射頻磁控濺射鍍膜裝置
主要用途:本設(shè)備主要用于大專院校研究和開發(fā)納米級單層膜;如各種硬質(zhì)膜,、金屬膜,;也可以是非金屬、化合物等薄膜材料,??梢赃M行直接濺射,亦可以實現(xiàn)反應(yīng)濺射,。
射頻磁控濺射鍍膜裝置
主要特點:結(jié)構(gòu)簡捷、操作簡便,,真空度維護高,,安全可靠。
鍍膜機應(yīng)安裝在干凈無塵埃,、無腐蝕性氣體的室內(nèi),,并具備清潔水源、及220V的穩(wěn)定電壓等條件的地方,。
1,、地面的基本水平度要經(jīng)過調(diào)整,不得高低不平;
2,、環(huán)境溫度:10℃~30℃,;
3、相對濕度:不大于75%,;
4,、耗水量(進水溫度≤25℃,2.5Kg≥水壓≥1.5Kg):約0.2T/h,;
5,、水質(zhì)要求:
矽酸硬度<6度,PH值:7-8,,電導率:200us/cm,沉積率:<200mg/L,。
6、電壓: 220V,,50HZ,,
電壓波動范圍: 198~231V;
頻率波動范圍:49~51Hz;
7,、水壓:0.3~1Kg/cm2或0.03~0.1MPa/cm2;
8,、充入氣體純度99.9%或以上;
9、鍍膜用耗材純度99.9%或以上,。
設(shè)備規(guī)格參數(shù)
1.1,、濺射處理室:
1、鐘罩:內(nèi)徑225mm×高度260mm,;
2,、試樣臺:直徑80mm();
3,、試樣旋轉(zhuǎn):靜止,;
4、擋板:手動,;
5,、襯底加熱器:不銹鋼加熱器(DC24V);
6,、襯底溫度范圍:室溫~200℃,;
7、襯底可調(diào)距離:20mm~60mm,;
8,、濺射室限真空:0.5Pa
1.2、真空系統(tǒng):
1,、抽氣系統(tǒng):由機械泵組成的一級真空系統(tǒng),;抽氣速率:4升/S
2、真空檢測:電阻真空計、電阻規(guī),;
3,、常用真空度:1~20Pa
4、操作:手動
1.3,、濺射電源:
1,、射頻電源:頻率13.560MHZ,功率:500W,用表指示,;
2,、阻抗匹配器范圍:(2.7~45)Ω-j(0~70)Ω;
3,、供電:AC 220V,;
4、冷卻方式:風冷,;
1.4,、 磁控靶:
1、靶材直徑:Ф50mm,、 一個永磁靶,;
2、靶材厚度:3~6mm,;
1.5,、進氣系統(tǒng):2路轉(zhuǎn)子流量計進氣,
1.6,、電源要求:AC 220V 50Hz 10A
1.7,、氣體要求:氬氣--純度99.9%(樣品有特殊要求時使用高純)
1.8、冷卻要求:靶體水冷,,濺射電源風冷
1.9,、體積重量:體積:L550mm×W680mm×H1480mm;約120kg
![]() | 產(chǎn)品名稱:粗糙度儀 便攜式表面粗糙度儀 產(chǎn)品型號: RL100 |
粗糙度儀/便攜式表面粗糙度儀 型號:RL100
RL100是我公司推出的新一代粗糙度儀,,也叫袖珍便攜式表面粗糙度儀,。它具有測量精度高、測量范圍寬,、操作簡便,、便于攜帶、工作穩(wěn)定等特點,,可以廣泛應(yīng)用于各種金屬與非金屬的加工表面的檢測,該粗糙度儀是傳感器主機一體化的袖珍式粗糙度儀,,具有手持式特點,,更適宜在生產(chǎn)現(xiàn)場使用。外形采用拉鋁模具設(shè)計,堅固耐用,,抗電磁干擾能力顯著,,符合當今設(shè)計新趨勢。
優(yōu)點:
用優(yōu)化的電路設(shè)計及傳感器結(jié)構(gòu)設(shè)計,將電箱,、驅(qū)動器及顯示部分合為一體,,使其達到高度集成化;任意選擇Ra,、Rz,、Rq、Rt測量參數(shù),;不僅可以測量外圓,、平面、錐面,,還可測長寬大于80×30mm的溝槽,。
功能特點:
采用高速DSP處理器進行數(shù)據(jù)處理和計算,測量和運算速度大提高,。顯示液晶采用流行的OLED顯示屏,,高亮度,無視角,,寬溫度,,適合各種場合使用。
采用鋰離子充電電池,,可長時間工作,,無記憶效應(yīng),可邊充電邊工作,,充電時間短,,電池壽命長。
使用通用的USB接口進行充電和通訊,。采用的充電器或計算機的USB口進行充電,,方便快捷。
點陣液晶顯示,,界面提示信息豐富,。
實時監(jiān)測鋰電電池電量并顯示,及時提醒用戶進行充電并具有充電進度提示,。
自動關(guān)機功能以及低功耗軟硬件設(shè)計使儀器工作時間長,,適合各種現(xiàn)場使用。
傳感器測頭具有保護門,,有效的保護了傳感器測頭,,保證了測量的精度,。
工作原理:
當傳感器在驅(qū)動機構(gòu)的驅(qū)動下沿被測表面作勻速直線運動時,其內(nèi)部垂直于工作表面的觸針隨工作表面的微觀不平輪廓產(chǎn)生垂直方向的位移,,再通過傳感器將位移變化量轉(zhuǎn)換成電量的變化,,將該電信號進行放大,濾波,,經(jīng)A/D轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號,,再經(jīng)DSP處理,計算出Ra,、Rz值并顯示,。
技術(shù)參數(shù):
測量參數(shù)(μm ):Ra、Rz,、Rq,、Rt
行程長度(mm):6
取樣長度(mm):0.25 ,0.80 ,,2.50
評定長度(mm):1.25 ,,4.0 ,
測量范圍(μm ):
Ra: 0.05 ~ 10.0
Rz: 0.1 ~ 50
示值誤差:±15%
示值變動性: <12%
傳感器觸針針尖圓弧半徑及角度:
針尖圓弧半徑:10 μm±1 μm
傳感器觸針靜測力及其變化率:
觸針靜測力: ≤ 0.016N
測力變化率: ≤ 800N/m
傳感器導頭壓力: ≤ 0.5N
電池:3.7V鋰離子電池
外形尺寸:106 mm×70 mm×24 mm
重量:200g
工作環(huán)境條件:
溫 度: -20℃~40℃
相對濕度: < 90%
周圍無振動,、無腐蝕性介質(zhì)
日常維護與保養(yǎng):
避免碰撞,、劇烈震動、重塵,、潮濕,、油污、強磁場等情況,;
每次測量完畢,,要及時關(guān)掉電源,以保持電池能量,,并應(yīng)及時對電池進行充電,;
傳感器是儀器的精密部件,切記精心維護,。每次使用完畢,,要將儀器的保護蓋輕輕蓋好。避免對傳感器造成劇烈的振動,;隨機標準樣板應(yīng)精心保護,,以免劃傷后造成校準儀器失準