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903次P+F傳感器,,P+F,P+F,,P+F,,P+F,P+F/39529829/39529830:單榮兵
P+F傳感器則是通過沉積在介質(zhì)襯底(基板)上的,,相應(yīng)敏感材料的薄膜形成的,。使用混合工藝時,,同樣可將部分電路制造在此基板上,。
厚膜傳感器是利用相應(yīng)材料的漿料,,涂覆在陶瓷基片上制成的,基片通常是Al2O3制成的,,然后進(jìn)行熱處理,,使厚膜成形。
陶瓷傳感器采用標(biāo)準(zhǔn)的陶瓷工藝或其某種變種工藝(溶膠,、凝膠等),。
完成適當(dāng)?shù)念A(yù)備性操作之后,已成形的元件在高溫中進(jìn)行燒結(jié),。厚膜和陶瓷傳感器這二種工藝之間有許多共同特性,,在某些方面,可以認(rèn)為厚膜工藝是陶瓷工藝的種變型,。
每種工藝技術(shù)都有自己的優(yōu)點(diǎn)和不足,。由于研究、開發(fā)和所需的資本投入較低,,以及傳感器參數(shù)的高穩(wěn)定性等原因,,采用陶瓷和厚膜傳感器比較合理。
按測量目分類
物理型傳感器是利用被測量物質(zhì)的某些物理性質(zhì)發(fā)生明顯變化的特性制成的,。
化學(xué)型傳感器是利用能把化學(xué)物質(zhì)的成分,、濃度等化學(xué)量轉(zhuǎn)化成電學(xué)量的敏感元件制成的。
生物型傳感器是利用各種生物或生物物質(zhì)的特性做成的,,用以檢測與識別生物體內(nèi)化學(xué)成分的傳感器,。
P+F傳感器,P+F,,P+F,,P+F,P+F,,P+F/39529829/39529830:單榮兵
基本型傳感器:是種zui基本的單個變換裝置,。
組合型傳感器:是由不同單個變換裝置組合而構(gòu)成的傳感器。
應(yīng)用型傳感器:是基本型傳感器或組合型傳感器與其他機(jī)構(gòu)組合而構(gòu)成的傳感器,。
按作用形式分類
按作用形式可分為主動型和被動型傳感器,。
主動型傳感器又有作用型和反作用型,此種傳感器對被測對象能發(fā)出定探測信號,,能檢測探測信號在被測對象中所產(chǎn)生的變化,,或者由探測信號在被測對象中產(chǎn)生某種效應(yīng)而形成信號。檢測探測信號變化方式的稱為作用型,,檢測產(chǎn)生響應(yīng)而形成信號方式的稱為反作用型,。雷達(dá)與無線電頻率范圍探測器是作用型實(shí)例,,而光聲效應(yīng)分析裝置與激光分析器是反作用型實(shí)例。
被動型傳感器只是接收被測對象本身產(chǎn)生的信號,,如紅外輻射溫度計(jì),、紅外攝像裝置等。
傳感器的靜態(tài)特性是指對靜態(tài)的輸入信號,, 傳感器(圖4)
傳感器的輸出量與輸入量之間所具有相互關(guān)系,。因?yàn)檫@時輸入量和輸出量都和時間無關(guān),所以它們之間的關(guān)系,,即傳感器的靜態(tài)特性可用個不含時間變量的代數(shù)方程,,或以輸入量作橫坐標(biāo),把與其對應(yīng)的輸出量作縱坐標(biāo)而畫出的特性曲線來描述,。表征傳感器靜態(tài)特性的主要參數(shù)有:線性度,、靈敏度、遲滯,、重復(fù)性,、漂移等。
1,、線性度:指傳感器輸出量與P+F傳感器,,P+F,P+F,,P+F,,P+F,P+F/39529829/39529830:單榮兵
輸入量之間的實(shí)際關(guān)系曲線偏離擬合直線的程度,。定義為在全量程范圍內(nèi)實(shí)際特性曲線與擬合直線之間的zui大偏差值與滿量程輸出值之比,。
2、靈敏度:靈敏度是傳感器靜態(tài)特性的個重要指標(biāo),。其定義為輸出量的增量與引起該增量的相應(yīng)輸入量增量之比,。用S表示靈敏度。
3,、遲滯:傳感器在輸入量由小到大(正行程)及輸入量由大到?。ǚ葱谐蹋┳兓陂g其輸入輸出特性曲線不重合的現(xiàn)象成為遲滯。對于同大小的輸入信號,,傳感器的正反行程輸出信號大小不相等,,這個差值稱為遲滯差值。
4,、重復(fù)性:重復(fù)性是指傳感器在輸入量按同方向作全量程連續(xù)多次變化時,,所得特性曲線不致的程度。
5,、漂移:傳感器的漂移是指在輸入量不變的情況下,,傳感器輸出量隨著時間變化,,此現(xiàn)象稱為漂移。產(chǎn)生漂移的原因有兩個方面:是傳感器自身結(jié)構(gòu)參數(shù),;二是周圍環(huán)境(如溫度,、濕度等)。
6,、分辨力:當(dāng)傳感器的輸入從非零值緩慢增加時,,在超過某增量后輸出發(fā)生可觀測的變化,這個輸入增量稱傳感器的分辨力,,即zui小輸入增量。
7,、閾值:當(dāng)傳感器的輸入從零值開始緩慢增加時,,在達(dá)到某值后輸出發(fā)生可觀測的變化,這個輸入值稱傳感器的閾值電壓,。
傳感器動態(tài)特性
所謂動態(tài)特性,,是指傳感器在輸入變化時,它的輸出的特性,。在實(shí)際工作中,,傳感器的動態(tài)特性常用它對某些標(biāo)準(zhǔn)輸入信號的響應(yīng)來表示。這是因?yàn)閭鞲衅鲗?biāo)準(zhǔn)輸入信號的響應(yīng)容易用實(shí)驗(yàn)方法求得,,并且它對標(biāo)準(zhǔn)輸入信號的響應(yīng)與它對任意輸入信號的響應(yīng)之間存在定的關(guān)系,,往往知道了前者就能推定后者。zui常用的標(biāo)準(zhǔn)輸入信號有階躍信號和正弦信號兩種,,所以傳感器的動態(tài)特性也常用階躍響應(yīng)和頻率響應(yīng)來表示,。/39529829/39529830:單榮兵
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