四探針電阻率/方阻測試儀（以下簡稱電阻率測試儀）是用來測量半導(dǎo)體材料（主要是硅單晶,、鍺單晶,、硅片）電阻率，以及擴(kuò)散層,、外延層,、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠方塊電阻的測量儀器,。它主要由電氣測量部份（簡稱：主機(jī)）,、測試架及四探針頭組成。
本儀器的特點(diǎn)是主機(jī)配置雙數(shù)字表,，在測量電阻率的同時,，另一塊數(shù)字表（以萬分之幾的精度）適時監(jiān)測全程的電流變化，免除了測量電流/測量電阻率的轉(zhuǎn)換,，更及時掌控測量電流,。主機(jī)還提供精度為0.05%的恒流源，使測量電流高度穩(wěn)定,。本機(jī)配有恒流源開關(guān),，在測量某些箔層材料時,，可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發(fā)生，更好地保護(hù)箔膜,。儀器配置了本公司的產(chǎn)品：“小游移四探針頭”,，探針游移率在0.1～0.2%。保證了儀器測量電阻率的重復(fù)性和準(zhǔn)確度,。本機(jī)如加配HQ-710E數(shù)據(jù)處理器,，測量硅片時可自動進(jìn)行厚度、直徑,、探針間距的修正,，并計(jì)算、打印出硅片電阻率,、徑向電阻率的zui大百分變化,、平均百分變化、徑向電阻率不均習(xí)庋,。給測量帶來很大方便,。
2、主機(jī)技術(shù)能數(shù)
（1）測量范圍：
可測電阻率：0.0001～19000Ω•cm
可測方塊電阻：0.001～1900Ω•□
（2）恒流源：
輸出電流：DC 0.001～100mA 五檔連續(xù)可調(diào)
量程：0.001～0.01mA
0.01～0.10mA
0.10～1.0mA
1.0～10mA
10～100mA
恒流精度：各檔均低于±0.05%
（3）直流數(shù)字電壓表：
測量范圍：0～199.99mV
靈敏度：10μV
基本誤差：±（0.004%讀數(shù)+0.01%滿度）
輸出電源：≥1000ΩM
（4）供電電源：
AC 220V±10% 50/60 Hz 功率：12W
（5）使用環(huán)境：
溫度：23±2℃ 相對濕度：≤65%
無較強(qiáng)的電場干擾,，無強(qiáng)光直接照射
（6）重量,、體積：
主機(jī)重量：7.5kg
體積：365×380×160（單位：mm 長度×寬度×高度）

備注：
等級測量時（測電阻率），精度<3%
電氣測量時（測電阻）,，精度在0.3%以內(nèi)

備注：
儀器包括：主機(jī)一臺,；測試架（包括臺面）一個；四探針頭4個