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X射線(xiàn)熒光光譜法的定量分析是以熒光X射線(xiàn)的強(qiáng)度為依據(jù)的,，因此,，一切影響X射線(xiàn)熒光光譜儀射線(xiàn)強(qiáng)度的因素都必將影響分析的準(zhǔn)確度,。

1,、基體效應(yīng)

基體效應(yīng)包括吸收效應(yīng)及增強(qiáng)效應(yīng)兩種效應(yīng),。

吸收效應(yīng)包括基體對(duì)入射X射線(xiàn)的吸收及對(duì)熒光X射線(xiàn)的吸收,。因?yàn)橛萌肷鋁射線(xiàn)激發(fā)樣品時(shí),，它不只是作用于樣品表面而且能穿透一定的厚度進(jìn)入樣品內(nèi)部，同樣,，樣品內(nèi)部分析元素產(chǎn)生的熒光X射線(xiàn),，也必須穿過(guò)一定厚度的樣品才能射出。顯然,，在穿透過(guò)程中,，這兩種X射線(xiàn)都會(huì)因基體元素的吸收而使其強(qiáng)度減弱，入射X射線(xiàn)強(qiáng)度的減弱會(huì)影響對(duì)分析元素的激發(fā)效率,，而X射線(xiàn)熒光強(qiáng)度的降低則直接影響分析準(zhǔn)確度,。

若入射X射線(xiàn)使某基體元素激發(fā)所產(chǎn)生的熒光X射線(xiàn)的波長(zhǎng)稍短于分析元素的吸收邊，它便會(huì)使分析元素ipA發(fā)產(chǎn)生二次熒光X射線(xiàn),，從而使分析元素的熒光X射線(xiàn)強(qiáng)度增強(qiáng),，這就是墓體的增強(qiáng)效應(yīng)。

如果吸收效應(yīng)占主導(dǎo)地位,，則分析結(jié)果偏低,，如果增強(qiáng)效應(yīng)占主導(dǎo)地位，則分析結(jié)果偏高,。

2,、不均勻效應(yīng)

不均勻效應(yīng)系指樣品顆粒大小不均勻及樣品表面光潔度對(duì)熒光X射線(xiàn)強(qiáng)度的影響。對(duì)于粉末樣品,，大顆粒吸收效應(yīng)強(qiáng),，小顆粒吸收效應(yīng)弱，因此,，要求顆粒粒度盡量小一些,，以減少對(duì)X射線(xiàn)的吸收。測(cè)員短波X射線(xiàn)時(shí),，一般要求粒度在250目以上,，‘測(cè)量波長(zhǎng)大于0.2nm的長(zhǎng)波x射線(xiàn)時(shí)，則要求粒度在400目以上,。

固體塊狀試樣的喪而一定要磨平拋光,，對(duì)粉末試樣則要求壓實(shí)并使表面平滑。粗糙表面會(huì)使熒光X射線(xiàn)的強(qiáng)度明顯下降,。測(cè)量短波X射線(xiàn)時(shí),，要求光潔度在1005m左右，測(cè)量長(zhǎng)波X射線(xiàn)時(shí),，光潔度為20-50Mm,。