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掃描電子顯微鏡的工作原理簡述

閱讀:4252        發(fā)布時(shí)間:2021/3/19
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掃描電子顯微鏡 (scanning electron microscope, SEM) 是一種用于高分辨率微區(qū)形貌分析的大型精密儀器 。具有景深大,、分辨率高, 成像直觀,、立體感強(qiáng)、放大倍數(shù)范圍寬以及待測樣品可在三維空間內(nèi)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)和傾斜等特點(diǎn),。另外具有可測樣品種類豐富, 幾乎不損傷和污染原始樣品以及可同時(shí)獲得形貌,、結(jié)構(gòu)、成分和結(jié)晶學(xué)信息等優(yōu)點(diǎn),。目前, 掃描電子顯微鏡已被廣泛應(yīng)用于生命科學(xué),、物理學(xué)、化學(xué),、司法,、地球科學(xué)、材料學(xué)以及工業(yè)生產(chǎn)等領(lǐng)域的微觀研究, 僅在地球科學(xué)方面就包括了結(jié)晶學(xué),、礦物學(xué),、礦床學(xué)、沉積學(xué),、地球化學(xué),、寶石學(xué)、微體古生物,、天文地質(zhì),、油氣地質(zhì)、工程地質(zhì)和構(gòu)造地質(zhì)等。 
掃描電子顯微鏡的工作原理簡述
從電子槍陰極發(fā)出的直徑20µm~30µm的電子束,,受到陰陽極之間加速電壓的作用,,射向鏡筒,經(jīng)過聚光鏡及物鏡的會(huì)聚作用,,縮小成直徑約幾毫微米的電子探針,。在物鏡上部的掃描線圈的作用下,電子探針在樣品表面作光柵狀掃描并且激發(fā)出多種電子信號(hào),。這些電子信號(hào)被相應(yīng)的檢測器檢測,,經(jīng)過放大、轉(zhuǎn)換,,變成電壓信號(hào),,*后被送到顯像管的柵極上并且調(diào)制顯像管的亮度。顯像管中的電子束在熒光屏上也作光柵狀掃描,,并且這種掃描運(yùn)動(dòng)與樣品表面的電子束的掃描運(yùn)動(dòng)嚴(yán)格同步,,這樣即獲得襯度與所接收信號(hào)強(qiáng)度相對(duì)應(yīng)的掃描電子像,這種圖象反映了樣品表面的形貌特征,。第二節(jié)掃描電鏡生物樣品制備技術(shù)大多數(shù)生物樣品都含有水分,,而且比較柔軟,因此,,在進(jìn)行掃描電鏡觀察前,,要對(duì)樣品作相應(yīng)的處理。掃描電鏡樣品制備的主要要**:盡可能使樣品的表面結(jié)構(gòu)保存好,,沒有變形和污染,,樣品干燥并且有良好導(dǎo)電性能,。 

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