產(chǎn)品名稱(chēng)：非接觸厚度電阻率測(cè)試儀 產(chǎn)品型號(hào)：JXNRT1

非接觸厚度電阻率測(cè)試儀型號(hào)：JXNRT1 
一,、測(cè)試原理 
1、電阻率測(cè)試探頭原理 
電阻率測(cè)試模塊是由一對(duì)共軸渦流傳感器,，以及后續(xù)的處理電路組成,。將半導(dǎo)體硅片置于兩個(gè)探頭的間隙中時(shí)，在電磁場(chǎng)的作用下,，半導(dǎo)體硅片中會(huì)產(chǎn)生渦流效應(yīng),，通過(guò)檢測(cè)渦流效應(yīng)的大小，可以換算出該硅片的電阻率和方塊電阻,。本方法是一種非接觸無(wú)損測(cè)量的方法,，不損傷材料表面，可以在大多數(shù)場(chǎng)合有效替代四探針?lè)y(cè)試電阻率以及方塊電阻,。 
2,、厚度測(cè)試探頭原理 
厚度探頭采用的是一對(duì)共軸電容位移傳感器。電容傳感器具有重復(fù)性好,，測(cè)試數(shù)值穩(wěn)定,，技術(shù)成熟等優(yōu)點(diǎn)，廣泛用于各種材料厚度的測(cè)試,。 
  
二,、適用范圍 
本設(shè)備為非接觸無(wú)損測(cè)量設(shè)備，測(cè)試過(guò)程中對(duì)硅片表面以及內(nèi)部不會(huì)造成損傷,。特別適用于代替四探針?lè)ㄓ糜诎雽?dǎo)體硅片成品分選檢驗(yàn),。一臺(tái)儀器可以同時(shí)對(duì)厚度和電阻率兩個(gè)指標(biāo)進(jìn)行測(cè)試分選，減少了測(cè)試工序和測(cè)試時(shí)間,，提高了測(cè)試效率,。 
典型的客戶(hù)：科研單位、硅片生產(chǎn)廠(chǎng)商,、半導(dǎo)體器件生產(chǎn)廠(chǎng)商,、光伏企業(yè),、導(dǎo)電薄膜生產(chǎn)企業(yè)。 
三,、儀器構(gòu)成 
1,、測(cè)試主機(jī)：1 臺(tái) 
2、電源線(xiàn)：1 根 
3,、串口數(shù)據(jù)線(xiàn)：1 根 
4,、電腦端軟件：1 套 
5、塑料定位柱：2 個(gè) 

四,、儀器外觀(guān)尺寸結(jié)構(gòu)及圖片 
1,、整機(jī)尺寸：340*260*180mm 
2、機(jī)箱顏色：電腦白 


3,、儀器結(jié)構(gòu)：本儀器采用厚度探頭和電阻率探頭前后并列安裝的方式,。 
五、儀器主要指標(biāo) 
1,、電氣規(guī)格 
a. 使用標(biāo)準(zhǔn)三插頭,，由 220V 交流電供電，整機(jī)功耗小于 15 瓦,。 
b. 本儀器測(cè)試平臺(tái)和外殼均為金屬材料，按照安全規(guī)范,，請(qǐng)確保電源地線(xiàn)正確連接,。 
2、測(cè)試范圍 
測(cè)試樣品要求：厚度小于 600um 的半導(dǎo)體硅片以及其他類(lèi)似材料,。(為客戶(hù)提供特殊定制,，厚度大的測(cè)試范圍可以擴(kuò)展到 800um) 
電阻率范圍： L 檔： 0.2-5 Ω·cm 
H 檔： 5-50 Ω·cm 
注： 電阻率不在上述量程范圍內(nèi)的可以按要求調(diào)整， 調(diào)整的范圍可以在0.001-100Ω*cm,。 
厚度范圍： 100-600 um （定制版可以做到 300-800um） 注：普通版本厚度大于 700um 的硅片無(wú)法放入測(cè)試區(qū)域,。

高頻信號(hào)發(fā)生器 型號(hào)：RSG-17
產(chǎn)品介紹 
RSG-17高頻信號(hào)發(fā)生器能滿(mǎn)足生產(chǎn)線(xiàn),業(yè)余愛(ài)好者及維修等多方面的的頻率需求,操作者通過(guò)可調(diào)的內(nèi)置調(diào)制頻率便可準(zhǔn)確的判斷出所選頻段