TESCOM 23 系列無彈簧無螺紋調(diào)壓閥

TESCOM 23 系列無彈簧無螺紋調(diào)壓閥
23 系列超高純度直通式調(diào)壓器具有 10 Ra 微英寸的光潔度,，且流通能力高達(dá) 950 SLPM。 23 系列使用束縛閥膜,，采用內(nèi)部無彈簧且無螺紋設(shè)計(jì),，進(jìn)口壓力為 250 psig/17.2 bar，出口壓力可達(dá) 100 psig/6.9 bar,。 非常適用于高流量直通式壓力調(diào)節(jié),，尤其是吹掃應(yīng)用的理想選擇。

規(guī)格

額定壓力

大進(jìn)口壓力：150 或 250 psig/10.3 或 17.2 bar 
出口壓力范圍：0-30,、0-60,、0-100 psig/0-2.1、0-4.1,、0-6.9 bar

材質(zhì)

閥體：經(jīng)電解拋光的 316L VAR 不銹鋼
閥座：Teflon® 或 PCTFE
閥膜和閥桿：316L 不銹鋼
密封和其他部件：316 不銹鋼

工作溫度

Teflon® 閥座：-40°F 至 160°F/-40°C 至 71°C
PCTFE 閥座：-40°F 至 140°F/-40°C 至 60°C

接口尺寸和類型

進(jìn)口和出口：1/4" MVCR,、固定式、1/2" FVCR,、1/2" MVCR,、1/2" 管接口、3/4" 管接口 
壓力表接口：1/4" HPIC,、1/4" FVCR,、1/4" MVCR、固定式,、1/4" MVCR,、旋轉(zhuǎn)式

流通能力：Cv = 1.8

重量：3.2 lbs/1.5 kg

功能

• 光滑、*的流道，可進(jìn)行全面的吹掃
• 由于采用無彈簧和無螺紋結(jié)構(gòu),，因此可減少顆粒的產(chǎn)生
• 全面關(guān)閉密封帶有可定位閥蓋
• 閥膜與閥體密封之間采用金屬對(duì)金屬設(shè)計(jì),，提供較好的密封性
• 符合 SEMI F19、UHP 等級(jí)要求