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產(chǎn)品簡介
該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的,，專用于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻（薄層電阻）的專用儀器。
詳細(xì)介紹
| DS/RTS-4型數(shù)字式四探針測試儀是運(yùn)用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備,。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的,，于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻（薄層電阻）的儀器。 儀器由主機(jī),、測試臺(tái),、四探針探頭、計(jì)算機(jī)等部分組成,，測量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示,，亦可由計(jì)算機(jī)控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計(jì)算機(jī)中加以分析，然后以表格,，圖形方式統(tǒng)計(jì)分析顯示測試結(jié)果,。 儀器采用了電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)、裝配,。具有功能選擇直觀,、測量取數(shù)快、精度高,、測量范圍寬,、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊,、易操作等特點(diǎn),。 本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠,、科研單位,、高等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能測試。 | ||||||||||||||||||||||
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| DS/ RTS-4型四探針軟件測試系統(tǒng)是一個(gè)運(yùn)行在計(jì)算機(jī)上擁有友好測試界面的用戶程序,，通過此測試程序輔助使用戶簡便地進(jìn)行各項(xiàng)測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析,。 測試程序控制四探針測試儀進(jìn)行測量并采集測試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析,，然后把測試數(shù)據(jù)以表格,，圖形直觀地記錄、顯示出來,。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，讓用戶對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析 | ||||||||||||||||||||||
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| 技 術(shù) 指 標(biāo) ： | ||||||||||||||||||||||
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