射頻磁控濺射鍍膜裝置 

型號,；KY-HRM-1

產(chǎn)品編號：TC-003271

可開設的實驗

1、掌握射頻磁控濺射法制膜的基本原理,；

2,、了解磁控濺射鍍膜儀的操作過程及使用范圍；

3,、磁控濺射法制備金屬膜,、半導體膜、化合物膜,、介質(zhì)膜等薄膜,。

主要技術參數(shù)

    1、濺射鍍膜室：由不銹鋼底與玻璃鐘罩組成；有效尺寸：Φ220×H230mm³,；

    2,、濺射鍍膜室本底真空：≤1Pa；濺射腔限真空：6×10^-1Pa,；

    3,、濺射靶：Φ50mm,，濺射靶臺和濺射靶可調(diào)距離：20～60mm,；

    4、基片加熱溫度可控范圍：室溫～300℃,；

5,、射頻源功率：500W，13.56MHz,；

6,、氣路系統(tǒng)：由兩路轉(zhuǎn)子流量計控制（可選配質(zhì)量流量計）；

    7,、真空系統(tǒng)：2XZ-4型旋片真空泵,，抽氣速率：4L/S，單相220V交流電源供電,；

    8,、對過流過壓、斷路等異常情況進行報警,，并執(zhí)行相應保護措施,；

    9、供電電源：AC220V,，50Hz,，整機功率2KW。

射頻磁控濺射鍍膜裝置 型號：RT-RM-1

主要用途：本設備主要用于大專院校研究和開發(fā)納米級單層膜,；如各種硬質(zhì)膜,、金屬膜；也可以是非金屬,、化合物等薄膜材料,。可以進行直接濺射,，亦可以實現(xiàn)反應濺射,。

主要特點：結構簡捷、操作簡便,，真空度維護高,，安全可靠。

鍍膜機應安裝在干凈無塵埃、無腐蝕性氣體的室內(nèi),，并具備清潔水源,、及220V的穩(wěn)定電壓等條件的地方。

1,、地面的基本水平度要經(jīng)過調(diào)整,，不得高低不平；

2,、環(huán)境溫度：10℃～30℃,；

3、相對濕度：不大于75%,；

4,、耗水量（進水溫度≤25℃，2.5Kg≥水壓≥1.5Kg）：約0.2T/h,；

5,、水質(zhì)要求：

矽酸硬度<6度，PH值：7－8,，電導率：200us/cm,沉積率：<200mg/L,。

6、電壓： 220V,，50H_Z,，

電壓波動范圍： 198～231V；

頻率波動范圍：49～51Hz;

7,、水壓：0.3～1Kg/cm²或0.03～0.1MPa/cm²;

8,、充入氣體純度99.9%或以上;

9、鍍膜用耗材純度99.9%或以上,。

設備規(guī)格參數(shù)

1.1,、濺射處理室：

       1、鐘罩：內(nèi)徑225mm×高度260mm,；

       2,、試樣臺：直徑80mm（zui大）；

       3,、試樣旋轉(zhuǎn)：靜止,；

       4、擋板：手動,；

       5,、襯底加熱器：不銹鋼加熱器（DC24V）；

       6,、襯底溫度范圍：室溫～200℃,；

       7,、襯底可調(diào)距離：20mm～60mm；

       8,、濺射室限真空：0.5Pa

1.2,、真空系統(tǒng)：

       1、抽氣系統(tǒng)：由機械泵組成的一級真空系統(tǒng),；抽氣速率：4升/S

       2,、真空檢測：電阻真空計、電阻規(guī),；

       3,、常用真空度：1～20Pa

       4、操作：手動

1.3,、濺射電源：

1,、射頻電源：頻率13.560MHZ,功率：500W，用表指示,；

2、阻抗匹配器范圍：（2.7～45）Ω-j（0～70）Ω,； 

3,、供電：AC 220V；

4,、冷卻方式：風冷,；

  1.4、 磁控靶：

1,、靶材直徑：Ф50mm,、 一個永磁靶；

2,、靶材厚度：3～6mm,；

1.5、進氣系統(tǒng)：2路轉(zhuǎn)子流量計進氣,，

1.6,、電源要求：AC 220V  50Hz  10A

1.7、氣體要求：氬氣--純度99.9%(樣品有特殊要求時使用高純)

1.8,、冷卻要求：靶體水冷,，濺射電源風冷

1.9、體積重量：體積：L550mm×W680mm×H1480mm,；約120kg

產(chǎn)品名稱：基本型電解雙噴儀  產(chǎn)品型號：TJ100-BE

基本型電解雙噴儀  型號：TJ100-BE

TJ100－BE型電解雙噴儀是一款簡單實用的基本型電解雙噴減薄設備,。采購磁子驅(qū)動電解液涌流進行噴射拋光，拋光電壓,、破孔感光值,、泵流速度旋扭可調(diào),，具有穿孔自動報警功能。能夠使用少量電解液,，液氮冷卻方式,，簡單快速方便地進行金屬的電鏡樣品制備。 

產(chǎn)品性能特點: 
　 加液氮制冷方式,，控制盒與電解槽分開控制,，拋光破孔自動報警 
　拋光電壓、電流值液晶數(shù)字顯示 
　拋光電壓,、破孔感光值及泵流速度旋鈕可調(diào) 
　磁力涌流式噴射拋光,，進口PVC材料整體成型加工，無泄漏風險 
　直流無刷驅(qū)動電機封閉隔離式設計,，電機使用壽命長,，穩(wěn)定性好 
　電解電壓范圍:0-110V，電解電流:0-2A