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產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
雙電測四探針測試儀（主機(jī),，S2A 測試臺,，F(xiàn)T201探頭，帶軟件）
貨號：PN000137
產(chǎn)品資料
雙電測四探針測試儀（主機(jī),，S2A 測試臺,，F(xiàn)T201探頭，帶軟件）
采用了四探針雙電測組合(亦稱雙位組合)測量新技術(shù),將范德堡測量方法推廣應(yīng)用到直線四探針上,利用電流探針,、電壓探針的變換,，在計算機(jī)控制下進(jìn)行兩次電測量，能自動消除樣品幾何尺寸,、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對測量結(jié)果的影響,。因而每次測量不必知道探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置,。由于每次測量都是對幾何因素的影響進(jìn)行動態(tài)的自動修正,，因此顯著降低了幾何因素影響，從而提高了測量結(jié)果的準(zhǔn)確度,。所有這些,，用目前大量使用的常規(guī)四探針測量方法所生產(chǎn)的儀器是無法實(shí)現(xiàn)的。
測試程序控制四探針測試儀進(jìn)行測量并實(shí)時采集兩次組合模式下的測試數(shù)據(jù),，把采集到的數(shù)據(jù)在計算機(jī)中加以分析,，然后把測試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄,、顯示出來,。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中,，讓用戶對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析
測量范圍 | 電阻率：10-5～105 Ω.cm(可擴(kuò)展),； 方塊電阻：10-4～106 Ω/□(可擴(kuò)展)；電導(dǎo)率：10-5～105 s/cm,； 電阻：10-5～105 Ω,； |
可測晶片厚度 | ≤3mm |
可測晶片直徑 | 140mmX150mm(配S-2A型測試臺)； |
恒流源 | 電流量程分為1μA、10μA,、100μA,、1mA、10mA,、100mA六檔,，各檔電流連續(xù)可調(diào) |
數(shù)字電壓表 | 量程及表示形式：000.00～199.99mV,； |
四探針探頭基本指標(biāo) | 間距：1±0.01mm； |
四探針探頭應(yīng)用參數(shù) | (見探頭附帶的合格證) |
模擬電阻測量相對誤差 | 0.01Ω,、0.1Ω、1Ω,、10Ω,、100Ω、1000Ω,、10000Ω≤0.3%±1字 |
整機(jī)測量大相對誤差 | (用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±4% |
整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度 | ≤4% |
計算機(jī)通訊接口 | 并口 |
標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境 | 溫度：23±2℃,； |