詳細介紹
可以*替代美國MKS的瑞士INFICON真空計
INFICON真空計CDG045D 0.1是高精度總壓力測量和控制的蕞佳選擇,可以*替代美國MKS的真空計,。MKS真空計是美國原廠原裝,因為此產品大部分使用在軍工方面,,再加上中美貿易戰(zhàn)的影響,,美方政府限制MKS的真空計進口到現貨,所以之前很多使用美國MKS真空計的用戶們感到非常頭疼,,我司了解到了這樣的情況后,,讓我司高級工程師徐工找了很多品牌的真空計試圖替代美國MKS真空計,反復試驗了很多次之后,,終于找出了一款可以*替代美國MKS真空計的產品,,它就是瑞士INFICON,以下我為大家講解一下瑞士INFICON其中一款真空計CDG045D的原理及用途,!
瑞士INFICON真空計CDG045D的溫度控制在45°C,,具有出色的信號穩(wěn)定性和可重復性。它們可用于50 mTorr至1000 Torr的滿量程范圍,,具有所有常見的法蘭類型和現場總線接口,,并提供線性0至10 V,氣體類型獨立的壓力信號,。INFICON電容式壓力計采用超純氧化鋁陶瓷隔膜,,耐腐蝕。陶瓷傳感器的優(yōu)點是更好的信號穩(wěn)定性,,更快的大氣恢復,,短暫的預熱時間和非凡的使用壽命。INFICON CDG是高質量,,高性價比的壓力傳感器,,適用于要求苛刻的真空應用,。INFICON SKY CDG045D電容式隔膜真空計是Oerlikon Leybold CTR 101變送器的直接替代品。從制造商處獲取原件,,為所有應用程序提供支持和解決方案,。
可以*替代美國MKS的瑞士INFICON真空計,按照真空計測量原理所利用的不同的物理機制,,可將主要的真空計分為三大類,,分別是利用力學性能、利用氣體動力學效應和利用帶電粒子效應的真空計,。利用力學性能的真空計典型的有波爾登規(guī)(Bourdon)和薄膜電容規(guī),;利用氣體動力學效應的典型真空計有皮拉尼(Pirani)電阻規(guī)和熱電偶規(guī);利用帶電粒子效應的典型真空計有熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī),。
瑞士INFICON真空計結構原理圖:
用途
與CTR 101發(fā)射器*兼容
降低CoO(擁有成本),,預熱50%,節(jié)能低功耗
易于集成,,各種滿量程,,法蘭和接口,標準有兩個設定點
輕松一鍵式或遠程信號零點命令,,零點偏移可調
診斷端口,,用于快速維護和維護
兩年保修,更長的使用壽命,,良好的加熱概念和儀表保護
即使在惡劣的等離子應用中,,由于出色的信號穩(wěn)定性和可重復性,也無需長期重新校準
合規(guī)性和標準:CE,,EN,,UL,SEMI,,RoHS
典型應用
蝕刻,,CVD,PVD和其他半導體生產工藝
化學和腐蝕性真空過程
一般的薄膜和真空工藝
用于根據標準監(jiān)測測試儀器的參考傳感器
可追溯性測量的轉移標準
新聞
CDG045D系列可替代CTR 101真空變送器100%掉落?,F在可以使用EtherCAT數字接口,!
零件號 描述
3CC1-351-2300 CDG045D 0.1 Torr; 16 KF
3CC1-353-2300 CDG045D 0.1 Torr; 16-CF
3CC1-359-2300 CDG045D 0.1 Torr; 1 / 2O
3CC1-35E-2300 CDG045D 0.1 Torr; 8 VCR
3CC1-651-2300 CDG045D 1 Torr; 16 KF。
3CC1-653-2300 CDG045D 1 Torr; 16-CF
3CC1-659-2300 CDG045D 1 Torr; 1 / 2O
3CC1-65E-2300 CDG045D 1 Torr; 8 VCR
3CC1-951-2300 CDG045D 10 Torr; 16 KF
3CC1-953-2300 CDG045D 10 Torr; 16-CF
3CC1-959-2300 CDG045D 10 Torr; 1/2" Ø
3CC1-95E-2300 CDG045D 10 Torr; 8 VCR
3 CCl-C51-2300 CDG045D 100 Torr; 16 KF
3 CCl-C53-2300 CDG045D 100 Torr; 16-CF
3 CCl-C59-2300 CDG045D 100 Torr; 1/2" Ø
3 CCl-C5E-2300 CDG045D 100 Torr; 8 VCR
3 CCl-F51-2300 CDG045D 1000 Torr; 16 KF
3 CCl-F53-2300 CDG045D 1000 Torr; 16-CF
3 CCl-F59-2300 CDG045D 1000 Torr; 1/2" Ø
3 CCl-F5E-2300 CDG045D 1000 Torr; 8 VCR