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電離真空計IRG080型它的原理是什么？-INFICON英?？?/h3>
閱讀：970 發(fā)布時間：2023-4-3
電離真空計IRG080型它的原理是什么？-INFICON英?？?/span>
電離真空計是基于在一定條件下，待測氣體的壓力與氣體電離產(chǎn)生的離子流呈正比關(guān)系的原理制作的真空測量儀器。
由筒狀收集極,，柵網(wǎng)和位于柵網(wǎng)中心的燈絲構(gòu)成,，筒狀收集極在柵網(wǎng)外面。熱陰極發(fā)射電子電離氣體分子,，離子被收集極收集,，根據(jù)收集的離子流大小來測量氣體壓強(qiáng)的真空計。
在低壓強(qiáng)氣體中,，氣體分子被電離生成的正離子數(shù)與氣體壓強(qiáng)成正比,。電離真空計是基于在一定條件下，待測氣體的壓力與氣體電離產(chǎn)生的離子流呈正比關(guān)系的原理制作的真空測量儀器,。
按照離子產(chǎn)生的方法不同,，利用熱陰極發(fā)射電子使氣體電離的真空計叫熱陰極電離真空計；其中,，熱陰極電離真空計由熱陰極規(guī)管和測 量儀器組成,。測量儀器由規(guī)管工作電源、發(fā)射電流穩(wěn)壓器,、離子流測量放大器等部分組成,。熱陰極電離規(guī)管與被測真空系統(tǒng)相通。熱陰極電離規(guī)管是一個三極管,，管內(nèi)有陰極,、柵極和收集極。收集極電位相對于陰極電負(fù)電位,；柵極相對于陰極 電正電位,。當(dāng)電離規(guī)管通電加熱后，陰極發(fā)射電子,，在電子到達(dá)柵極的過程中,，與氣體分子碰撞而產(chǎn)生正離子和電子的電離現(xiàn)象。當(dāng)發(fā)射電流一定時,，正離子數(shù)目與被測氣體壓強(qiáng)成正比,。正離子被收集極收集后，經(jīng)測量電路放大,，可由批示電表讀出所要測量的真空度,。
熱陰極電離真空計規(guī)管類似一支三極管，如圖a所示,，由筒狀板極(離子收集極)C,，柵極網(wǎng)G和位于柵極網(wǎng)中心的陰極燈絲F構(gòu)成，筒狀板極在陽極柵網(wǎng)外面,。
圖b是其外控電路,，柵極電位在+100~+300V之間,，板極的電位在0~-50V之間。陰極燈絲F通電發(fā)熱后便發(fā)射電子,，由于陽極柵網(wǎng)G為正電壓,，發(fā)射出的電子被加速，電子與內(nèi)部的氣體分子相碰,，使氣體分子發(fā)生電離,，氣體壓強(qiáng)大，氣體的密度就大,，碰撞機(jī)會越多,，產(chǎn)生的正離子也越多。正離子在筒狀板極負(fù)電壓的作用下,，吸引正離子形成板極電流,，氣體分子密度越大(即壓強(qiáng)越大)，板極電流也越大,，反之就小,。在測量范圍內(nèi)板極電流與被測壓強(qiáng)成正比。
真空系統(tǒng)暴露大氣后,，電離規(guī)玻璃泡和電極表面會吸附很多氣體,，在真空環(huán)境下，氣體又被釋放出來,，影響測覺精度,。為消除這種影響，在測量前必須對規(guī)管進(jìn)行除氣,。電離規(guī)管除氣采用烘烤方法,，即給燈絲和柵極可分別通電加熱，板極則采用高頻感應(yīng)加熱或電子轟擊,，使氣體在測量前被釋放出來,。一般電離真空計都具有除氣功能，當(dāng)真空度大于1×10^-2Pa時,，按說明書要求對電離規(guī)管進(jìn)行除氣 ,。
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由筒狀收集極,，柵網(wǎng)和位于柵網(wǎng)中心的燈絲構(gòu)成,，筒狀收集極在柵網(wǎng)外面。熱陰極發(fā)射電子電離氣體分子,，離子被收集極收集,，根據(jù)收集的離子流大小來測量氣體壓強(qiáng)的真空計。
在低壓強(qiáng)氣體中,，氣體分子被電離生成的正離子數(shù)與氣體壓強(qiáng)成正比,。電離真空計是基于在一定條件下，待測氣體的壓力與氣體電離產(chǎn)生的離子流呈正比關(guān)系的原理制作的真空測量儀器,。
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圖b是其外控電路,，柵極電位在+100~+300V之間,，板極的電位在0~-50V之間。陰極燈絲F通電發(fā)熱后便發(fā)射電子,，由于陽極柵網(wǎng)G為正電壓,，發(fā)射出的電子被加速，電子與內(nèi)部的氣體分子相碰,，使氣體分子發(fā)生電離,，氣體壓強(qiáng)大，氣體的密度就大,，碰撞機(jī)會越多,，產(chǎn)生的正離子也越多。正離子在筒狀板極負(fù)電壓的作用下,，吸引正離子形成板極電流,，氣體分子密度越大(即壓強(qiáng)越大)，板極電流也越大,，反之就小,。在測量范圍內(nèi)板極電流與被測壓強(qiáng)成正比。
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