X熒光光譜儀(XRF)由激發(fā)源(X射線管)和探測系統(tǒng)構(gòu)成。X射線管產(chǎn)生入射X射線(一次X射線),,激發(fā)被測樣品,。受激發(fā)的樣品中的每一種元素會放射出二次X射線,,并且不同的元素所放射出的二次X射線具有**的能量特性或波長特性。探測系統(tǒng)測量這些放射出來的二次X射線的能量及數(shù)量,。然后,,儀器軟件將探測系統(tǒng)所收集到的信息轉(zhuǎn)換成樣品中各種元素的種類及含量。
近年來,,X熒光光譜分析在各行業(yè)應(yīng)用范圍不斷拓展,,已成為一種廣泛應(yīng)用于冶金,、地質(zhì)、有色,、建材,、商檢、環(huán)保,、衛(wèi)生等各個領(lǐng)域,,特別是在RoHS檢測領(lǐng)域應(yīng)用得多也廣泛。 大多數(shù)分析元素均可用其進行分析,,可分析固體,、粉末、熔珠,、液體等樣品,,分析范圍為Be到U。并且具有分析速度快,、測量范圍寬,、干擾小的特點
X熒光光譜儀基本原理
X射線是一種波長(λ=0.001~10nm)很短的電磁波,其波長介于紫外線和y射線之間,。在高真空的X射線管內(nèi),,當由幾萬伏高電壓加速的一束高速運動的電子流投射到陽極金屬靶(如鎢靶、銅靶等)上時,,電子的動能部分轉(zhuǎn)變成X光輻射能,,并以X射線形式輻射出來。從金屬靶射出的X射線主要由兩類波長,、強度不等的X射線組成,,即連續(xù)X射線譜及特征X射線譜。前者指在X射線波長范圍內(nèi),,由其短波限開始并包括各種X射線波長所組成的光譜,。后者則指當加于X光管的高電壓增至一定的臨界數(shù)值時,使高速運動的電子動能足以激發(fā)靶原子的內(nèi)層電子時,,便產(chǎn)生幾條具一定波長且強度很大的譜線,,并疊加在連續(xù)X射線譜上,由特征X射線組成的光譜稱為特征X射線譜,。
特征X射線譜源自原子內(nèi)層電子的躍遷,。當高速運動的電子激發(fā)原子內(nèi)層電子,而導(dǎo)致X射線的產(chǎn)生,,這種X射線稱為“初級X射線",。若以初級X射線為激發(fā)手段,用以照射寶石樣品,會造成寶石的原子內(nèi)的電子發(fā)生電離,,使內(nèi)層軌道的電子脫離原子,,形成一個電子空位,原子處于“激發(fā)態(tài)",,這樣外層電子就會自動向內(nèi)層躍遷,,填補內(nèi)層電子空位,進而發(fā)射出一定能量的X射線,。由于它的波長和能量與原來照射的X射線不同,,即發(fā)出“次級X射線"。人們將這種由于X射線照射寶石而產(chǎn)生的次級X射線稱X射線熒光,。通常,,X射線熒光只包含特征X射譜線,而缺乏連續(xù)X射線譜,。
當能量高于原子內(nèi)層電子結(jié)合能的高能X射線與原子發(fā)生碰撞時,,驅(qū)逐一個內(nèi)層電子而出現(xiàn)一個空穴,使整個原子體系處于不穩(wěn)定的激發(fā)態(tài),,激發(fā)態(tài)原子壽命約為10-12~10-14秒,,然后自發(fā)地由能量高的狀態(tài)躍遷到能量低的狀態(tài)。這個過程稱為弛豫過程,。弛豫過程既可以是非輻射躍遷,也可以是輻射躍遷,。當較外層的電子躍遷到空穴時,,所釋放的能量隨即在原子內(nèi)部被吸收而逐出較外層的另一個次級光電子,此稱為俄歇效應(yīng),,亦稱次級光電效應(yīng)或無輻射效應(yīng),,所逐出的次級光電子稱為俄歇電子。它的能量是特征的,,與入射輻射的能量無關(guān),。當較外層的電子躍入內(nèi)層空穴所釋放的能量不在原子內(nèi)被吸收,而是以輻射形式放出,,便產(chǎn)生X射線熒光,,其能量等于兩能級之間的能量差。因此,,X射線熒光的能量或波長是特征性的,,與元素有一一對應(yīng)的關(guān)系。圖2-2-1給出了X射線熒光和俄歇電子產(chǎn)生過程示意圖,。
K層電子被逐出后,,其空穴可以被外層中任一電子所填充,從而可產(chǎn)生一系列的譜線,稱為K系譜線,。由L層躍遷到K層輻射的X射線叫Ka射線,,由M層躍遷到K層輻射的X射線叫Kβ射線。同樣,,L層電子被逐出可以產(chǎn)生L系輻射,。如果入射的X射線使某元素的K層電子激發(fā)成光電子后L層電子躍遷到K層,此時就有能量△E釋放出來,,且△E=EK-EL,,這個能量是以X射線形式釋放,產(chǎn)生的就是Ka射線,,同樣還可以產(chǎn)生Kβ射線,、L系射線等。