四探針電阻率分析儀

產(chǎn)品編號(hào)：TC-000289

QT-RTS-4型數(shù)字式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用四探針測(cè)量原理的多用途綜合測(cè)量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測(cè)試方法標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的,，于測(cè)試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻（薄層電阻）的儀器,。
 四探針電阻率分析儀   儀器由主機(jī)、測(cè)試臺(tái),、四探針探頭、計(jì)算機(jī)等部分組成,，測(cè)量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示,，亦可由計(jì)算機(jī)控制測(cè)試采集測(cè)試數(shù)據(jù)到計(jì)算機(jī)中加以分析，然后以表格,，圖形方式統(tǒng)計(jì)分析顯示測(cè)試結(jié)果,。
    儀器采用了電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)、裝配,。具有功能選擇直觀(guān),、測(cè)量取數(shù)快、精度高,、測(cè)量范圍寬,、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊,、易操作等特點(diǎn),。
    本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠(chǎng)、半導(dǎo)體器件廠(chǎng),、科研單位、高等院校對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能測(cè)試,。
QT-RTS-4型四探針軟件測(cè)試系統(tǒng)是一個(gè)運(yùn)行在計(jì)算機(jī)上擁有友好測(cè)試界面的用戶(hù)程序,，通過(guò)此測(cè)試程序輔助使用戶(hù)簡(jiǎn)便地進(jìn)行各項(xiàng)測(cè)試及獲得測(cè)試數(shù)據(jù)并對(duì)測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析。
    測(cè)試程序控制四探針測(cè)試儀進(jìn)行測(cè)量并采集測(cè)試數(shù)據(jù),，把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析,，然后把測(cè)試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀(guān)地記錄,、顯示出來(lái),。用戶(hù)可對(duì)采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中,，讓用戶(hù)對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析
技術(shù)參數(shù)：
 測(cè)量范圍 電阻率：0.001～200Ω.cm（可擴(kuò)展）,；  
 方塊電阻：0.01～2000Ω/□（可擴(kuò)展）； 
 電導(dǎo)率：0.005～1000 s/cm,； 
 電阻：0.001～200Ω.cm,； 

可測(cè)晶片直徑 140mmX150mm（配S-2A型測(cè)試臺(tái)）；
 200mmX200mm（配S-2B型測(cè)試臺(tái)）,；
 400mmX500mm（配S-2C型測(cè)試臺(tái)）,；
恒流源 電流量程分為0.1mA,、1mA、10mA,、100mA四檔,，各檔電流連續(xù)可調(diào)
數(shù)字電壓表 量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　
 分辨力：10μV,；
 輸入阻抗：>1000MΩ,；
 精度：±0.1% ；
 顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示,；性,、量程自動(dòng)顯示；
四探針探頭基本指標(biāo) 間距：1±0.01mm,；
 針間緣電阻：≥1000MΩ,； 
 機(jī)械游移率：≤0.3%；
 探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm,；
 探針壓力：5～16 牛頓（總力）,；
四探針探頭應(yīng)用參數(shù) （見(jiàn)探頭附帶的合格證）
模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤差
（ 按JJG508-87進(jìn)行） 0.1Ω、1Ω,、10Ω,、100Ω小于等于0.3%±1字
整機(jī)測(cè)量zui大相對(duì)誤差（用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測(cè)試）≤±5%
整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度 ≤5%
計(jì)算機(jī)通訊接口 并口
標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境 溫度：23±2℃；
 相對(duì)濕度：≤65%,；
 無(wú)高頻干擾,；
 無(wú)強(qiáng)光直射；

產(chǎn)品名稱(chēng)：矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀 產(chǎn)品型號(hào)： TD3618C

 矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀 型號(hào)： TD3618C

TD3618C/TD3616C矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀由新技術(shù)的高精度合成信號(hào)源,、窄帶接收機(jī),、高速嵌入式計(jì)算機(jī)和Windows操作系統(tǒng)組成.它具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快和測(cè)量適應(yīng)能力強(qiáng)等特點(diǎn),，Windows操作界面更具人性化,可適用于射頻元件及設(shè)備的大批量生產(chǎn)和制造領(lǐng)域的測(cè)量應(yīng)用,，具有高的性?xún)r(jià)比。 
TD3618C/TD3616C矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀具有強(qiáng)大的測(cè)量功能,主要應(yīng)用于無(wú)線(xiàn)通信,、廣播電視,、教育、科研等領(lǐng)域, 可對(duì)放大器,、同軸電纜,、功分器、合路器,、天線(xiàn),、耦合器、濾波器,、隔離器,、分支分配器,、晶體、聲表等RF器件S參數(shù)的幅頻特性,、反射特性,、相位特牲、延遲特性等進(jìn)行*測(cè)量. 例如能對(duì)RF器件的插入損耗,、衰減,、隔離、增益,、頻響,、帶內(nèi)平坦度、相位,、群延時(shí),、回波損耗、SWR,、特性阻抗,、3dB帶寬、帶外抑制,、阻帶帶寬,、矩形系數(shù)等指標(biāo)進(jìn)行快速準(zhǔn)確測(cè)量。 

★ 系統(tǒng)阻抗：50Ω或75Ω,，75Ω阻抗適合CATV用戶(hù)使用,。 
★ 儀器使用界面：中文或英文，滿(mǎn)足不同用戶(hù)需求,。 
★ 雙端口測(cè)試,。可同時(shí)測(cè)試兩端口器件的4個(gè)S參數(shù)（S11,、S21、S12,、S22 ）,，大提高測(cè)試效率。  
★ Windows操作界面,，10.4英寸的TFT彩色液晶顯示屏,，觸摸屏，顯示清晰,，操作簡(jiǎn)單快捷,。 
★ 4個(gè)獨(dú)立的測(cè)量通道，每個(gè)通道可獨(dú)立設(shè)置源參數(shù)（如頻率,、功率等）,，滿(mǎn)足用戶(hù)對(duì)同一器件的不同條件下的測(cè)試,。 
★ 具有存貯/調(diào)用功能，方便用戶(hù)將測(cè)量結(jié)果保存在硬盤(pán)或U盤(pán)上,。 
★ 可以用宏指令進(jìn)行VBA編程,，進(jìn)行自動(dòng)控制測(cè)試。 
★ GPIB接口,，方便用戶(hù)組成自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng),。 
★ LAN接口，方便用戶(hù)連接局域網(wǎng),，無(wú)線(xiàn)網(wǎng)卡,，從而方便用戶(hù)進(jìn)行遠(yuǎn)程數(shù)據(jù)傳輸。 
LAN接口還和GPIB接口一樣,，方便用戶(hù)組成自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng),。 
★ 數(shù)據(jù)格式：對(duì)數(shù)、相位,、群延遲,、史密斯圓圖、坐標(biāo),、線(xiàn)性,、SWR、實(shí)部,、虛部,、擴(kuò)展相位、正相位等,。 
★ 多種掃描模式：線(xiàn)性?huà)呙?、?duì)數(shù)掃描、分段掃描,、功率掃描,。 
★ 觸發(fā)方式：連續(xù)、單次,、保持,。 
★ 強(qiáng)大的分析功能 
◆限測(cè)試：具有限測(cè)試、波動(dòng)限測(cè)試,、帶寬限測(cè)試等測(cè)試功能,，方便用戶(hù)進(jìn)行產(chǎn)品合格、不合格判斷,，從而大大提高測(cè)試效率,。 
◆頻標(biāo)：多可同時(shí)顯示9個(gè)頻標(biāo)。不同曲線(xiàn)上的頻標(biāo)可獨(dú)立操作,。 
◆頻標(biāo)搜索功能：大值,、小值,、峰值、頻標(biāo)自動(dòng)跟蹤,、帶寬搜索,、凹峰搜索等。 
★ *的校準(zhǔn)方式 
增強(qiáng)型響應(yīng)校準(zhǔn)：可以消除方向性,、串?dāng)_,、源匹配、反射跟蹤,、傳輸跟蹤誤差,，提高測(cè)量精度。 
端口擴(kuò)展：在某些場(chǎng)合下,，用戶(hù)不能在測(cè)試端面進(jìn)行校準(zhǔn),，端口擴(kuò)展就可以滿(mǎn)足用戶(hù)補(bǔ)償測(cè)試端面與被測(cè)件之間的相移或延遲，提高測(cè)試精度,。 
★ 眾多外部接口 
具有USB,、LAN、RS232,、鍵盤(pán)PS/2接口,、鼠標(biāo)PS/2接口、外部VGA顯示接口,、GPIB接口（選件）,。 

頻率范圍：300kHz ～ 3GHz(TD3618C); 300kHz ～ 1.5GHz(TD3616C) 
頻率準(zhǔn)確度：±5ppm (23℃±5℃) 
頻率分辨率：1Hz 
輸出電平：-45 ～ +10dBm 
電平準(zhǔn)確度：±0.8 (0dBm,50MHz) 
電平分辨率：0.05dB 
相位噪聲：-67dBc/Hz@10kHz 
諧波及非諧波：<-30dBc(0dBm) 
中頻帶寬10Hz～30kHz 
方向性：44dB 
動(dòng)態(tài)范圍：110dB 
測(cè)量分辨率：0.01dB 
大輸入電平：+10dBm 
輸入損壞電平：+20dBm 
相位分辨率：0.01° 
相位穩(wěn)定度：0.1° 
對(duì)數(shù)刻度：0.01dB/DIV~50dB/DIV 
分辨率：0.01dB 
掃描時(shí)間：25ms(201點(diǎn),中頻帶寬30KHz) 
顯示器：10.4英寸彩色TFT液晶顯示屏 
測(cè)量方式：雙端口測(cè)量 
測(cè)量通道：4通道 
測(cè)量格式：對(duì)數(shù)、線(xiàn)性,、相位,、群延時(shí)、駐波比,、史密斯圓圖,、圓圖、實(shí)部,、虛部,、阻抗 
掃描方式：線(xiàn)性、點(diǎn)頻,、對(duì)數(shù)、功率 
觸發(fā)方式：連續(xù),、單次,、保持 
輸入輸出接頭N型陰頭 
通訊接口USB,LAN, RS232,GPIB,鍵盤(pán)接口,VGA顯示接口 
電源AC 150V～230V/50～60Hz; 350VA 
重量約15Kg 
儀器尺寸426×395×225mm(寬X深X高) 
工作環(huán)境溫度5～40℃