīng)的典型真空計有皮拉尼（Pirani）電阻規(guī)和熱電偶規(guī),；利用帶電粒子效應(yīng)的典型真空計有熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī),。 如右圖所示,，細的銅管受氣體壓力不同會有舒展現(xiàn)象,，會帶動杠桿和齒輪旋轉(zhuǎn),，使得指針指示在不同刻度上，即可讀出相應(yīng)的氣壓值,。
這種規(guī)的測量范圍一般在100Pa至1atm,。 如右圖所示，在不同壓力下金屬膜片受力不同會有不同尺度的變形,，使得金屬膜片和電極之間的電容變化,，通過測量電容的變化量，即可知道金屬膜片上氣壓的變化,。
這種規(guī)的測量范圍一般橫跨4個量級,，比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等,。
這種規(guī)的優(yōu)點是靈敏度很高,。缺點是必須在高于環(huán)境溫度的恒溫條件下使用，以消除溫度不同對膜片力學(xué)性能的影響,，使用前一般需要預(yù)熱數(shù)小時,。 也叫做熱電阻真空計，它是利用電阻與溫度之間關(guān)系的原理工作的,。
如右圖所示,，由于不同氣壓下氣體分子熱傳導(dǎo)能力不同，當(dāng)給熱絲加恒定的電流時,，由于氣壓不同通過氣體傳導(dǎo)走的熱量不同,，熱絲所保持的溫度就不同，這導(dǎo)致熱絲電阻大小不同,，通過測量熱絲電阻大小就可以推算氣壓大小,。
如果配合電橋測量熱絲電阻的變化，將有效提高測量的準(zhǔn)確度,。
這種規(guī)的測量范圍一般在0.1Pa至1000Pa,。
由于不同氣體在相同氣壓時導(dǎo)熱性不同，所以這種規(guī)需要在不同的使用氣體下標(biāo)定,。 如右圖所示,，熱電偶規(guī)與皮拉尼電阻規(guī)基本原理一致，只是它不用測量熱絲電阻的變化,，而是用熱電偶直接測量熱比的溫度變化,。
測量范圍一般與在0.1Pa至1000Pa。
與皮拉尼電阻規(guī)一樣,，這種規(guī)也需要在不同的使用氣體下標(biāo)定,。 如右圖所示,，熱陰極電離規(guī)中，由熱陰極即燈絲發(fā)射電子,，電離真空中的氣體分子,，產(chǎn)生離子，由收集極收集產(chǎn)生的離子,，形成離子電流,，通過測量離子電流的大小即可推算出真空中氣體分子的密度，進而得到氣壓大小,。
這種規(guī)的測量范圍一般為1.0E-05Pa至0.1Pa,。
經(jīng)改進后的熱陰極電離規(guī)，Bayard-Alpert規(guī),，可以將測量下限降低至1.0E-09Pa,。
由于不同氣體在相同氣壓下的電離率不同，這種規(guī)在使用時也需要在不同氣體下進行標(biāo)定,。 如右圖所示,，冷陰極電離規(guī)也是通過電離氣體分子收集離子電流的方法進行氣壓測量，但與熱陰極電離規(guī)不同的是,，它是利用磁控放電電離氣體分子產(chǎn)生離子,。
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德國萊寶真空計有：
- 用于測量粗真空的各種工作原理的機械指針式真空表,。
- 各種間接測量的數(shù)顯真空規(guī),，它們是：
- 熱電阻真空規(guī)(皮拉尼規(guī)) TTR91、TTR91S,、TTR96,、TTR96S
- 冷陰極電離真空規(guī)(潘寧規(guī)) PTR225
- 薄膜電容規(guī) CTR100、CTR91
- 薄膜/皮拉尼復(fù)合規(guī) TTR100,、TTR100S
- 冷陰極電離/皮拉尼復(fù)合規(guī) PTR90
- 熱陰極電離/皮拉尼復(fù)合規(guī) ITR90
- 便攜式真空表TM90,、TM100
- 新型Center和Display系列真空計
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