詳細介紹
TEM過濾器公司已成為Porvair過濾集團產(chǎn)品系列的一部分,。 Porvair收購TEM是公司邁向高純度氣體過濾和流量產(chǎn)品激動人心的一步,,這種產(chǎn)品常用于半導體行業(yè)。
TEM為Porvair帶來了從低流量到高流量在線氣體過濾產(chǎn)品的堅實產(chǎn)品線,,這些產(chǎn)品具有PTFE,,316L SS和鎳介質選件,并具有多種行業(yè)標準配件和長度,。
Porvair在博伊西的工廠提供業(yè)界交貨時間和服務,,以滿足微電子終用戶,OEM和工藝材料供應商的迫切需求,。
PORVAIR串聯(lián)過濾器TEM-115-16美國進口
PORVAIR串聯(lián)過濾器專門用于設計用于過濾半導體級惰性氣體和CDA(清潔的干燥空氣),。全焊接組件將提供0.003微米的顆粒保留需要高流量且空間有限的地方。PTFE膜和聚丙烯支撐濾芯封閉在316L不銹鋼電拋光焊接外殼中,。終組裝被清除過濾氮氣以保持初始清潔度,。提供多種配件類型,以方便安裝,。
串聯(lián)過濾器是一種應用于化學實驗室中的溶液過濾裝置,。目前,,國內實驗室在對溶液進行過濾時,,一般采用玻璃材質砂芯過濾裝置,這種方法每次只能過濾一個樣品,,過濾速度慢,,效率低,人工勞動強度大。
氣體流量/壓降
PORVAIR串聯(lián)過濾器TEM-115-16美國進口
應用領域
•通用和工藝惰性設施氣體半導體,,平板顯示器等高純度應用,。
•用于關鍵平板工藝的氣體,包括基板退火,。
•關鍵過程的潔凈干燥空氣(CDA *)包括前開式統(tǒng)一吊艙(FOUP)清潔和光刻,。
技術指標
•3nm濾光片等級
我們的多孔PTFE過濾器可提供有效的顆粒保留效率為0.003μm。
•工作溫度
80°C(176°F)的惰性氣體,。對于CDA,,請咨詢Porvair以獲取建議在60°C(140°F)以上的應用中,過濾器的使用壽命,。
•大工作壓力
在20°C(68°F)下17.2 bar(250psig),。
特征
•PTFE介質/聚丙烯/氟橡膠
結構
1.95米(21英尺2)PTFE過濾介質提供優(yōu)異的流動性和耐化學性。
•電拋光316L外殼過濾器組件具有10Ra電拋光316L不銹鋼外殼,,可防止腐蝕和顆粒形成,。
•潔凈室制造我們的GasPro
™TEM-100過濾器制造于潔凈室,確保無顆?;瘜W干凈且無有機物的裝卸和裝袋提供高度的包裝外清潔度,。額外的預處理是可選的。
•多種配件選擇易于安裝和靈活性,。標準配件選項包括端面/墊片密封(至1英寸),,壓縮,對接焊和NPT特殊配件,,包括三夾(三葉草)衛(wèi)生用品和法蘭類型可能可用,。
•100%氦氣測試經(jīng)過100%氦氣測試,大于1x10-9 atmcc /秒,。
TEM-100零件號和訂購信息
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