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TCRTS-8型數(shù)字式四探針測試儀

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四探針測試儀 四探針檢測儀四探針測定儀/四探針電阻率測定儀 型號：TCRTS-8
TCRTS-8型數(shù)字式四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備,。該儀器按照單晶硅物理測試方法標準并參考美國 A.S.T.M 標準而設(shè)計的,，于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻（薄層電阻）的儀器,。
儀器由主機,、測試臺,、四探針探頭,、計算機等部分組成,，測量數(shù)據(jù)既可由主機直接顯示，亦可由計算機控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計算機中加以分析，然后以表格,，圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結(jié)果,。
儀器采用了電子技術(shù)進行設(shè)計、裝配,。具有功能選擇直觀,、測量取數(shù)快、精度高,、測量范圍寬,、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊,、易操作等特點,。
本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠,、科研單位,、高等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能測試。

技　術(shù)　指　標：

測量范圍電阻率：10-4～105 Ω.cm（可擴展）,；
方塊電阻：10-3～106 Ω/□（可擴展）,；
電導(dǎo)率：10-5～104 s/cm；
電阻：10-4～105 Ω,；

可測晶片直徑 140mmX150mm（配S-2A型測試臺）,；
200mmX200mm（配S-2B型測試臺）；
400mmX500mm（配S-2C型測試臺）,；
恒流源電流量程分為1μA,、10μA、100μA,、1mA,、10mA、100mA六檔,，各檔電流連續(xù)可調(diào)
數(shù)字電壓表量程及表示形式：000.00～199.99mV,；　　　　
分辨力：10μV；
輸入阻抗：>1000MΩ,；
精度：±0.1% ,；
顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；性,、量程自動顯示,；
四探針探頭基本指標間距：1±0.01mm；
針間緣電阻：≥1000MΩ,；
機械游移率：≤0.3%,；
探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm,；
探針壓力：5～16 牛頓（總力）；
四探針探頭應(yīng)用參數(shù) （見探頭附帶的合格證）
模擬電阻測量相對誤差
（按JJG508-87進行） 0.01Ω,、0.1Ω,、1Ω,、10Ω,、100Ω、1000Ω,、10000Ω≤0.3%±1字
整機測量zui大相對誤差（用硅標樣片：0.01-180Ω.cm測試）≤±5%
整機測量標準不確定度 ≤5%
計算機通訊接口并口
標準使用環(huán)境溫度：23±2℃,；
相對濕度：≤65%；
無高頻干擾,；
無強光直射,；

配置四探針測試儀主機、探針臺,、四探針探頭,、
http://www.5117sell.com

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