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光柵根據(jù)測量對象可分為直線光柵（測量直線位移）和圓光柵（測量角位移）,，而根據(jù)光柵尺的用途和材質(zhì)可分為玻璃透射光柵和金屬反射光柵,。根據(jù)刻度方法及信號輸出形式可分為式光柵和增量式光柵。
1）直線光柵
直線透射式光柵是在玻璃表面感光材料的涂層上制成等距光柵條紋,，如圖4-12所示,，相鄰線紋間距d稱為柵距，玻璃透射光柵的特點是：光源可以采用垂直入射,，光敏元件可直接接受光信號,，因此信號幅度大，讀數(shù)頭結(jié)構(gòu)簡單,。
式直線光柵是利用光電轉(zhuǎn)換原理直接將運動部件的位置值以編碼的形式輸出,，即每一個確定位置均有*對應(yīng)的代碼輸出。式直線光柵尺有兩條刻線軌道—增量軌和軌,。
軌用于確定運動部件位置值信息,，對應(yīng)運動部件每個位置有一個固定碼輸出，軌條紋一般采用復(fù)雜的排列算法,，如偽隨機(jī)編碼方式等,，以提高數(shù)據(jù)容量和安全性。增量軌條紋為等距條紋,，用于信號細(xì)分,，提供更高分辨率的信號。
目前,，式直線光柵尺精度可達(dá)±3 µm/m,，分辨率可達(dá)5 nm，廣泛應(yīng)用于各類數(shù)控機(jī)床特別是采用直驅(qū)電機(jī)的高速機(jī)床,。
直線反射式光柵是在鋼尺或鍍金鋼帶鏡面上蝕刻出光柵條紋,。金屬反射光柵的特點是：標(biāo)尺光柵的線膨脹系數(shù)很容易做到與機(jī)床材料一致；標(biāo)尺光柵的安裝和調(diào)整比較方便,；安裝面積較?。灰子诮娱L或制成整根的鋼帶長光柵,；不易碰碎,。目前常用的每毫米條紋數(shù)為40、50,、80以上,，再經(jīng)過細(xì)分電路，分辨率也可達(dá)到微米級到納米級,。
2）圓光柵
圓光柵是在玻璃圓盤的外環(huán)端面上,，做成光柵條紋，條紋呈輻射狀,，相互間夾角（稱為柵距角）相等,。根據(jù)不同的使用要求，在圓周上的條紋數(shù)不相同,。圓光柵一般有六十進(jìn)制,、十進(jìn)制以及二進(jìn)制等多種編碼形式.
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任國強(qiáng)
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