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MKS真空計(jì)的應(yīng)用原理？
閱讀：5037 發(fā)布時(shí)間：2016-10-14
按照mks真空計(jì)測(cè)量原理所利用的不同的物理機(jī)制，可將主要的真空計(jì)分為三大類(lèi),，分別是利用力學(xué)性能,、利用氣體動(dòng)力學(xué)效應(yīng)和利用帶電粒子效應(yīng)的真空計(jì)。
利用力學(xué)性能的真空計(jì)典型的有波爾登規(guī)（Bourdon）和薄膜電容規(guī),；利用氣體動(dòng)力學(xué)效應(yīng)的典型真空計(jì)有皮拉尼（Pirani）電阻規(guī)和熱電偶規(guī),；利用帶電粒子效應(yīng)的典型真空計(jì)有熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī)。
mks真空計(jì)波爾登規(guī)（Bourdon）
波爾登規(guī) 如右圖所示,，細(xì)的銅管受氣體壓力不同會(huì)有舒展現(xiàn)象,，會(huì)帶動(dòng)杠桿和齒輪旋轉(zhuǎn)，使得指針指示在不同刻度上,，即可讀出相應(yīng)的氣壓值,。
mks真空計(jì)是應(yīng)用氣體導(dǎo)熱性能與氣體壓強(qiáng)有關(guān)的原理做的真空計(jì)。利用電橋測(cè)量真空中的電阻變化來(lái)?yè)Q算出真空度,。電阻真空計(jì)也叫皮氏真空計(jì)（皮拉尼）采用ZJ-52電阻規(guī)管,。
該mks真空計(jì)量程較寬、漂移較小,。適用于真空設(shè)備的真空測(cè)量與控制,。
所謂標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)件是只要按照標(biāo)準(zhǔn)文件設(shè)計(jì),、制造、安裝和使用,無(wú)須經(jīng)實(shí)流標(biāo)定即可確定其流量值和估算測(cè)量誤差,。非標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)件是成熟程度較差的,尚未列入標(biāo)準(zhǔn)中的檢測(cè)件,。
總量表測(cè)量一段時(shí)間內(nèi)流過(guò)管道的流量,是以短暫時(shí)間內(nèi)流過(guò)的總量除以該時(shí)間的商來(lái)表示,實(shí)際上流量計(jì)通常亦備有累積流量裝置,做總量表使用,而總量表亦備有流量發(fā)訊裝置。因此,以嚴(yán)格意義來(lái)分流量計(jì)和總量表已無(wú)實(shí)際意義,。按測(cè)量原理分有力學(xué)原理,、熱學(xué)原理、聲學(xué)原理,、電學(xué)原理,、光學(xué)原理、原子物理學(xué)原理等,。mks真空計(jì)是一類(lèi)應(yīng)用zui廣泛的流量計(jì),在各類(lèi)流量?jī)x表中其使用量占居*,。德國(guó)BURKERT寶德流量計(jì)寶德流量計(jì)的種類(lèi)：用以測(cè)量管路中流體流量（單位時(shí)間內(nèi)通過(guò)的流體體積）的儀表。有轉(zhuǎn)子流量計(jì),、節(jié)流式流量計(jì),、細(xì)縫流量計(jì)、容積流量計(jì),、電磁流量計(jì),、超聲波流量計(jì)和堰等。按照目前zui流行,、zui廣泛的分類(lèi)法,即分為:容積式流量計(jì),、差壓式流量計(jì),、浮子流量計(jì),、渦輪流量計(jì)、電磁流量計(jì),、流體振蕩流量計(jì)中的渦街流量計(jì),、質(zhì)量流量計(jì)和插入式流量計(jì)、探針式流量計(jì),，來(lái)分別闡述各種流量計(jì)的原理,、特點(diǎn)、應(yīng)用概況及國(guó)內(nèi)外的發(fā)展情況,。BURKERT流量計(jì)是根據(jù)安裝于管道中流量檢測(cè)件產(chǎn)生的差壓,已知的流體條件和檢測(cè)件與管道的幾何尺寸來(lái)計(jì)算流量的儀表,。
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