射頻磁控濺射鍍膜裝置 

主要用途：本設(shè)備主要用于大專院校研究和開發(fā)納米級(jí)單層膜；如各種硬質(zhì)膜,、金屬膜,；也可以是非金屬、化合物等薄膜材料,?？梢赃M(jìn)行直接濺射，亦可以實(shí)現(xiàn)反應(yīng)濺射,。

射頻磁控濺射鍍膜裝置 

主要特點(diǎn)：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)捷,、操作簡(jiǎn)便，真空度維護(hù)高,，安全可靠,。

鍍膜機(jī)應(yīng)安裝在干凈無塵埃、無腐蝕性氣體的室內(nèi),，并具備清潔水源,、及220V的穩(wěn)定電壓等條件的地方。

1,、地面的基本水平度要經(jīng)過調(diào)整,，不得高低不平；

2,、環(huán)境溫度：10℃～30℃,；

3、相對(duì)濕度：不大于75%,；

4,、耗水量（進(jìn)水溫度≤25℃,，2.5Kg≥水壓≥1.5Kg）：約0.2T/h；

5,、水質(zhì)要求：

矽酸硬度<6度,，PH值：7－8，電導(dǎo)率：200us/cm,沉積率：<200mg/L,。

6,、電壓： 220V，50H_Z,，

電壓波動(dòng)范圍： 198～231V,；

頻率波動(dòng)范圍：49～51Hz;

7、水壓：0.3～1Kg/cm²或0.03～0.1MPa/cm²;

8,、充入氣體純度99.9%或以上;

9,、鍍膜用耗材純度99.9%或以上。

設(shè)備規(guī)格參數(shù)

1.1,、濺射處理室：

       1,、鐘罩：內(nèi)徑225mm×高度260mm；

       2,、試樣臺(tái)：直徑80mm（）,；

       3、試樣旋轉(zhuǎn)：靜止,；

       4,、擋板：手動(dòng)；

       5,、襯底加熱器：不銹鋼加熱器（DC24V）,；

       6、襯底溫度范圍：室溫～200℃,；

       7,、襯底可調(diào)距離：20mm～60mm；

       8,、濺射室限真空：0.5Pa

1.2,、真空系統(tǒng)：

       1、抽氣系統(tǒng)：由機(jī)械泵組成的一級(jí)真空系統(tǒng),；抽氣速率：4升/S

       2,、真空檢測(cè)：電阻真空計(jì)、電阻規(guī),；

       3、常用真空度：1～20Pa

       4,、操作：手動(dòng)

1.3,、濺射電源：

1,、射頻電源：頻率13.560MHZ,功率：500W，用表指示,；

2,、阻抗匹配器范圍：（2.7～45）Ω-j（0～70）Ω； 

3,、供電：AC 220V,；

4、冷卻方式：風(fēng)冷,；

  1.4,、 磁控靶：

1、靶材直徑：Ф50mm,、 一個(gè)永磁靶,；

2、靶材厚度：3～6mm,；

1.5,、進(jìn)氣系統(tǒng)：2路轉(zhuǎn)子流量計(jì)進(jìn)氣，

1.6,、電源要求：AC 220V  50Hz  10A

1.7,、氣體要求：氬氣--純度99.9%（樣品有特殊要求時(shí)使用高純）

1.8、冷卻要求：靶體水冷,，濺射電源風(fēng)冷

1.9,、體積重量：體積：L550mm×W680mm×H1480mm；約120kg

產(chǎn)品名稱：粗糙度儀 便攜式表面粗糙度儀  產(chǎn)品型號(hào)： RL100

粗糙度儀/便攜式表面粗糙度儀 型號(hào)：RL100

RL100是我公司推出的新一代粗糙度儀,，也叫袖珍便攜式表面粗糙度儀,。它具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍寬,、操作簡(jiǎn)便,、便于攜帶、工作穩(wěn)定等特點(diǎn),，可以廣泛應(yīng)用于各種金屬與非金屬的加工表面的檢測(cè),，該粗糙度儀是傳感器主機(jī)一體化的袖珍式粗糙度儀，具有手持式特點(diǎn),，更適宜在生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)使用,。外形采用拉鋁模具設(shè)計(jì)，堅(jiān)固耐用,，抗電磁干擾能力顯著,，符合當(dāng)今設(shè)計(jì)新趨勢(shì)。 
優(yōu)點(diǎn): 
用優(yōu)化的電路設(shè)計(jì)及傳感器結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),將電箱,、驅(qū)動(dòng)器及顯示部分合為一體,，使其達(dá)到高度集成化,；任意選擇Ra、Rz,、Rq,、Rt測(cè)量參數(shù)；不僅可以測(cè)量外圓,、平面,、錐面，還可測(cè)長(zhǎng)寬大于80×30mm的溝槽,。 

功能特點(diǎn)： 
采用高速DSP處理器進(jìn)行數(shù)據(jù)處理和計(jì)算,，測(cè)量和運(yùn)算速度大提高。顯示液晶采用流行的OLED顯示屏,，高亮度,，無視角，寬溫度,，適合各種場(chǎng)合使用,。 
采用鋰離子充電電池，可長(zhǎng)時(shí)間工作,，無記憶效應(yīng),，可邊充電邊工作，充電時(shí)間短,，電池壽命長(zhǎng),。 
使用通用的USB接口進(jìn)行充電和通訊。采用的充電器或計(jì)算機(jī)的USB口進(jìn)行充電,，方便快捷,。 
點(diǎn)陣液晶顯示，界面提示信息豐富,。 
實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)鋰電電池電量并顯示,，及時(shí)提醒用戶進(jìn)行充電并具有充電進(jìn)度提示。 
自動(dòng)關(guān)機(jī)功能以及低功耗軟硬件設(shè)計(jì)使儀器工作時(shí)間長(zhǎng),，適合各種現(xiàn)場(chǎng)使用,。 
傳感器測(cè)頭具有保護(hù)門，有效的保護(hù)了傳感器測(cè)頭,，保證了測(cè)量的精度,。 
  
工作原理： 
  當(dāng)傳感器在驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)下沿被測(cè)表面作勻速直線運(yùn)動(dòng)時(shí)，其內(nèi)部垂直于工作表面的觸針隨工作表面的微觀不平輪廓產(chǎn)生垂直方向的位移,，再通過傳感器將位移變化量轉(zhuǎn)換成電量的變化,，將該電信號(hào)進(jìn)行放大，濾波,，經(jīng)A/D轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào),，再經(jīng)DSP處理,，計(jì)算出Ra、Rz值并顯示,。 
技術(shù)參數(shù)： 
測(cè)量參數(shù)（μm ）：Ra、Rz,、Rq,、Rt 
行程長(zhǎng)度（mm）：6 
取樣長(zhǎng)度（mm）：0.25 ，0.80 ,，2.50 
評(píng)定長(zhǎng)度（mm）：1.25 ,，4.0 ， 
測(cè)量范圍（μm ）：  
                Ra：    0.05 ~ 10.0 
                Rz：     0.1 ~ 50 
示值誤差：±15% 
示值變動(dòng)性： ＜12% 
傳感器觸針針尖圓弧半徑及角度： 
                針尖圓弧半徑：10 μm±1 μm  
傳感器觸針靜測(cè)力及其變化率： 
                觸針靜測(cè)力：    ≤ 0.016N 
                測(cè)力變化率：    ≤ 800N/m 
傳感器導(dǎo)頭壓力： ≤ 0.5N 
電池：3.7V鋰離子電池 
外形尺寸：106 mm×70 mm×24 mm 
重量：200g 
工作環(huán)境條件: 
                溫    度：  -20℃～40℃ 
                相對(duì)濕度：   <  90% 
                周圍無振動(dòng),、無腐蝕性介質(zhì) 
  
日常維護(hù)與保養(yǎng)： 
避免碰撞,、劇烈震動(dòng)、重塵,、潮濕,、油污、強(qiáng)磁場(chǎng)等情況,； 
每次測(cè)量完畢,，要及時(shí)關(guān)掉電源，以保持電池能量,，并應(yīng)及時(shí)對(duì)電池進(jìn)行充電,； 
傳感器是儀器的精密部件，切記精心維護(hù),。每次使用完畢,，要將儀器的保護(hù)蓋輕輕蓋好。避免對(duì)傳感器造成劇烈的振動(dòng),；隨機(jī)標(biāo)準(zhǔn)樣板應(yīng)精心保護(hù),，以免劃傷后造成校準(zhǔn)儀器失準(zhǔn)